带有耦合体声波谐振器且具有阻抗匹配适应的滤波电路的制作方法技术资料下载

技术编号:7516526

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本发明关于包括体声波谐振器(BAW)的集成电子电路和微系统的领域。 背景技术对使用声谐振器的关注正随着电信发展而增长,且尤其是随着需要小型化有效滤波电路的移动电话而增长。声谐振器的使用使得能够实现滤波电路中的高质量因子。几年来,由于其内在质量和SAW (表面声波)型谐振器无法提供的其集成简易性, BAff (体声波谐振器)型声谐振器已产生用于制造RF滤波电路的特定关注。除了其集成在半导体电路内以外,由于其针对制造复杂滤波电路所提供的多个组合可能性,BAW型...
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