振动元件、振子以及电子设备的制作方法技术资料下载

技术编号:7518740

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本发明涉及振动元件、振子以及使用该振动元件和振子的电子设备。 背景技术检测旋转角速度的角速度传感器广泛应用于导航系统、各种装置的姿势控制系 统、摄像机或数字照相机的抖动防止装置等。在这些电子设备中多使用能够小型化的振动 元件传感器。以往,作为使用了振动元件的角速度传感器,公知有如下的角速度传感器在与从 固定部向Y轴方向伸出的驱动臂连接的振动基座中,具有向X轴方向伸出的检测臂。该振 动元件对振动基座进行驱动以使其在X轴方向上进行振动,根据由于科里奥利力而在检...
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