技术编号:7249321
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供能够进行期望的共蒸镀的成膜装置、成膜方法、有机发光元件的制造方法和有机发光元件。成膜装置的成膜头包括将有机成膜材料的蒸气向被处理基板(G)喷出的有机成膜材料供给部(4)、和将无机成膜材料的蒸气向被处理基板(G)喷出的无机成膜材料供给部(5)。有机成膜材料供给部(4)、无机成膜材料供给部(5)构成为能够在水平方向和垂直方向上移动,且配置被控制使得以从喷出口(41a、51a)喷出的有机材料、无机材料的混合比例在厚度方向上不同的状态进行成膜。专利说明成...
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