专利名称：超声波浮起装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及超声波浮起装置，尤其是涉及通过改良导向机构的结构使装置紧凑化及实现浮起的稳定性的超声波浮起装置。
背景技术：
利用超声波振动的超声波浮起装置，因为非接触、没有磨损和润滑剂引起的环境污染，被认为是适用于净化室内环境和精密定位用途的装置。作为这样的超声波浮起装置，例如，有专利文献1和专利文献2所揭示的装置。
专利文献1日本专利特开平7-196127号公报专利文献2日本专利特开平11-301832号公报上述传统的结构存在以下问题。
即，对于日本专利特开平7-196127号公报及特开平11-301832号公报所揭示的超声波浮起装置的情况，尤其是没有对作为伴随直动导向机构的结构进行揭示，因此欲实际实施时，无法使可动部以稳定的状态浮起并朝所需的方向移动。
另外，对于日本专利特开平7-196127号公报中揭示的超声波振子的情况，使用所谓的“兰杰文(日文ランジユバン)型”的超声波振子，该场合，存在装置的高度增大，装置无法实现紧凑化的问题。
而且，装置的高度增大引起滑块的重心提高，由此，存在有损于动作稳定性的问题。
发明内容
本发明是为了解决上述问题而作成的，其目的在于，提供一种不需要特别复杂的结构就可具有直动导向功能、且不会导致装置的大型化、能提高浮起稳定性和浮起刚性的超声波浮起装置。
为了达到上述目的，本发明的技术方案1所述的超声波浮起装置，包括固定部；相对于所述固定部设置成可移动的可动部，通过设于所述固定部或可动部的振动发生装置进行超声波振动，使所述可动部通过浮起面进行浮起，其特征在于，使设于所述固定部的固定部侧导向部的全部或局部形成为沿着浮起方向的凸状或凹状，另一方面，使设于所述可动部的可动部侧导向部的全部或局部形成为沿着浮起方向的凹状或凸状，并与所述固定部侧导向部相对配置。
技术方案2的超声波浮起装置，在技术方案1所述的超声波浮起装置的基础上，其特征在于，使设于所述固定部的固定部侧导向部的全部或局部形成为沿着浮起方向的山形凸状或倒山形凹状，另一方面，使设于所述可动部的可动部侧导向部的全部或局部形成为沿着浮起方向的倒山形凹状或山形凸状，并与所述固定部侧导向部相对配置。
技术方案3的超声波浮起装置，在技术方案1所述的超声波浮起装置的基础上，其特征在于，使设于所述固定部的固定部侧导向部的全部或局部形成为沿着浮起方向的ハ字形凸状或倒ハ字形凹状，另一方面，使设于所述可动部的可动部侧导向部的全部或局部形成为沿着浮起方向的倒ハ字形凹状或ハ字形凸状，并与所述固定部侧导向部相对配置。
技术方案4的超声波浮起装置，在技术方案1～技术方案3中任何1项所述的超声波浮起装置的基础上，其特征在于，将由所述固定部侧导向部和可动部侧导向部构成的导向部设置2处以上。
技术方案5的超声波浮起装置，在技术方案1～技术方案4中任何1项所述的超声波浮起装置的基础上，其特征在于，将所述振动发生装置设置2处以上。
技术方案6的超声波浮起装置，在技术方案1～技术方案5中任何1项所述的超声波浮起装置的基础上，其特征在于，所述振动发生装置中使用振动变换构件。
技术方案7的超声波浮起装置，在技术方案6所述的超声波浮起装置的基础上，其特征在于，将所述固定部侧导向部或可动部侧导向部与所述振动变换构件一体化。
技术方案8的超声波浮起装置，在技术方案7所述的超声波浮起装置的基础上，其特征在于，所述振动变换构件构成ロ字形。
技术方案9的超声波浮起装置，在技术方案8所述的超声波浮起装置的基础上，其特征在于，所述振动发生装置的振动发生源配置在所述ロ字形的振动变换构件内。
技术方案10的超声波浮起装置，在技术方案1～技术方案9中任何1项所述的超声波浮起装置的基础上，其特征在于，所述振动发生装置的振动源使用兰杰文型振子或层叠压电元件或单板压电元件。
技术方案11的超声波浮起装置，在技术方案5～技术方案10中任何1项所述的超声波浮起装置的基础上，其特征在于，对所述2个以上的振动发生装置相互之间给予振动相位差。
技术方案12的超声波浮起装置，在技术方案11所述的超声波浮起装置的基础上，其特征在于，所述振动相位差大致为90°或大致为270°。
即，本发明的超声波浮起装置，使设于所述固定部的固定部侧导向部的全部或局部形成为沿着浮起方向的凸状或凹状，另一方面，使设于所述可动部的可动部侧导向部的全部或局部形成为沿着浮起方向的凹状或凸状，并与所述固定部侧导向部相对配置，由此，能有效地发挥作为直线导向的功能。
此时，可以考虑使设于所述固定部的固定部侧导向部的全部或局部形成为沿着浮起方向的山形凸状或倒山形凹状，另一方面，使设于所述可动部的可动部侧导向部的全部或局部形成为沿着浮起方向的倒山形凹状或山形凸状，并与所述固定部侧导向部相对配置的结构；使设于所述固定部的固定部侧导向部的全部或局部形成为沿着浮起方向的ハ字形凸状或倒ハ字形凹状，另一方面，使设于所述可动部的可动部侧导向部的全部或局部形成为沿着浮起方向的倒ハ字形凹状或ハ字形凸状，并与所述固定部侧导向部相对配置的结构。尤其是，后者的情况下，没有了凸顶点部，故不需要确保这样的凸顶点部间的高的尺寸精度。
此时，可以考虑将由所述固定部侧导向部和可动部侧导向部构成的导向部设置2处以上，由此可降低装置的高度，并可防止横向摇摆。
可以考虑将所述振动发生装置设置2个以上，由此，可提高固定部的刚性，且可减小每一个振动装置的输出。
在所述振动发生装置中使用了振动变换构件时，由此，也可以降低高度。
可以考虑将所述固定部侧导向部或可动部侧导向部与所述振动变换构件一体化，由此，可减少零件个数，且可提高对于组装精度的宽余度。
可以考虑将所述振动变换构件构成为ロ字形，而且，可以考虑将所述振动发生装置的振动发生源配置在所述ロ字形的振动变换构件内，由此，可实现装置的紧凑化。
可以考虑作为所述振动发生装置的振动源，例如使用兰杰文型振子或层叠压电元件或单板压电元件。
对2个以上的振动发生装置相互之间给予振动相位差时，可抑制驻波，能有效地应对精密定位。将所述相位差设为大致90°或大致270°时，还可期待发生推力。
图1是表示本发明的实施形态1的图，图1(a)表示超声波浮起装置的结构的俯视图，图1(b)是图1(a)的b-b向视图，图1(c)是图1(a)的c-c剖视图。
图2是表示本发明的实施形态1的图，图2(a)是导向部为1个时的超声波浮起装置的概要结构的横向剖视图，图2(b)是表示导向部为2个时的超声波浮起装置的概要结构的横向剖视图，图2(c)是表示导向部为4个时的超声波浮起装置的概要结构的横向剖视图。
图3是表示用于说明本发明的实施形态1的比较例，图3(a)是振动发生装置为1个且不使用振动方向变换构件的类型的超声波浮起装置的结构的侧视图，图3(b)是振动发生装置为2个且不使用振动方向变换构件的类型的超声波浮起装置的结构的侧视图。
图4是表示本发明的实施形态1的图，图4(a)是说明振动振幅且说明行波的波形图，图4(b)是用于说明对2个振动发生装置给予相位差时的振动振幅的波形图，图4(c)是用于说明对2个振动发生装置不给予相位差时的振动振幅的波形图。
图5是表示本发明的实施形态1的图，是表示行波比与相位差的关系的特性图。
图6是表示本发明的实施形态2的图，图6(a)表示超声波浮起装置的结构的俯视图，图6(b)是图6(a)的b-b向视图，图6(c)是图6(a)的c-c剖视图。
图7是表示本发明的实施形态3的图，图7(a)表示超声波浮起装置的结构的俯视图，图7(b)是图7(a)的b-b向视图，图7(c)是图7(a)的c-c剖视图。
图8是表示本发明的实施形态4的图，图8(a)表示超声波浮起装置的结构的俯视图，图8(b)是图8(a)的b-b向视图，图8(c)是图8(a)的c-c剖视图。
图9是表示本发明的实施形态5的图，图9(a)表示超声波浮起装置的结构的俯视图，图9(b)是图9(a)的b-b向视图，图9(c)是图9(a)的c-c剖视图。
具体实施例方式
以下，参照图1至图5对本发明的实施形态1进行说明。
图1是表示本发明的实施形态1的超声波浮起装置的结构的概念图，图1(a)表示超声波浮起装置的俯视图，图1(b)是图1(a)的b-b向视图，图1(c)是图1(a)的c-c剖视图。兰杰文首先，具有平板状的固定部1，在该固定部1的底面侧的长度方向左右两端部安装有振动发生装置3、5。保持构件7、9安装在上述振动发生装置3、5上，固定部1通过这些保持构件7、9设置在底座11上。
上述振动发生装置3由型超声波振子13、L字形振动方向变换构件15构成。同样，上述振动发生装置5也由兰杰文型超声波振子17、L字形振动方向变换构件19构成。本实施形态的场合，将兰杰文型超声波振子13、17以指向水平方向的状态设置，由此，降低装置的高度。上述兰杰文型超声波振子13、17引起的超声波振动的方向为水平方向，但可通过上述L字形振动方向变换构件15、19将其变换至上下方向。
在上述固定部1上可上浮地设有可动部21。首先如图1(c)所示，在固定部1侧，在宽度方向左右两处设有固定部侧导向部23、25。如图1(c)所示，上述固定部侧导向部23呈山形，图中朝上方形成凸状。即，通过2个倾斜面23a、23b构成山形形状。上述固定部侧导向部23，如图1(a)所示，沿长度方向延长、形成。上述固定部侧导向部25也是同样的结构，通过2个倾斜面25a、25b构成山形形状。上述固定部侧导向部23与固定部侧导向部25之间设有平坦面27。
另一方面，如图1(c)所示，看可动部2 1侧，与上述固定部侧导向部23、25对应地设有可动部侧导向部29、31。上述可动部侧导向部29构成倒山形形状，图中朝向上方形成凹状。即，通过2个倾斜面29a、29b构成倒山形形状。上述可动部侧导向部31也是同样的结构，通过2个倾斜面31a、31b构成倒山形形状。上述可动部侧导向部29与可动部侧导向部31之间形成凹部33。
在上述固定部1与可动部21之间设有驱动用的音圈助推器35。即，如图1(c)所示，在固定部1侧的平坦面27上设有线圈37，另一方面，在可动部21侧的凹部33中设有永磁铁39。由这些线圈37和永磁铁39构成驱动用的音圈助推器35。通过向上述线圈37流通合适方向的电流，通过与永磁铁39的磁通流的相互作用，根据所谓的“弗来明左手定则”，对于可动部21产生用于朝Y方向的某一方移动的驱动力。
以上是本实施形态的超声波浮起装置的概要结构。以下还结合作用进行详细说明。首先，参照图2对固定部侧导向部23、25；可动部侧导向部29、31进行说明。
首先，图2(a)是将1个固定部侧导向部23与1个可动部侧导向部29相对配置的情况。该场合，通过固定部1进行超声波振动，固定部侧导向部23的倾斜面23a、23b与可动部侧导向部29的倾斜面29a、29b之间的空气层的压力上升，由此，可动部21浮起。该浮起的高度即可动部21在Z方向(图2的上下方向)的位置由空气层的压力和可动部21的重量决定。固定部侧导向部23和可动部侧导向部29通过倾斜面构成，故可动部21朝Y方向(与纸面垂直方向)移动时，X方向(图纸的左右方向)的位置几乎没有变化，所以起到所谓“直线导向”的功能。
如图2(b)所示，本实施形态的场合，设有2个导向部。即，由固定侧导向部23、25；与其相对配置的可动部侧导向部29、31构成的2个导向部。这样，通过设置2个导向部，相同的浮起斜面面积时可将斜面高度做成1/2，由此可降低装置的高度。同时也可改善所谓的“横向摇摆(图中纸面内旋转刚性)”。即，如图2(a)所示，导向部为1个时存在上述横向摇摆的担忧，但如图2(b)那样设置2个导向部时，能有效地防止这样的横向摇摆。而且，与固定部1的平坦面27相对，在可动部21侧的平坦面28的间隙中空气层也被压缩，而在可动部21上产生浮起力。
本实施形态，如上所述，是设置了由固定侧导向部23、25；与其相对配置的可动部侧导向部29、31构成的2个导向部的结构，但并不局限于此，例如，如图2(c)所示，既可设置4个导向部，也可设置4个以上。由此，能进一步降低高度。
本实施形态中，是将固定部1侧做成了凸状部，将可动部21侧做成了凹状部，但也可将其做成相反的形状。
接着，参照图3对振动发生装置的个数进行说明。从原理上来讲，如图3(a)所示，若可动部21的移动距离(行程)短，则设置1个振动发生装置3’也没关系，但当行程长时，为了不使固定部1挠曲，必须提高固定部1的刚性。为了提高固定部1的刚性也有增大固定部1的厚度的方法，但这样会增大高度，因此与降低装置高度的初衷背道而驰。为此，如图3(b)所示，若做成2个振动发生装置3’、5’，则增加支承点，即使不增加固定部1的高度也可提高其刚性。而且，若做成2个振动发生装置3’、5’，单个的输出大致为1/2，使用小型、低输出的振动发生装置即可。
图3所示的振动发生装置3’、5’，其结构与本实施形态的振动发生装置3、5不同。即，那里所使用的兰杰文型超声波振子13’、17’朝Z方向延长配置，配置成朝Z方向振动。这是为了接下来说明的方便而做成这样的。
接着，本实施形态的振动发生装置3、5如上所述，成为使用振动方向变换构件15、19的结构，由此，可降低高度。对此边参照图3边进行说明。图3所示的振动发生装置3’、5’的情况下，那里使用的兰杰文型超声波振子13’、17’如上所述，以朝图中上下方向即朝Z方向振动的配置进行设置。这样，即使作为装置也会增加其高度。
相比之下，本实施形态的情况下，将振动发生装置3、5的兰杰文型超声波振子13、17以朝水平方向振动的配置进行设置，通过L字形振动方向变换构件15、19将其变换为上下方向。由此，降低高度。
接着，参照图4对振动发生装置3、5的相位进行说明。本实施形态的情况下，对2个振动发生装置3、5相互之间给予相位差。相比之下，例如，对2个振动发生装置3、5相互之间不给予相位差时，成为图4(c)所示的波形图，即成为所谓的“驻波”。该驻波处于共振状态，故振幅大，对得到大的浮起力是有利的，但因固定部1在Y方向的位置不同而振幅的大小不同，故随着可动部21的移动浮起力也不同。因此，不适用于超精密的定位用导向件。
为此，本实施形态的场合，如上所述，对2个振动发生装置3、5相互间给予相位差。该场合，成为图4(b)所示的波形图，不形成图4(c)所示的驻波，固定部1的因Y方向的位置引起的振动振幅的大小的变动减小，Y方向的位置引起的浮起力的变动也减小，成为对精密定位非常有利的结构。
图5表示相对于2个振动发生装置3、5相互间的相位差的行波比(＝行波/驻波)的实验结果。图5的横轴取为相位差，纵轴取为行波比，是表示行波比随相位差的变化而变化的特性图。如该图5所示，在相位差为“0°”及“180°”附近几乎是驻波，行波仅发出1/40左右。相比之下，在相位差为“90°”附近及“270°”附近时行波比为“1”附近，行波的比例增加。因此，通过将相位差设定在“90 °”或“270°”附近，就可发生稳定的行波。通过该固定部1的行波，借助固定部1与可动部21之间的空气层，给予可动部21侧推力，能使可动部21移动。图4(a)表示此时的Y方向的振动振幅。
其结果，即使不另外设置驱动装置，也可通过将振动发生装置3、5间的相位差设定为“大致90°”或“大致270°”，从而可驱动可动部21。又，当可动部21通过相位差90°朝Y方向右侧移动时，若将相位差改变为270°，则可动部21朝左侧移动。这样也可控制移动方向。
使用2个以上的振动发生装置时，对两端的振动发生装置给予欲设定的相位差，对其他振动发生装置只要根据距两端的振动发生装置的距离，按两端的相位差的比例分配即可。例如，使用3个振动发生装置，对两端给予90°的相位差时，对配置在正当中的振动发生装置，只要给予两端的振动发生装置的相位差90°的一半、即45°的相位差即可。
以上，采用本实施形态，能得到以下的效果。
首先，将固定部侧导向部23、25凸状地设置在固定部1上，且将可动部侧导向部29、31凹状地设置在上述可动部21上，以构成相对配置，故能得到能有效发挥作为直线导向件功能的超声波浮起装置。
因为设置了由固定部侧导向部23、25和可动部侧导向部29、31构成的2个导向部，故可相应地降低其高度，从而降低装置的高度，实现紧凑化，而且可防止横向摇摆。
因设置了2个振动发生装置3、5，故即使不增加固定部1的高度也可增加其刚性，且可减小单个振动发生装置的输出。
振动发生装置3、5使用了L字形振动方向变换构件15、19，由此也可降低装置的高度。
因对2个振动发生装置3、5相互间给予振动相位差，故能有效地应对精密的定位。
因对2个振动发生装置3、5相互间给予大致90°或270°的振动相位差，故不需要特别的驱动装置就可对可动部21施加推力。
接着，参照图6对本发明的实施形态2进行说明。上述实施形态1的场合，作为振动发生装置，以使用了兰杰文型振子为例进行了说明，但本实施形态2的场合，以使用平板状的单板压电振子51、53为例加以表示。通过与上述单板压电振子51、53分体的保持构件55、57对固定部1加以保持。
其他结构与上述实施形态1的情况相同，对同一部分标上相同符号，并省略其说明。
以上，本实施形态2的情况也能起到与上述实施形态1的情况相同的效果，通过使用了平板状的单板压电振子51、53，能进一步降低高度。
接着，参照图7对本发明的实施形态3进行说明。图7是表示实施形态3的超声波浮起装置的结构的概念图，图7(a)表示超声波浮起装置的俯视图，图7(b)是图7(a)的b-b向视图，图7(c)是图7(a)的c-c剖视图。
首先，具有固定部101，该固定部101的结构包括振动变换构件121及振动变换构件125；设在该振动变换构件121、125两侧的固定部侧导向部105、107。在上述固定部侧导向部105、107之间的长度方向左右两端部，振动发生装置109、111安装在上述固定部101的振动变换构件121、125上。保持构件113、115安装在上述振动发生装置109、111上。固定部101通过上述振动发生装置109、111的保持构件113、115设置在底座117上。
上述振动变换构件121、125，如上所述，既是固定部101的组成要素，同时也是振动发生装置109、111的组成要素。
上述振动发生装置109由兰杰文型超声波振子119、十字形振动方向变换构件121构成。同样，上述振动发生装置111也由兰杰文型超声波振子123、十字形振动方向变换构件125构成。通过十字形振动方向变换构件121、125将上述兰杰文型超声波振子119、123产生的超声波振动朝正交的2方向变换，并将超声波振动给予固定部侧导向部105、107。
在上述固定部101上设置可上浮的可动部131。此时，在固定部侧导向部105、107侧形成倾斜面105a、107a。从截面方向看它，如图7(c)所示，形成为“ハ字形”。
另一方面，看上述可动部131侧，与上述倾斜面105a、107a相对地形成倾斜面131a、131b。这样，将可动部131与固定部侧导向部105、107的凹凸结构做成“ハ字形”有以下的理由。
即，在上述实施形态1、2的场合，将固定部1侧与可动部21侧之间的凹凸结构做成山形形状。此时，在山形的顶点部，相互间的尺寸需要高的精度。即，因稍微的尺寸误差就会导致固定部1侧与可动部21侧接触的缘故。相比之下，如本实施形态3那样，将可动部131与固定部侧导向部105、107的凹凸结构做成“ハ字形”时，由于没有了上述那样的顶点部间，故只要保证构成“ハ字形”的倾斜面105a、107a、131a、131b的面精度(平面度、角度、平直度)即可，由此，加工容易，可降低加工成本，能够抵御热膨胀引起的尺寸变化等外部干扰。
在上述可动部131侧形成凹部133。在上述固定部101侧的Y方向中央部仅有固定部侧导向部105、107，在这些固定部侧导向部105、107之间的底座117上设置有线圈基座103。在该线圈基座103上设置线圈139。该线圈139和设于上述凹部133的永磁铁141构成驱动用的音圈助推器137。
通过向上述线圈139流通合适方向的电流，通过与永磁铁141的磁通流的相互作用，根据所谓的“弗来明左手定则”，对于可动部131产生用于朝Y方向的某一方移动用的驱动力。
采用以上该实施形态3，能起到与上述实施形态1，2相同的效果，且通过将可动部131与固定侧导向部105、107的凹凸结构做成“ハ字形”形状，不再需要确保上述实施形态1、2那样的顶点部间的高的尺寸精度的烦琐的事情。只要保证构成“ハ字形”的倾斜面105a、107a、131a、131b的面精度(平面度、角度、平直度)即可，由此，加工容易，可降低加工成本，能够抵御热膨胀引起的尺寸变化等外部干扰。
该实施形态3的情况下，“ハ字形”形状的凹凸部为1处，但也可考虑将其设置2处以上。
接着，参照图8对本发明的实施形态4进行说明。如图7所示，上述实施形态3的情况，是将2个固定侧导向部105、107；2个十字形振动变换构件121、125组装的结构。该场合，固定部101侧的组装尺寸精度由各构件、即上述2个固定侧导向部105、107；2个十字形振动变换构件121、125的尺寸精度之和与组装误差之和来决定。
相比之下，该实施形态4的场合，如图8所示，使用ロ字形的固定侧导向部201。由此，不使用在上述实施形态3中所使用的十字形振动变换构件121、125就可将超声波振动传递给固定部101侧。
具体说明的话，如图8所示，当通过振动发生源109向ロ字形的固定侧导向部201的图中左侧短边203给予超声波振动，则ロ字形的固定侧导向部201的长边205、207进行超声波振动。同样，当通过振动发生源111向ロ字形的固定侧导向部201的图中右侧短边209给予超声波振动，则ロ字形的固定侧导向部201的长边205、207进行超声波振动。
上述固定侧导向部201的长边205、207与上述实施形态3的固定部侧导向部105、107相同，具有构成“ハ字形”形状的倾斜面205a、207a。
该实施形态4的情况，在左右设置了振动发生源109、111，但如果仅是产生超声波振动，不一定需要在两方设置。本实施形态4的情况，使2个振动发生源109、111以相同相位振动，将输入振动功率设为2倍加以使用。
其他结构与上述实施形态3的情况相同，对同一部分标上相同符号加以表示，并省略其说明。
以上，采用本实施形态4，能起到与上述实施形态3的情况相同的效果，且将上述实施形态3的十字形振动变换构件与固定侧导向部一体化，做成ロ字形的固定侧导向部201，能容易地进一步高精度化。
接着，参照图9对本发明的实施形态5进行说明。该实施形态5的情况，是在上述实施形态4的结构中，在ロ字形的固定侧导向部201的内侧设置了振动发生源109、111。由此，可将装置紧凑化。
本发明并不局限于上述实施形态1～5。
首先，除了兰杰文型振子和单板压电元件以外，例如也可考虑使用层叠压电元件。
另外，对导向部的个数并不作特别的限定。
上述各实施形态中，以音圈助推器的驱动为例进行了说明，但并不局限于此，例如，也可是直线电动机。
其他图示的结构都仅为一例。
产业上利用的可能性本发明涉及通过对导向机构的结构加以改良，实现装置的紧凑化及浮起稳定性的超声波浮起装置，例如适合于各种定位装置。
权利要求
1.一种超声波浮起装置，包括固定部；相对于所述固定部设置成可移动的可动部，通过设于所述固定部或可动部的振动发生装置进行超声波振动，使所述可动部通过浮起面进行浮起，其特征在于，使设于所述固定部的固定部侧导向部的全部或局部形成为沿着浮起方向的凸状或凹状，另一方面，使设于所述可动部的可动部侧导向部的全部或局部形成为沿着浮起方向的凹状或凸状，并与所述固定部侧导向部相对配置。
2.如权利要求1所述的超声波浮起装置，其特征在于，使设于所述固定部的固定部侧导向部的全部或局部形成为沿着浮起方向的山形凸状或倒山形凹状，另一方面，使设于所述可动部的可动部侧导向部的全部或局部形成为沿着浮起方向的倒山形凹状或山形凸状，并与所述固定部侧导向部相对配置。
3.如权利要求1所述的超声波浮起装置，其特征在于，使设于所述固定部的固定部侧导向部的全部或局部形成为沿着浮起方向的ハ字形凸状或倒ハ字形凹状，另一方面，使设于所述可动部的可动部侧导向部的全部或局部形成为沿着浮起方向的倒ハ字形凹状或ハ字形凸状，并与所述固定部侧导向部相对配置。
4.如权利要求1～权利要求3中任一项所述的超声波浮起装置，其特征在于，将由所述固定部侧导向部和可动部侧导向部构成的导向部设置2处以上。
5.如权利要求1～权利要求4中任一项所述的超声波浮起装置，其特征在于，所述振动发生装置设置2处以上。
6.如权利要求1～权利要求5中任何1项所述的超声波浮起装置，其特征在于，所述振动发生装置使用振动变换构件。
7.如权利要求6所述的超声波浮起装置，其特征在于，将所述固定部侧导向部或可动部侧导向部与所述振动变换构件一体化。
8.如权利要求7所述的超声波浮起装置，其特征在于，所述振动变换构件构成ロ字形。
9.如权利要求8所述的超声波浮起装置，其特征在于，所述振动发生装置的振动发生源配置在所述ロ字形的振动变换构件内。
10.如权利要求1～权利要求9中任一项所述的超声波浮起装置，其特征在于，所述振动发生装置的振动源使用兰杰文型振子或层叠压电元件或单板压电元件。
11.如权利要求5～权利要求10中任一项所述的超声波浮起装置，其特征在于，对所述2个以上的振动发生装置相互之间给予振动相位差。
12.如权利要求11所述的超声波浮起装置，其特征在于，所述振动相位差大致为90°或大致为270°。
全文摘要
本发明的超声波浮起装置，包括固定部；相对于所述固定部设置成可移动的可动部，通过设于固定部或可动部的振动发生装置进行超声波振动，使可动部通过浮起面进行浮起，使设于固定部的固定部侧导向部的全部或局部形成为沿着浮起方向的凸状或凹状，另一方面，使设于可动部的可动部侧导向部的全部或局部形成为沿着浮起方向的凹状或凸状，并与所述固定部侧导向部相对配置。
文档编号H02N2/16GK1762088SQ200480006999
公开日2006年4月19日 申请日期2004年3月16日 优先权日2003年3月17日
发明者中村健太郎, 藤永辉明 申请人:株式会社Iai