专利名称：振动元件、振子以及电子设备的制作方法
技术领域：
本发明涉及振动元件、振子以及使用该振动元件和振子的电子设备。
背景技术：
检测旋转角速度的角速度传感器广泛应用于导航系统、各种装置的姿势控制系 统、摄像机或数字照相机的抖动防止装置等。在这些电子设备中多使用能够小型化的振动 元件传感器。以往，作为使用了振动元件的角速度传感器，公知有如下的角速度传感器在与从 固定部向Y轴方向伸出的驱动臂连接的振动基座中，具有向X轴方向伸出的检测臂。该振 动元件对振动基座进行驱动以使其在X轴方向上进行振动，根据由于科里奥利力而在检测 臂中产生的Y轴方向的振动，来检测绕Z轴的角速度。或者，对振动基座进行驱动以使其在 Z轴方向上进行振动，根据由于科里奥利力而在检测臂中产生的Y轴方向的振动，来检测绕 X轴的角速度(参照专利文献1)。专利文献1日本特开平11-281364号公报但是，在专利文献1的角速度传感器中，检测臂延伸到振动基座的外侧，存在振动 元件的尺寸大型化的问题。并且，检测臂有可能冲撞封装的内壁而破损。并且，在专利文献1的角速度传感器中，难以减小驱动臂的驱动模式与检测臂的 检测模式的频率差即失谐频率而实现高灵敏度。因此，需要提供在振子的面内具有旋转轴，小型且振动泄漏少、精度高的角速度传 感器。
发明内容
本发明正是为了解决上述课题的至少一部分而完成的，能够作为以下的方式或应 用例来实现。[应用例1]本应用例的振动元件通过基于由角速度产生的科里奥利力的压电效 应，来检测旋转运动，其特征在于，该振动元件具有同轴配置的至少2个振动臂，其一个端 部固定于支承部件，并使另一个端部相对；具有内部空间的摆动体，其固定于所述振动臂的 所述另一个端部，或者一体形成；以及检测臂，其从所述摆动体的所述内部空间的壁起，沿 着与所述振动臂的配置轴垂直的方向延伸到所述内部空间的内侧，所述振动臂在与包含所 述检测臂的延伸方向的面平行的面内进行弯曲振动，设与所述弯曲振动的振动方向垂直的 方向为厚度方向时，所述检测臂的厚度比所述振动臂的厚度薄。并且，作为其他方式，本应用例的振动元件的特征在于，该振动元件具有第1支 承部和第2支承部；第1振动臂，其一端与所述第1支承部连接，且沿着第1轴延伸；第2振 动臂，其一端与所述第2支承部连接，且沿着所述第1轴延伸；摆动体，其被所述第1振动臂 和所述第2振动臂的另一端夹持，且具有开口部；以及检测臂，其从所述摆动体的所述开口 部的内壁起，沿着在俯视图中与所述第1轴垂直的第2轴延伸。
根据上述应用例，在摆动体的开口部中设置检测臂，由此，能够使振动元件小型 化，能够防止在封装安装时检测臂与封装内壁接触。[应用例2]在上述应用例的振动元件中，其特征在于，所述检测臂的厚度比所述 第1振动臂和所述第2振动臂的厚度薄。根据上述应用例，相对于振动臂的厚度，减小(减薄)检测臂的厚度，由此，能够减 小振动臂的面内方向的振动(驱动振动模式)的谐振频率与由于科里奥利力而在检测臂中 产生的面外方向的振动(检测振动模式)的谐振频率之差、即所谓的失谐频率。因此，如果 使用本应用例的振动元件，则能够实现高灵敏度的角速度传感器。[应用例3]在上述应用例的振动元件中，其特征在于，设所述振动臂的所述弯曲 振动的振动方向为所述振动臂的宽度方向时，所述振动臂的宽度比所述振动臂的厚度薄。并且，作为其他方式，在上述应用例的振动元件中，其特征在于，所述第1振动臂 和所述第2振动臂的宽度小于所述第1振动臂和所述第2振动臂的厚度。根据上述应用例，抑制了振动臂在期望的振动方向以外的方向上进行不必要振动 的情况，针对检测臂的振动泄漏小，能够实现检测误差小的角速度传感器。[应用例4]在上述应用例的振动元件中，其特征在于，所述第1振动臂和所述第2 振动臂在所述第2轴的方向上振动，绕所述第1轴施加旋转时，所述检测臂在与所述第1轴 和所述第2轴垂直的方向上振动。根据上述应用例，沿着振动元件延伸的面(由上述第1轴和第2轴规定的面)存 在有检测轴，所以，不需要相对于要求多个检测轴(例如沿着上述第1轴、第2轴的检测轴) 的传感器竖立安装振动元件(使振动元件延伸的面与检测轴垂直)，能够使传感器小型化。[应用例5]在上述应用例的振动元件中，其特征在于，该振动元件具有2个以上的 振动体，该振动体具有具有所述检测臂的所述摆动体、以及与所述摆动体连接的所述振动 臂。并且，作为其他方式，在上述应用例的振动元件中，其特征在于，并列配置2个所 述振动元件，一个所述振动元件和另一个所述振动元件彼此在相反方向上振动。根据上述应用例，2个以上的振动体对称地进行振动，所以，振动平衡良好，振动能 在支承部中充分衰减。因此，对将振动元件固定于封装的固定部的影响小，能够使振动元件 稳定地进行动作。[应用例6]在上述应用例的振动元件中，其特征在于，所述振动元件的基础材料 为石英。根据上述应用例，能够得到温度特性优良的小型、薄型的振动元件。[应用例7]在上述应用例的振动元件中，其特征在于，所述振动元件的基础材料 为弹性体，在所述振动臂和所述检测臂上形成有压电体。并且，作为其他方式，在上述应用例的振动元件中，其特征在于，在所述第1振动 臂、所述第2振动臂和所述检测臂的至少一方上设置有压电体。根据上述应用例，能够选择容易形成振动元件的主要部分的材料，能够得到生产 性高、成本低的振动元件。在上述应用例的振动元件中，也可以是，所述振动元件的基础材料为石英，在所述 振动臂或所述检测臂的任意一方上形成压电体。
根据上述，在石英的结晶轴X轴方向延伸出检测臂的情况下，在检测臂上形成压 电体，由此，能够容易地检测面外振动。并且，在结晶轴Y轴方向延伸出振动臂的情况下，在 振动臂上形成压电体，由此，能够容易地驱动面内振动。[应用例8]本应用例的振子的特征在于，该振子安装了上述应用例的振动元件。并且，作为其他方式，本应用例的振子的特征在于，该振子具有上述应用例的任 意一个所述的振动元件；以及安装了所述振动元件的封装。根据上述应用例，能够得到薄型、在形成有振动元件的面内方向具有旋转轴的作 为角速度传感器的振子。[应用例9]本应用例的电子设备的特征在于，该电子设备具有上述应用例的任意 一个所述的振动元件。根据上述应用例，能够提供具有小型且检测灵敏度良好的传感器的电子设备。
图1示出第1实施方式的振动元件，(a)是概略立体图，(b)是振动臂部剖面图， (c)是检测臂部剖面图。图2说明第1实施方式的振动元件的动作，(a)是俯视示意图，(b)、(c)是检测臂 部剖面图。图3示出第1实施方式的其他实施例，(a)是概略俯视图，(b)是概略侧视图，(C) 是概略剖面图。图4是示出第1实施方式的振动元件的制造方法的剖面图。图5示出第2实施方式的振动元件，(a)是概略俯视图，(b)是振动臂部放大剖面 图，(c)是检测臂部放大剖面图。图6示出第3实施方式的振动元件，(a)是概略俯视图，(b)、(c)是动作示意图。图7是示出振子的制造步骤的流程图。图8是示出振子的制造方法的剖面图。标号说明IOa 第1振动臂；IOb 第2振动臂；20a 第1支承部；20b 第2支承部；30 摆动 体；30a 内壁；30b,30c 开口部;40a、40b 检测臂；100 振动元件。
具体实施例方式下面，参照
本发明的实施方式。(第1实施方式)图1示出本实施方式的振动元件，(a)是概略立体图，(b)和(C)是概略剖面图。 在本实施方式中，作为一例，对由石英基板形成的振动元件100进行说明。振动元件100由所谓的Z切基板形成，该Z切基板沿着石英基板的由被称为电气 轴的X轴、被称为机械轴的Y轴以及被称为光学轴的Z轴中的X轴和Y轴规定的平面切出， 在Z轴方向上具有厚度。振动元件100具有振动臂10a、IOb (第1振动臂10a、第2振动臂IOb)，其一个端 部(一端)与支承部20a、20b (第1支承部20a、第2支承部20b)连接，且沿着作为第1轴的Y轴方向延伸；以及筒状(框状)的摆动体30，其与振动臂10a、10b的另一个端部(另 一端)连接。换言之，摆动体30被振动臂IOa的另一端和振动臂IOb的另一端夹持。如示出图1 (a)的M-M’剖面的图1 (c)所示，从摆动体30的内壁30a起，沿着在俯 视图中与振动臂10a、10b的延伸方向垂直的方向、即作为第2轴的X轴方向，延伸出检测臂 40a、40b。并且，在振动臂10a、10b和检测臂40a、40b上形成有未图示的电极。振动臂10a、 IOb具有的电极驱动振动臂10a、10b以使其在X-Y平面的面内进行弯曲振动，检测臂40a、 40b具有的电极对基于由角速度产生的科里奥利力的检测臂40a、40b的振动进行检测。并且，如示出图1(a)的L-L’剖面的图1(b)所示，摆动体30形成为在Z轴方向具 有开口部30b、30c的所谓的筒状形状。本实施例的摆动体30在俯视图中为矩形的筒状形 状，但是，也可以是圆筒状、多边形筒状，没有特别限定。振动元件100的振动臂10a、IOb的X轴方向的宽度W (图1 (a) )、Z轴方向的厚度 Tl (图1(b))、检测臂40a、40b的Z轴方向的厚度T2(图1(c))优选具有以下关系。W < TlΤ2 < Tl振动臂10a、10b的宽度W小于厚度Tl，由此，抑制了原本在X轴方向上被驱动的振 动臂10a、10b在Z轴方向(面外方向)上进行振动(不必要振动)的情况，能够减少针对 检测臂40a、40b的泄漏振动。因此，振动元件100抑制了对由于旋转角速度的科里奥利力而在Z轴方向(面外 方向)上进行振动的检测臂40a、40b施加来自振动臂10a、IOb的泄漏振动的情况，由此，能 够实现检测误差小的角速度传感器。进而，在振动元件100中，检测臂40a、40b的厚度T2比振动臂10a、10b的厚度Tl 薄，由此，能够减小振动臂10a、10b的振动方向(X轴方向)的谐振频率与检测臂40a、40b 的振动方向(Z轴方向)的谐振频率之差、即失谐频率，能够实现高灵敏度的角速度传感器。接着，使用图2说明本实施方式的动作。驱动振动元件100的振动臂10a、10b，以使其在图2(a)所示的箭头R方向即X轴 方向上进行弯曲振动。伴随该振动，与振动臂10a、10b连接的摆动体30在箭头S方向上摆 动。当使这样振动的振动元件100以角速度ω绕Y轴旋转时，由于科里奥利力，摆动 体30的内部具有的检测臂40a、40b如图2(b)、(c)所示开始进行Z轴方向的弯曲振动。对 在该检测臂40a、40b中产生的弯曲振动进行检测、运算，求出角速度ω。如上所述，检测臂40a、40b设置在摆动体30的内部，与摆动体30—起在X轴方向 上单纯地进行往返。并且，振动臂10a、10b的宽度W和厚度Tl具有W < Tl的关系，由此， 提高了振动臂10a、10b针对面外方向(Z轴方向)的刚性。因此，抑制了摆动体30在面外 方向(Z轴方向)上进行振动的情况。由此，在没有施加旋转角速度的状态下，摆动体30的 内部具有的检测臂40a、40b的面外方向(Z轴方向)的振动也减小，能够高精度地检测旋转 角速度。并且，检测臂40a、40b只是与摆动体30 —体地在X轴方向上进行往返(摆动)运 动，即使检测臂40a、40b的剖面形状由于制造上的偏差而无法形成准确的矩形形状，也能够抑制检测臂40a、40b的面外方向(Z轴方向)的振动。另外，在本实施方式中，检测臂不限于2个，可以是1个，也可以是3个以上。并且， 振动臂IOa和振动臂IOb也可以不在同一直线上(X轴方向的位置也可以彼此不同)。在本实施方式中，对具有一个各振动臂(振动臂10a、10b)的振动元件100进行了 说明，但是，如图3所示，也可以具有多个各振动臂。图3(a)示出具有摆动体31、检测臂41a、41b、支承部21a、21b、多个振动臂11a、 llb、llc、lld的振动元件110的概略俯视图，图3(b)示出侧视图，图3(c)示出图3(a)所示 的N-N’剖面。作为振动臂，振动元件110在一方具有振动臂(第1振动臂)11a、11b，在另一方 具有振动臂(第2振动臂)llc、lld，振动臂Ila和lib通过空间lie分开，同样地，振动臂 Ilc和Ild通过空间Ilf分开。其他结构与上述第1实施方式相同。在该振动元件110中，振动臂1 la、1 Ib和振动臂1 lc、1 Id的X轴方向的宽度w (图 3 (a))、Z轴方向的厚度tl (图3 (c))、检测臂41a、41b的Z轴方向的厚度t2 (图3 (c))优选 具有以下关系。w < tlt2 < tl接着，说明本实施方式的振动元件100的制造方法。图4是示出本实施方式的制 造方法的剖面图，示出图1(a)所示的L-L’、M-M’剖面部。首先，准备石英片200，如图4(a)所示，在石英片200的两面200a、200b上形成用 于形成振动元件100的外部形状的第1蚀刻掩模300。接着，通过湿蚀刻或干蚀刻对具有第 1蚀刻掩模300的石英片200进行蚀刻。此时，如图4(b)所示，通过半蚀刻，以在中间部残 留与检测臂40a、40b的厚度相当的部分200c的方式进行蚀刻。接着，如图4(c)所示，在作为检测臂40a、40b的M-M’剖面部形成第2蚀刻掩模 310。此时，采用如下步骤残留第1蚀刻掩模300，在与检测臂40a、40b相当的部分形成第 2蚀刻掩模310，但是，也可以剥离第1蚀刻掩模300，再次形成图4(c)所示的蚀刻掩模作为 第2蚀刻掩模310。再次对上述形成了第2蚀刻掩模310的石英片200进行蚀刻。蚀刻基于与上述外部形状半蚀刻相同的方法。通过再次进行蚀刻，如图4(d)所 示，形成外部形状210、作为摆动体30的内部形状的内壁30a，在与检测臂40a、40b之间还 形成贯通部40c。接着，如图4(e)所示，形成对与振动臂10a、IOb和支承部20a、20b的表面 背面对应的部分进行蚀刻的第3蚀刻掩模320。关于第3蚀刻掩模320，可以削除第1蚀刻 掩模300的一部分，或者也可以剥离第2蚀刻掩模310，将第3蚀刻掩模320形成在非蚀刻 对象部位。如图4 (f)所示，进行蚀刻，直到从第3蚀刻掩模320露出的支承部20a、20b和振 动臂10a、10b的厚度成为规定厚度为止。这样，形成图4(g)所示的振动元件100。(第2实施方式)作为其他实施方式，对将弹性材料作为基础材料，并在振动臂和检测臂上粘贴 压电体的振动元件进行说明。图5示出第2实施方式的振动元件，(a)是俯视图，(b)是 P-P’(振动臂部)放大剖面图，(C)是q_q’(检测臂部)放大剖面图。
振动元件500由将弹性材料例如硅作为基础材料的弹性片400以及固定于振动臂 和检测臂的压电体构成。与上述第1实施方式同样，弹性片400具有振动臂(第1振动臂)410a、振动臂 (第2振动臂)410b，该振动臂410a、410b的一个端部与支承部420a、420b连接，另一个端 部与摆动体430连接，在摆动体430内部，具有沿着与振动臂410a、410b的延伸方向垂直的 方向延伸的检测臂440a、440b。压电体由通过施加电场而变形的材料例如PZT等形成，在振动臂410a、410b中具 有驱动压电体61，在检测臂440a、440b中具有检测压电体62。如图5(b)所示，驱动压电体61具有被压电体61a分割的上部电极60a和下部电 极60b，该驱动压电体61固定于振动臂410a、410b。并且，如图5(c)所示，检测压电体62 在压电体62a上具有上部电极60c和下部电极60d，该检测压电体62固定于检测臂440a、 440b。上述具有的压电体的位置是对沿着振动元件500的振动臂410a、410b的延伸方向 具有旋转轴的角速度ω进行检测时的配置。振动元件500的动作与上述第1实施方式中 的动作相同，所以省略说明。另外，振动元件500的基础材料也可以是石英基板。并且，在振动元件500为石英 基板的情况下，也可以通过压电体对振动臂410a、410b进行驱动，在检测臂440a、440b的石 英基板上形成电极膜。或者，在振动元件500为石英基板的情况下，也可以在振动臂410a、 410b的石英基板上形成电极膜作为驱动电极，在检测臂440a、440b上具有压电体来检测振动。(第3实施方式)对具有多个上述第1实施方式的振动元件100或第2实施方式的振动元件500的 振动检测部的振动元件的实施方式进行说明。图6示出第3实施方式的振动元件，(a)是 概略俯视图，(b)、(c)是动作示意图。第3实施方式的振动元件只要是与第1实施方式同样由压电材料构成，或者与第2 实施方式同样构成为在弹性材料上具有压电体的振动元件，则没有特别限定，但是，这里将 压电材料的石英作为基础材料来进行说明。振动元件600具有由摆动体、检测臂、振动臂构成的第1振动体600a和第2振动 体600b这两个振动体。详细叙述时，振动元件600具有第1摆动体631和第2摆动体632 ；第1振动体 振动臂611a (第1振动臂)、611b (第2振动臂)和第2振动体振动臂612a (第1振动臂)、 612b (第2振动臂)，其一个端部(另一端)与各摆动体连接，且沿着Y轴方向延伸；以及共 同的支承部620a (第1支承部),620b (第2支承部)，其与第1振动体振动臂611a、6lib和 第2振动体振动臂612a、612b的各摆动体侧的相反侧的端部连接。第1摆动体631和第2摆动体632以沿X轴方向延伸的方式在开口部分别具有检 测臂 641a、641b、642a、642b。另外，第1摆动体631被第1振动体振动臂611a的另一端和第1振动体振动臂 611b的另一端夹持，第2摆动体632被第2振动体振动臂612a的另一端和第2振动体振动 臂612b的另一端夹持。
振动臂611a、611b、612a、612b反复进行图6(b)和(c)所示的摆动(振动)。即， 赋予异相(反相)的振动模式，以使第1摆动体631和第2摆动体632彼此在相反方向上 摆动。在该状态下，当施加图6(a)所示的具有沿着Y轴方向的旋转轴的角速度ω时，在检 测臂641a、641b、642a、642b中，由于科里奥利力而产生Z轴方向的位移，产生弯曲振动。检测该弯曲振动来运算角速度ω。在第3实施方式中，在支承部620a中的第1振动体振动臂611a和第2振动体振 动臂612a的接合部、以及支承部620b中的第1振动体振动臂611b和第2振动体振动臂 612b的接合部中，成为异相(反相)振动，能够降低针对支承部620a、620b的振动泄漏，针 对将振动元件600固定于封装的固定部的影响小，能够使振动元件600稳定地进行动作。并且，在上述第3实施方式中，说明了具有第1振动体600a和第2振动体600b这 两个振动体的振动元件600，但是，即使振动体为3个以上，通过同样的动作，也能够得到高 灵敏度的振动元件。该情况下，为了使振动平衡良好，优选具有偶数个振动体。(振子制造方法)接着，对使用上述振动元件100、500或600的振子即角速度传感器的制造方法进 行说明。图7是示出角速度传感器的制造步骤的流程图，图8是示出角速度传感器的制造 方法的剖面图。[振动元件形成步骤]首先，在振动元件形成步骤(SlOl)中，形成图8(a)所示的平面形状的振动元件 100。通过光刻、蚀刻，由石英基板形成振动元件100。在所形成的石英片上，通过蒸镀、飞溅 或CVD等方法，在表面形成作为电极的Au膜，通过光刻、蚀刻，形成为规定的电极膜。另外， 作为电极膜，还能够应用Cu、Ag、W等。[振动元件安装步骤]接着，转移到振动元件安装步骤(S102)。如图8(b)所示，以使形成于支承部20a、 20b的一个面的未图示的连接电极朝向封装700的开口侧的方式，在形成于封装700内部的 载置部711、712上载置振动元件100的支承部20a、20b，通过粘接剂721、722，将振动元件 100固定于封装700。接着，进行通过导电线741、742将振动元件100的连接电极与设于载置部711、712 的电极731、732电连接的所谓的线接合。电极731、732通过未图示的布线，与形成于封装 700外部的外部连接电极751、752电连接。[失谐步骤]接着，转移到失谐步骤(S103)。如图8(c)所示，针对通过与振动元件100具有的 电极膜相同的Au膜形成于检测臂40a、40b的端部的未图示的调整膜，从未图示的激光装置 照射YAG激光等的激光800，去除调整膜的一部分，同时进行失谐步骤(S103)。通过预先在 检测臂40a、40b的端部附加调整膜，由此，将检测臂40a、40b中的检测振动(弯曲振动)的 频率设定为低于期望频率。这里，照射激光800来去除调整膜的一部分，由此，调整膜的质 量减小，在检测臂40a、40b的检测振动的频率增高的方向进行调整。作为去除调整膜的方 法，除了 YAG激光以外，还能够使用电子束、反飞溅等的手法。[密封步骤]接着，转移到密封步骤(S104)。在密封步骤(S104)中，对安装了振动元件100的封装700的内部进行气密密封。如图8(d)所示，在配置于封装700的上表面的盖体900为 科瓦铁镍钴合金(kovar)等的金属的情况下，对盖体900与封装700的接合部进行缝焊，利 用惰性氛围气或减压氛围气对封装700内部进行气密密封。并且，在盖体900使用透明玻 璃的情况下，在盖体900与封装700的接合面713配置低熔点玻璃，基于低熔点玻璃的溶融 来进行接合，利用惰性氛围气或减压氛围气对封装700内部进行气密密封。这样，角速度传 感器1000完成。另外，在盖体900使用透明玻璃的情况下，激光能够透射过盖体900而对振动元件 100的调整膜进行照射，所以，能够在密封步骤后实施失谐步骤。(电子设备)这里，说明具有上述振动元件的电子设备。另外，省略图示。上述振动元件能够作为传感器件或定时器件，优选用于数字照相机、摄像机、导航 装置、指示器件、游戏控制器、便携电话、电子书、个人计算机、电视、录像机、寻呼机、电子记 事本、计算器、文字处理器、工作站、可视电话、POS终端、具有触摸板的设备等的电子设备， 在任何情况下，均能够提供发挥在上述实施方式中说明的效果的电子设备。如果列举一例，则上述振动元件能够提供具有小型且检测灵敏度良好的传感器的 电子设备。
权利要求
1.一种振动元件，其特征在于，该振动元件具有 第1支承部和第2支承部；第1振动臂，其一端与所述第1支承部连接，且沿着第1轴延伸； 第2振动臂，其一端与所述第2支承部连接，且沿着所述第1轴延伸； 摆动体，其被所述第1振动臂和所述第2振动臂的另一端夹持，且具有开口部；以及 检测臂，其从所述摆动体的所述开口部的内壁起，沿着在俯视图中与所述第1轴垂直 的第2轴延伸。
2.根据权利要求1所述的振动元件，其特征在于，所述检测臂的厚度比所述第1振动臂和所述第2振动臂的厚度薄。
3.根据权利要求1或2所述的振动元件，其特征在于，所述第1振动臂和所述第2振动臂的宽度小于所述第1振动臂和所述第2振动臂的厚度。
4.根据权利要求1 3中的任意一项所述的振动元件，其特征在于， 所述第1振动臂和所述第2振动臂在所述第2轴的方向上振动，绕所述第1轴施加旋转时，所述检测臂在与所述第1轴和所述第2轴垂直的方向上振动。
5.一种振动元件，其特征在于，并列配置2个权利要求1 4中的任意一项所述的振动元件， 一个所述振动元件和另一个所述振动元件彼此在相反方向上振动。
6.根据权利要求1 5中的任意一项所述的振动元件，其特征在于， 所述振动元件的基础材料为石英。
7.根据权利要求1 6中的任意一项所述的振动元件，其特征在于，在所述第1振动臂、所述第2振动臂和所述检测臂的至少一方上设置有压电体。
8.一种振子，其特征在于，该振子具有权利要求1 7中的任意一项所述的振动元件；以及 安装了所述振动元件的封装。
9.一种电子设备，其特征在于，该电子设备具有权利要求1 7中的任意一项所述的振 动元件。
全文摘要
本发明提供小型且振动泄漏少的振动元件、振子以及电子设备。振动元件(100)具有第1支承部(20a)和第2支承部(20b)；第1振动臂(10a)，其一端与第1支承部(20a)连接，且沿着Y轴延伸；第2振动臂(10b)，其一端与第2支承部(20b)连接，且沿着Y轴延伸；摆动体(30)，其与第1振动臂(10a)和第2振动臂(10b)的另一端连接，且配置在第1振动臂(10a)和第2振动臂(10b)之间；以及检测臂(40a、40b)，其从具有开口部(30b、30c)的摆动体(30)的开口部(30b、30c)的内壁(30a)起，沿着与Y轴垂直的X轴延伸。
文档编号H03H9/15GK102118142SQ201010601789
公开日2011年7月6日 申请日期2010年12月22日 优先权日2010年1月5日
发明者押尾政宏 申请人:精工爱普生株式会社