技术编号:7258486
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供一种薄膜晶体管基板,包括透明基板、第一绝缘层、第二绝缘层以及多个薄膜晶体管。其中,每一薄膜晶体管包括栅极、源极、汲极、通道层以及通道保护层。所述栅极形成在所述透明基板上,所述第一绝缘层覆盖所述栅极,所述通道层形成在所述第一绝缘层上正对所述栅极的位置,所述通道保护层直接形成在所述通道层上,所述源极和汲极形成在所述第一绝缘层上且分别与通道层的相对两侧连接,所述第二绝缘层形成在所述第一绝缘层上并覆盖所述源极、汲极、通道层和通道保护层。相较于现有技术,本...
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