技术编号：7259134
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。一种，其中，所述晶体管包括衬底，所述衬底包括绝缘层、以及位于绝缘层表面的半导体层，所述半导体层表面具有若干栅极结构；位于相邻栅极结构之间的半导体层的开口，所述开口暴露出绝缘层；位于所述开口侧壁表面的第一应力层；位于侧壁表面具有第一应力层的开口内的介质层，所述介质层的表面低于半导体层表面；位于所述第一应力层和介质层表面的第二应力层，所述第二应力层填充满开口。所述晶体管漏电流减少，性能提高。专利说明 [0001] 本发明涉及半导体制造，尤其涉及一种。 ...
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