将横向运动转换成为上下运动的装置制造方法
【专利摘要】本发明属于涂胶显影和半导体晶片加工的【技术领域】，具体为将横向运动转换成为上下运动的装置。包括驱动装置、传动滑块、传动滑块导轨、从动滑块及上下运动导轨，其中传动滑块导轨设置于传动滑块上、并与水平面呈夹角设置，所述从动滑块的两端分别与传动滑块导轨和上下导轨滑动连接，所述传动滑块与驱动装置连接、并通过驱动装置驱动横向运动，从动滑块通过传动滑块的带动、两端分别沿传动滑块导轨和上下运动导轨上下滑动。本发明解决现有技术中需要气缸上下运动但空间有限问题。
【专利说明】将横向运动转换成为上下运动的装置
【技术领域】
[0001]本发明属于涂胶显影和半导体晶片加工的【技术领域】，具体为将横向运动转换成为上下运动的装置。
【背景技术】
[0002]目前，技术先进的涂胶显影(TRACK)设备主要由上下料组块、工艺组块、接口组块等三种组块构成，其中:上下料组块主要是由上下料盒、盒站机器人(或称CS-R)等组成；工艺组块主要有覆涂单元(或称C0T/BAC/TAC)和/或显影单元(或称DEV)、工艺机器人(或称PS-R)、工艺热处理塔(或称0VENRACK)等组成，工艺热处理塔内装载了冷盘(或称CP)、热盘(或称HP及HHP)、增粘单元(或称AD)、复合热盘、对中单元、转换装置(TP)等；接口组块主要是由接口进出料载体(或称IFS)、接口机器人(或称IF-R)、边部曝光装置(或称WEE)、进出料缓存装置(或称IFB)、转换装置(TP)等组成。
[0003]晶片通过盒站机器人从上下料组块的晶片盒传送到工艺组块的对中单元或中间载体，再由工艺机器人送到各工艺单元；经工艺处理后的晶片由工艺机器人传送到接口组块的IFS、TP，再由接口机器人送到另一台设备的载片台上。
[0004]由于有些特殊工艺的要求，晶片要从一个工艺单元内部有升降或单元需要门上下开关等动作，传统的做法是用气缸或电机等直接驱动其上下运动，这样驱动部件的体积往往决定单元的厚度，在无法减低单元厚度时只能增加机器人行程或牺牲单元数量来解决，这样势必会减低产能增加设备成本。如果工艺处理塔内各单元高度过高就会影响机器人的行程和单元数量，如果单元高度得以压缩就可以在单位高度的机器人环境下多配置工艺单元，就代表着产能的进一步提高(机器人速度允许)或可以进行更多的工艺项目处理。
【发明内容】
[0005]针对上述问题，本发明的目的在于提供一种将横向运动转换成为上下运动的装置，解决现有技术中需要气缸上下运动但空间有限问题。
[0006]为了实现上述目的，本发明采用以下技术方案:
[0007]—种将横向运动转换成为上下运动的装置，包括驱动装置、传动滑块、传动滑块导轨、从动滑块及上下运动导轨，其中传动滑块导轨设置于传动滑块上、并与水平面呈夹角设置，所述从动滑块的两端分别与传动滑块导轨和设置于传动滑块一侧的上下运动导轨滑动连接，所述传动滑块与驱动装置连接、并通过驱动装置驱动横向运动，从动滑块通过传动滑块的带动、两端分别沿传动滑块导轨和上下运动导轨上下滑动。
[0008]所述传动滑块为直角三角形结构，其中一直角边与水平面平行，另一直角边与驱动装置连接，所述传动滑块导轨设置于传动滑块的斜边上。
[0009]所述从动滑块的一端下方与传动滑块导轨滑动连接，另一端设有通孔，所述上下运动导轨插设于该通孔内、并与通孔滑动连接。
[0010]所述驱动装置采用气缸或电机。[0011]本发明的优点及有益效果是:
[0012]1.本发明，突破了涂胶显影设备传统的单元内部机构上下运动方式结构，减少机器人加大行程带来的成本增加，单位高度内增加单元数量，提高设备处理能力。
[0013]2.本发明带来了设备结构的飞跃，该设备结构满足了大规模的高产能高洁净质量涂胶显影工艺的生产要求。
[0014]3.本发明的结构设备，不仅可以应用于涂胶显影设备，而且可以广泛的应用单片湿法处理设备等设备上，有极强的通用性。
【专利附图】
【附图说明】
[0015]图1为本发明的立体结构示意图；
[0016]图2为本发明的动作示意图；
[0017]图3为图2的俯视图。
[0018]其中:1为传动滑块导轨；2为驱动装置；3为上下运动导轨；4为传动滑块；5为从动滑块。
【具体实施方式】
[0019]下面结合附图对本发明作详细描述。
[0020]如图1-3所示，本发明包括驱动装置2、传动滑块4、传动滑块导轨1、从动滑块5及上下运动导轨3，其中传动滑块导轨I设置于传动滑块4上、并与水平面呈夹角设置，从动滑块5的两端分别与传动滑块导轨I和设置于传动滑块4 一侧的上下运动导轨3滑动连接，传动滑块4与驱动装置2连接、并通过驱动装置2驱动横向运动，通过传动滑块导轨I带动从动滑块5上下运动，即从动滑块5的两端分别沿传动滑块导轨I和上下运动导轨3作上下滑动。
[0021]本实施例传动滑块4为直角三角形结构，其中一直角边与水平面平行，另一直角边与驱动装置2连接，传动滑块导轨I设置于传动滑块4的斜边上。从动滑块5的一端下方与传动滑块导轨I滑动连接，另一端设有通孔，上下运动导轨3插设于该通孔内、并与通孔滑动连接。所述驱动装置采用气缸或电机。
[0022]本发明的工作过程是:
[0023]传动滑块4在驱动装置2的带动下做左右的横向运动，因为传动滑块导轨I与传动滑块4连接在一起，在传动滑块4左右运动时，从动滑块5的一端与传动滑块导轨I做相对运动，因为传动滑块4与传动滑块导轨I的安装面是一个直角三角形的斜边，所以传动滑块导轨I连接的从动滑块5相对于传动滑块导轨I有X、Y两个方向的运动。又因为从动滑块5的另一端与上下运动导轨3滑动连接，所以从动滑块5的一端在Y向运动时，另一端沿着上下运动导轨也做Y向运动。综上所述，驱动装置2的横向驱动被转换为从动滑块5的上下运动，安装在从动滑块5上的部件就可以在这个方向上工作。
[0024]横向力转换成上下运动的力的大小可以通过三角函数计算，位移大小可以改变传动滑块4的斜面角度确定。根据直角三角形公式我们可以计算出所需上下行程需要匹配的驱动行程，根据驱动的力的要求可以计算出驱动部件所需的力的大小。例如，直角三角形的斜边与平行于水平面的一直角边b的夹角为A，夹角A的对边为a。已知夹角A及邻边b上的横向驱动力，根据正切公式tan A = *可计算出对边a上转换的上下运动的力。同理驱动行程也可以同理得出。
【权利要求】
1.一种将横向运动转换成为上下运动的装置，其特征在于:包括驱动装置(2)、传动滑块(4)、传动滑块导轨(I)、从动滑块(5)及上下运动导轨(3)，其中传动滑块导轨(I)设置于传动滑块(4)上、并与水平面呈夹角设置，所述从动滑块(5)的两端分别与传动滑块导轨(I)和设置于传动滑块(4) 一侧的上下运动导轨(3)滑动连接，所述传动滑块(4)与驱动装置(2)连接、并通过驱动装置(2)驱动横向运动，从动滑块(5)通过传动滑块(4)的带动、两端分别沿传动滑块导轨(I)和上下运动导轨(3)上下滑动。
2.按权利要求1所述的将横向运动转换成为上下运动的装置，其特征在于:所述传动滑块(4)为直角三角形结构，其中一直角边与水平面平行，另一直角边与驱动装置(2)连接，所述传动滑块导轨(I)设置于传动滑块(4)的斜边上。
3.按权利要求1所述的将横向运动转换成为上下运动的装置，其特征在于:所述从动滑块(5)的一端下方与传动滑块导轨(I)滑动连接，另一端设有通孔，所述上下运动导轨(3)插设于该通孔内、并与通孔滑动连接。
4.按权利要求1或2所述的将横向运动转换成为上下运动的装置，其特征在于:所述驱动装置采用气缸或电机。
【文档编号】H01L21/67GK103791053SQ201210430388
【公开日】2014年5月14日 申请日期:2012年11月1日 优先权日:2012年11月1日
【发明者】魏猛 申请人:沈阳芯源微电子设备有限公司