技术编号:7259637
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及电子器件领域,公开了一种。本发明中,IGBT结构的栅极并不是整个一块,而是将位于场氧化层上的栅极局部去除,以降低栅极区面积,从而在保持其静态功耗不变的情况下,可以有效地降低IGBT的动态功耗。具有该栅极结构的IGBT的制备仅需对光刻版图进行相应的修改即可,操作简便,易于批量生产。进一步地,采用场截止区,可适用于高压,并且使绝缘栅双极晶体管的结构更薄。进一步地,在多晶硅栅极中掺杂杂质,使其性质更接近金属,电阻值降低。专利说明 [0001] 本...
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