晶片封装体及其形成方法技术资料下载

技术编号:7266182

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本发明提供一种,该晶片封装体包括一基底,具有一第一表面及一第二表面;一感测层,设置于该基底的该第一表面上,其中该感测层具有一感测区;一导电垫结构,设置于该基底上,且电性连接该感测区;一间隔层,设置于该基底的该第一表面之上;一半导体基底,设置于该间隔层之上,其中该半导体基底、该间隔层、及该基底共同于该感测区上围出一空腔;以及一穿孔,自该半导体基底的一表面朝该基底延伸,其中该穿孔连通该空腔。本发明可显著缩减晶片封装体的尺寸,大量生产晶片封装体,并可降低制程成本...
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