技术编号:7277302
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及超声波浮起装置,尤其是涉及通过改良导向机构的结构使装置紧凑化及实现浮起的稳定性的超声波浮起装置。背景技术 利用超声波振动的超声波浮起装置,因为非接触、没有磨损和润滑剂引起的环境污染,被认为是适用于净化室内环境和精密定位用途的装置。作为这样的超声波浮起装置,例如,有专利文献1和专利文献2所揭示的装置。专利文献1日本专利特开平7-196127号公报专利文献2日本专利特开平11-301832号公报上述传统的结构存在以下问题。即,对于日本专利特开平7-1...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。