技术编号:7246406
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于涂胶显影和半导体晶片加工的,具体为将横向运动转换成为上下运动的装置。包括驱动装置、传动滑块、传动滑块导轨、从动滑块及上下运动导轨,其中传动滑块导轨设置于传动滑块上、并与水平面呈夹角设置,所述从动滑块的两端分别与传动滑块导轨和上下导轨滑动连接,所述传动滑块与驱动装置连接、并通过驱动装置驱动横向运动,从动滑块通过传动滑块的带动、两端分别沿传动滑块导轨和上下运动导轨上下滑动。本发明解决现有技术中需要气缸上下运动但空间有限问题。专利说明将横向运动转换成为...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。