双极型纵向平面式晶体管及其制造方法技术资料下载

技术编号:7255524

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本发明公开了,包括P型半导体衬底、N型非本征集电区、下隔离层、本征集电区、插塞、上隔离层、本征基区、非本征基区、第一电介质膜层、发射区、集电极区、第二电介质膜层、引线孔、以及设置在前述引线孔内的金属布线。本发明利用双层隔离,使得晶体管的面积较小;基区方块电阻较小;集电极饱和压降低;同时采用节省的方法,得到平坦的引线孔前为保护晶体管表面所需的介质膜层。专利说明[0001]本发明涉及一种。背景技术[0002]晶体管是一种在集成电路中起重大作用的有源器件,用途各...
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