技术编号:7246932
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开一种,其包括形成一外延结构于一外延基板之上;形成一保护层于外延结构之上;移除部分保护层、外延结构及外延基板,以形成至少一通道;形成一平坦化层于通道及保护层上;去除外延结构上的平坦化层及保护层;形成一反射层于外延结构之上;形成一第一接合层于反射层之上;提供一导电基板,并形成一第二接合层于导电基板上,且透过第一接合层与第二接合层以接合导电基板于反射层上;分离外延基板及外延结构;以及形成一隔离沟槽于外延结构,隔离沟槽暴露出反射层。专利说明[0001]本...
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