技术编号:7265703
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种金属沟渠减噪结构及其形成方法,所述的金属沟渠减噪结构包含位于基材中的沟渠、位于沟渠内壁上的绝缘层、覆盖基材与绝缘层的层间介电层,和位于基材上穿过层间介电层而填满沟渠的金属层,其中,金属层可以为接地或是浮置状态。本发明金属沟渠减噪结构可以屏蔽或者迅速抽走在基材中耦合的噪声干扰,从而用来避免敏感的讯号区遭受基材中耦合噪声的干扰。专利说明[0001]本发明关于一种。尤有关于一种深,用来避免敏感的讯号区遭受基材(substrate)中稱合(coupl...
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