技术编号:7252133
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。公开了一种基板处理装置。本发明涉及的基板处理装置中,用于强制冷却基板的冷却单元支撑并设置在形成腔室的本体的外表面上。因此,能够容易地在本体上设置冷却单元,且容易进行维修。专利说明基板处理装置[0001]本发明涉及一种基板处理装置,所述基板处理装置在形成腔室的本体的外侧设有冷却单元。背景技术[0002]基板处理装置应用于平板显示器的生产,并大致分为蒸镀(Vapor D印osition)装置和退火(Annealing)装置。[0003]蒸镀装置作为形成构成平板...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
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