技术编号:7259909
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了一种测试结构序列号的设计方法及测试结构序列号,所述测试结构序列号是由多个已知符合设计规则的辅助图形(dummy pattern)或者辅助图形排列的间隙形成,因此能够避免使用多个多边形进行叠加组合时形成的图案不合规则的问题,从而降低甚至避免了对待测器件的影响。专利说明测试结构序列号的设计方法及测试结构序列号 [0001]本发明涉及半导体制造领域,特别涉及在测试过程中的一种测试结构序列号的设计方法及测试结构序列号。 背景技术 [0002]...
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