技术编号:7258168
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了一种密封转接件以及设有该密封转接件的半导体工艺设备,属于半导体加工。解决了现有技术采用两个密封转接件,不仅结构复杂、安装成本高,还增加了半导体工艺设备的漏点的技术问题。该密封转接件呈板状,密封转接件的第一面设有金属密封圈,密封转接件的第二面设有橡胶密封圈,金属密封圈的密封区域与橡胶密封圈的密封区域之间部分重叠;密封转接件上开设有安装孔和沉头孔,在密封转接件的第一面还开设有螺纹盲孔;安装孔开设在橡胶密封圈的密封区域的四周;沉头孔和螺纹盲孔均开设在...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。