技术编号:7248425
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了一种低温多晶硅薄膜晶体管阵列基板、液晶显示装置及对应的制造方法。所述薄膜晶体管阵列基板将用于形成薄膜晶体管的源极、漏极以及阵列基板数据线的金属层形成在像素电极的透明导电层上,从而使得在制造过程中只需进行一次过孔的图案化工艺,同时,由于所述金属层与透明导电层层叠在一起,可以使用半透掩膜工艺一次刻蚀实现两层的图案化,由此,减少了掩膜曝光工艺的次数,降低了工艺难度和成本。专利说明[0001]本发明涉及低温多晶硅液晶显示领域,尤其涉及一种低温多晶硅薄膜...
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