振动片、振子、振荡器、电子设备以及移动体的制作方法
【专利摘要】本发明提供振动片、振子、振荡器、电子设备以及移动体。作为课题，提供即使小型化也能够抑制向封装等的振动泄漏、能够将CI值抑制得较低的振动片、具有该振动片的振子、振荡器、电子设备以及移动体。振动片包含：基部，其包含一个端部以及俯视时处于与所述一个端部相反侧的另一端部；以及从所述基部的所述一个端部起沿着第1方向延伸的一对振动臂，所述基部在所述一个端部和所述另一端部中的至少任意一个端部中包含宽度缩小部，朝向沿着所述第1方向与所述基部远离的方向侧，所述宽度缩小部的沿着与所述第1方向交叉的第2方向的宽度逐渐变小，在所述基部的所述一个端部与所述另一端部之间设置有固定部。
【专利说明】振动片、振子、振荡器、电子设备以及移动体
【技术领域】
[0001]本发明涉及振动片、振子、振荡器、电子设备以及移动体。
【背景技术】
[0002]在HDD (硬盘驱动器)、移动式计算机或者IC卡等小型信息设备、便携电话、车载电话或者寻呼系统等移动体通信设备等中，广泛使用了振子和振荡器等电子器件。
[0003]图31示出以往用于电子器件的振动片的一例。
[0004]在图31中，振动片101通过对石英等压电材料进行蚀刻而形成图示的外形，振动片101具有安装到封装(未图示)等上的矩形的基部112、以及从基部112的支撑并连结振动臂的主体部114朝向图中上方延伸的一对振动臂120、122，在这些振动臂的主面(正面和背面)形成有槽128、130，并且形成有所需的驱动用电极(未图示)。
[0005]在这样的振动片101中经由驱动用电极施加驱动电压时，各振动臂120、122的末端部重复地彼此接近和远离而进行弯曲振动，由此取出预定频率的信号。
[0006]另外，关于这样的振动片101，伴随振动臂120、122的弯曲振动，振动片101的振动传播到基部112侧，有时振动会从基部112泄漏到固定振动片的部件(粘结剂或金属凸块等)。由此，在振动片101中，存在导致Q值降低，结果导致Cl (晶体阻抗)值上升的问题。
[0007]为了应对该问题，在专利文献I中，公开了如下构造的振动片:该振动片在基部上，在比与其封装等相固定的固定部位靠振动臂侧的位置处形成了缺口。
`[0008]此外，在专利文献2中，也公开了如下构造的振动片:该振动片在比与封装等相固定的固定部位靠振动臂侧的位置处形成了贯通槽。
[0009]由于缺口和贯通槽的作用，减少了从振动臂的振动泄漏，从而抑制了从基部向固定振动片的部件的振动泄漏。
[0010]【专利文献I】日本特开2002-261575号公报
[0011]【专利文献2】日本特开2005-236563号公报
[0012]另外，在搭载有这样的振动片的各种设备的小型化的进展中，要求振动片自身也尽量小型化。
[0013]因此，在专利文献I和专利文献2所公开的振动片中，由于在基部上设置了缺口或贯通槽，延长了从振动臂侧向固定部位的振动泄漏的传递路径，因此振动片长度变长，存在难以小型化的问题。
【发明内容】
[0014]本发明正是为了解决上述问题中的至少一部分而完成的，可作为以下方式或应用例来实现。
[0015][应用例I]本应用例的振动片的特征在于，包含:基部，其包含一个端部以及俯视时处于与所述一个端部相反侧的另一端部；以及从所述基部的所述一个端部起沿着第I方向延伸的一对振动臂，所述基部在所述一个端部和所述另一端部中的至少任意一个端部中包含宽度缩小部，随着朝向沿着所述第I方向与所述基部远离的方向侧，所述宽度缩小部的沿着与所述第I方向交叉的第2方向的宽度逐渐变小，在所述基部的所述一个端部与所述另一端部之间设置有固定部。
[0016]根据本应用例，具有如下效果:即使缩短振动片的基部在振动臂的延伸方向上的长度，通过在连接第I振动臂和第2振动臂的基部处设置宽度缩小部，也能够增强基部的一个端部或另一端部的刚性，可得到能够减小与两个振动臂的弯曲振动相伴的一个端部或另一端部的变形、减少从基部的固定部向固定部件的振动泄漏的小型振动片。而且，能够减小由于振动泄漏引起的Q值降低。
[0017][应用例2]在上述应用例所述的振动片中，其特征在于，所述宽度缩小部的外缘在俯视时是关于假想中心线对称的形状，其中，所述假想中心线通过所述一对振动臂之间的中心且沿着所述第I方向。
[0018]根据本应用例，具有如下效果:通过使设置于基部的宽度缩小部的外缘成为关于假想中心线左右对称的形状，能够从左右均等地受到与两个振动臂进行弯曲振动时产生的关于假想中心线左右对称的变形相伴的基部上的应力并相互抵消，因此，可得到能够抑制基部的固定部的变形、抑制振动泄漏的小型振动片。
[0019][应用例3]在上述应用例所述的振动片中，其特征在于，所述宽度缩小部的外缘是曲线状。
[0020]根据本应用例，具有如下效果:通过使宽度缩小部的外缘形状成为曲线状，能够进一步增强基部的一个端部或另一端部的刚性，因此，可得到能够抑制基部的中央部的变形、进一步抑制振动泄漏的小型振动片。
[0021][应用例4]在上述应用例所述的振动片中，其特征在于，所述宽度缩小部的外缘包含一对倾斜部，所述一对倾斜部相对于所述第2方向朝向彼此相反的方向倾斜。
[0022]根据本应用例，具有如下效果:一对倾斜部的突出方向的末端侧的端部彼此在空间中连接，并从基部突出，由此能够进一步增强基部的具有宽度缩小部的一个端部或另一端部的刚性，因此，可得到能够抑制基部的中央部的变形、进一步抑制振动泄漏的小型振动片。
[0023][应用例5]在上述应用例所述的振动片中，其特征在于，所述宽度缩小部在所述一对倾斜部的连接部处包含角部。
[0024]根据本应用例，具有如下效果:通过形成以一对倾斜部为边的角，能够进一步增强基部的具有宽度缩小部的一个端部或另一端部的刚性，可得到能够抑制基部的固定部的变形、进一步抑制振动泄漏的小型振动片。
[0025][应用例6]在上述应用例所述的振动片中，其特征在于，所述宽度缩小部设置于所述一个端部侧。
[0026]根据本应用例，具有如下效果:通过在连接第I振动臂和第2振动臂的基部的上部(振动臂)侧设置宽度缩小部，能够增强基部的下部(未连接振动臂的)方向上的刚性，特别是能够减小两个振动臂的末端部接近时产生的基部的中央部朝向下部方向的变形，因此，可得到能够防止从基部的固定部向接合部件等的振动泄漏的小型振动片。
[0027][应用例7]在上述应用例所述的振动片中，其特征在于，所述宽度缩小部设置于所述另一端部侧。[0028]根据本应用例，具有如下效果:通过在连接第I振动臂和第2振动臂的基部的下部侧设置宽度缩小部，能够增强上部方向上的刚性，特别是能够抑制两个振动臂的末端部远离时产生的基部的中央部朝向上部方向的变形，因此可得到能够防止从基部的固定部向接合部件等的振动泄漏的振动片。
[0029][应用例8]在上述应用例所述的振动片中，其特征在于，所述宽度缩小部设置于所述一个端部侧和所述另一端部侧这两侧。
[0030]根据本应用例，具有如下效果:通过在连接第I振动臂和第2振动臂的基部的上部(振动臂)侧和下部(无振动臂)侧设置宽度缩小部，能够进一步增强在上部和下部这两个方向上的刚性，能够抑制两个振动臂的末端部接近、远离时产生的基部的中央部朝向上部和下部这两个方向的变形，因此，可得到大幅减少了从基部的固定部向接合部件等的振动泄漏、减小了 Q值降低的振动片。
[0031][应用例9]上述应用例所述的振动片的特征在于，所述固定部在俯视时位于通过所述一对振动臂之间的中心且沿着所述第I方向的假想中心线上的彼此不同的两个部位，在设所述基部的所述第2方向的长度为W，从所述假想中心线到所述固定部的中心的长度为 Xl 时，Xl/ (ff/2) X 100% 为 0% 以上 45% 以下。
[0032]根据本应用例，具有如下效果:当把在基部的一个端部或另一端部具有宽度缩小部的振动片安装到容器时，通过将固定部的位置设为Xl/ (ff/2) X 100%为0%以上45%以下的范围，能够进一步减少从基部的固定部向接合部件等的振动泄漏，因此可得到减小了 Q值降低的振动片。
[0033][应用例10]上述应用例所述的振动片的特征在于，所述固定部沿着所述第2方向位于彼此不同的两个部位，在设所述基部的所述第2方向的长度为W，从通过所述一对振动臂之间的中心且沿着所述第I方向的假想中心线到所述固定部的中心的长度为Xl时，Xl/(ff/2) X 100% 为 18% 以上 45% 以下。
[0034]根据本应用例，具有如下效果:当把在基部的一个端部或另一端部具有宽度缩小部的振动片安装到容器时，通过将固定部的位置设为Xl/ (ff/2) X 100%为18%以上45%以下的范围，能够进一步减少从基部的固定部向接合部件等的振动泄漏，因此可得到减小了 Q值降低的振动片。
[0035][应用例11]本应用例的振子的特征在于，具有:上述应用例所述的振动片；以及固定着所述振动片的所述固定部的容器。
[0036]根据本应用例，具有如下效果:通过将振动片搭载到容器，能够降低温度变化、湿度变化等外来因素的影响和污染的影响，因此可得到频率再现性和频率时效特性优异的振子。
[0037][应用例12]上述应用例所述的振子的特征在于，所述固定部的一个部位被固定。
[0038]根据本应用例，具有如下效果:通过对振动片的固定部的一个部位进行固定，能够减小与容器的线膨胀系数的差异引起的安装变形，因此，可得到减小了因安装变形引起的频率温度特性、频率再现性和频率时效特性的劣化的振子。
[0039][应用例13]上述应用例所述的振子的特征在于，设置于所述基部的与所述固定部侧的一个主面相反侧的另一个主面上的电极焊盘和设置于所述容器的电极端子通过线连接。[0040]根据本应用例，具有如下效果:通过用线来连接振动片的电极焊盘和容器的电极端子，能够以一个部位来固定振动片，因此能够减小与容器之间的线膨胀系数的差异引起的安装变形，所以可得到减小了因安装变形引起的频率温度特性、频率再现性和频率时效特性的劣化的振子。
[0041][应用例14]本应用例的振荡器的特征在于，具有上述应用例所述的振动片以及电路。
[0042]根据本应用例，具有如下效果:能够利用减小了因振动泄漏引起的Q值降低且可实现小型化的振动片和激励振动片的振荡电路等来构成振荡器，因此可得到具有稳定的振荡特性的小型振荡器。
[0043][应用例15]本应用例的电子设备的特征在于，该电子设备具有上述应用例所述的振动片。
[0044]根据本应用例，具有如下效果:由于采用了减小了因振动泄漏引起的Q值降低的小型振动片，因此可构成具备拥有稳定的振荡特性的小型振荡器的电子设备。
[0045][应用例16]本应用例的移动体的特征在于，该移动体具有上述应用例所述的振动片。
[0046]根据本应用例，具有如下效果:由于采用了减小了因振动泄漏引起的Q值降低的小型振动片，因此可构成搭载了高精度且稳定的电子控制单元的移动体，该电子控制单元具备拥有稳定的振荡特性的小型振荡器。
【专利附图】
【附图说明】
[0047]图1是示出本发明第I实施方式的振动片的构造的概略图，Ca)是俯视图，(b)是A-A截面图。
[0048]图2是示出仿真中使用的现有技术的振动片(参照专利文献2)的构造的俯视图。
[0049]图3是示出仿真中使用的第I实施方式的振动片的构造的俯视图。
[0050]图4是说明抑制振动泄漏的原理的俯视图，Ca)是现有的振动片的概略俯视图，(b)是简化模型的俯视图。
[0051]图5是说明抑制振动泄漏的原理的图，Ca)是连结部处于上部的分解图，(b)是连结部处于中央的分解图，(C)是连结部处于下部的分解图，Cd)是连结部处于旋转体的下部的分解图。
[0052]图6是说明抑制振动泄漏的原理的俯视图，Ca)是第I实施方式的振动片的概略俯视图，(b)是简化模型的俯视图。
[0053]图7是说明抑制振动泄漏的原理的图，Ca)是连结部处于上部的分解图，(b)是连结部处于中央的分解图，(C)是连结部处于下部的分解图，Cd)是拱形的连结部处于旋转体的上部的分解图。
[0054]图8是示出本发明第2实施方式的振动片的构造的俯视图。
[0055]图9是说明抑制振动泄漏的原理的俯视图，Ca)是第2实施方式的振动片的概略俯视图，(b)是简化模型的俯视图。
[0056]图10是说明抑制振动泄漏的原理的图，(a)是连结部处于上部的分解图，(b)是连结部处于中央的分解图，(C)是连结部处于下部的分解图，Cd)是拱形的连结部处于旋转体的下部的分解图。
[0057]图11是示出本发明第3实施方式的振动片的构造的俯视图。
[0058]图12是示出本发明第4实施方式的振动片的构造的俯视图。
[0059]图13是示出本发明第5实施方式的振动片的构造的俯视图。
[0060]图14是示出本发明第6实施方式的振动片的构造的俯视图。
[0061]图15是示出本发明第7实施方式的振动片的构造的俯视图。
[0062]图16是示出本发明第8实施方式的振动片的构造的俯视图。
[0063]图17是示出对本发明实施方式的振动片进行了纵向两点粘结时的粘结剂中心位置与Q值之间的关系的图，Ca)是示出纵向两点粘结时的粘结剂的位置的俯视图，(b)是示出粘结剂中心位置与Q值之间的关系的图。
[0064]图18是示出对本发明实施方式的振动片进行了横向两点粘结时的粘结剂中心位置与Q值之间的关系的图，Ca)是示出横向两点粘结时的粘结剂的位置的俯视图，(b)是示出粘结剂中心位置与Q值之间的关系的图。
[0065]图19是示出对本发明实施方式的振动片进行了 I点粘结时的粘结剂中心位置与Q值之间的关系的图，(a)是示出I点粘结时的粘结剂的位置的俯视图，(b)是示出粘结剂中心位置与Q值之间的关系的图。
[0066]图20是示出在本发明实施方式的振动片上对电极进行了布线的例子的概略图，(a)是正面的电极布线图，(b)是B — B截面图，(C)是背面的电极布线图，(d)是C 一 C截面图。
[0067]图21是示出本发明实施方式的振子的构造的概略图，(a)是俯视图，(b)是A — A截面图。
[0068]图22是示出将本发明实施方式的振动片安装于封装的变形例I的概略图，(a)是俯视图，(b)是A — A截面图。
[0069]图23是示出将本发明实施方式的振动片安装于封装的变形例2的概略图，(a)是俯视图，(b)是A — A截面图。
[0070]图24是示出将本发明实施方式的振动片安装于封装的变形例3的概略图，(a)是俯视图，(b)是A — A截面图。
[0071]图25是示出将本发明实施方式的振动片安装于封装的变形例4的概略图，(a)是俯视图，(b)是A — A截面图。
[0072]图26是示出本发明实施方式的振荡器的构造的截面图。
[0073]图27是示出作为具有本发明实施方式的振动片的电子设备的移动型(或笔记本型)的个人计算机的结构的立体图。
[0074]图28是示出作为具有本发明实施方式的振动片的电子设备的便携电话机(也包括PHS)的结构的立体图。
[0075]图29是示出作为具有本发明实施方式的振动片的电子设备的数字照相机的结构的立体图。
[0076]图30是示出作为应用了具有本发明实施方式的振动片的振子和振荡器的移动体的汽车的结构的立体图。
[0077]图31是示出一般的振动片的构造的俯视图。[0078]标号说明
[0079]1、2:振动片；3:振子；4:振汤器、10:振动基板；12:基部；14:王体部;16、18:览度缩小部;17a、19a:曲线部;17b、17c、19b、19c:倾斜部;20、22:振动臂;20a、20b、22a、22b:主面;24、26:施重部;28a、28b、30a、30b:槽；35:接合部件；37:接合线；41a、41b:激励电极；42a、42b:引出电极；43a、43b:焊盘电极;45、46:安装端子;47、48:连接电极；50，60:封装主体；51:第I基板；52:第2基板；53:第3基板；54:第4基板；59:盖部件；62:IC芯片；64:树脂材料；68:密封件;70、72:腔室；82:振动抵消部；84:框部;86:岛部；100:显示部；151、152:弹性棒;153、164、165、167、168:基部;154、156、162、163:旋转体；155、157:旋转轴;158、159、160、161、166、169:连结部；1100:个人计算机；1102:键盘；1104:主体部；1106:显示单元；1200:便携电话机；1202:操作按钮；1204:接听口 ；1206:通话口 ；1300:数字照相机；1302:外壳；1304:受光单元；1306:快门按钮；1308:存储器；1312:视频信号输出端子；1314:输入输出端子；1430:电视监视器；1440:个人计算机；2106:汽车；2107:车体；2108:电子控制单元；2109:轮胎。
【具体实施方式】
[0080]下面，根据附图来详细说明本发明的实施方式。
[0081](振动片)
[0082]<第I实施方式>
[0083]图1是示出本发明第I实施方式的振动片的构造的概略图，图1 (a)是俯视图，图1 (b)是图1 (a)的A — A截面图。图2和图3是示出进行仿真的振动片的构造的俯视图，图2是现有技术的振动片(参照专利文献2)的俯视图，图3是本发明第I实施方式的振动片的俯视图。另外，在各图中，为了便于说明，作为彼此垂直的3个轴，图示了 X轴、Y轴和Z轴。此外，在以下的说明中，为了便于说明，也将从Z轴方向观察时的俯视图简称作“俯视图”。
[0084]图1所示的振动片I由振动基板10构成，该振动基板10具有:基部12、振动臂20、22、施重部 24,26 以及槽 28a、28b、30a、30b。
[0085]振动基板10例如由石英、特别是Z切石英板构成。由此，振动片I能够发挥优异的振动特性。Z切石英板是将石英的Z轴(光轴)作为厚度方向的石英基板。优选Z轴与振动基板10的厚度方向一致，但是，从减小常温附近的频率温度变化的方面考虑，可以相对于厚度方向略微地(例如，小于15°左右)倾斜。
[0086]此处，在通过对石英基板进行湿蚀刻来对振动基板10进行外形加工的情况下，在振动基板10的轮廓中出现石英的晶面，从而导致振动片I的形状对称性劣化，而为了形成减少了晶面的出现的形状，优选将振动基板10的厚度设为70iim以下。此外，为了减小Cl值，意味着增大驱动区域，优选将振动基板10的厚度设为比70 ii m厚、比300 ii m薄。并且，即使是容易出现晶面的厚度，为了减小该厚度，在外形蚀刻时，优选使蚀刻量成为通过湿蚀亥IJ在厚度方向上贯通的蚀刻量(蚀刻时间)的2倍至30倍的蚀刻量(蚀刻时间)。
[0087]即，使蚀刻量(时间)成为2?30倍是指进行过蚀刻，通过过蚀刻，能够抑制振动片的外形中出现的飞边的产生。将通过外形形状的蚀刻而贯通的时刻定义为“无过蚀刻”，通过实施过蚀刻，能够减小外形中出现的飞边，成为不易发生振动泄漏的构造。[0088]振动基板10具有基部12以及两个振动臂20、22，这两个振动臂20、22从基部12向+Y轴方向突出，且在X轴方向上排列设置。这样的振动基板10形成为关于与Y轴平行的假想中心线Yl对称。
[0089]基部12大致呈板状，S卩:在XY平面上扩展，在Z轴方向上具有厚度。这样的基部12具有:支撑并连结振动臂20、22的主体部14 ;以及抑制振动泄漏的宽度缩小部16。
[0090]主体部14的宽度(X轴方向的长度)沿着Y轴方向大致恒定。即，主体部14具有大致矩形的平面形状。并且，在主体部14的+Y轴方向侧的外缘连接有宽度缩小部16。SP，宽度缩小部16借助主体部14设置在与各振动臂20、22相同的一侧。
[0091]宽度缩小部16的轮廓由曲线状的曲线部17a构成，曲线部17a的曲率半径在其整个范围内恒定。此外，曲线部17a的两端的假想延长线与主体部14的+ Y轴方向侧的各角连接。
[0092]此外，在对石英基板进行湿蚀刻来对振动基板10进行外形加工的情况下，在振动基板10的轮廓中出现石英的晶面，因此在微观观察时，可以说曲线部17a是短直线状部分的集合体，但这样的情况也包含在“曲线状”中。此外，该情况下，可以在比作为短直线状部分的集合体的曲线部17a靠内侧(主体部14侧)的位置，以不出现晶面的程度追加地实施湿蚀刻来形成曲线。
[0093]振动臂20、22在X轴方向上排列设置，并分别从基部12向+Y轴方向延伸。此外，振动臂20、22在其末端部分别具有X轴方向的宽度比振动臂20、22的靠基部12侧的宽度宽的施重部24、26。通过设置施重部24、26，能够实现振动片I的小型化，并且能够降低振动臂20、22的弯曲振动的频率。另外，关于施重部24、26，可以根据需要在X轴方向上具有多种宽度，还可以省略施重部。
[0094]此外，在振动臂20上形成有朝向一个主面20a开放的有底的槽28a、以及朝向另一个主面20b开放的有底的槽28b。同样，在振动臂22上形成有朝向一个主面22a开放的有底的槽30a、以及朝向另一个主面22b开放的有底的槽30b。这些槽28a、28b、30a、30b在Y轴方向上延伸地设置，并且呈彼此相同的形状。因此，如图1 (b)所示，振动臂20、22呈现为在正面和背面分别具有凹部的横截面形状。通过形成这样的槽28a、28b、30a、30b，因弯曲振动产生的热量难以扩散(热传导)，在弯曲振动频率(机械的弯曲振动频率)f大于热弛豫频率f0的区域(f > f0)即绝热区域中，能够抑制热弹性损失。另外，槽28a、28b、30a、30b可以根据需要进行设置，也可以省略。
[0095]槽的深度是振动片I的厚度的30%以上且小于50%的深度，当在振动臂的正面和背面形成该槽时，热弹性损失变小，并且被激励电极夹着的区域增大，由此能够减小Cl值。
[0096]并且，在设振动臂的宽度减去槽的宽度后的宽度的一半为侧壁宽度时，如果侧壁宽度为20 y m以下，则夹在激励电极之间的区域中产生的电场变强，因此能够减小Cl值。而且，侧壁宽度更优选处于最大程度地降低热弹性损失的5 y m以上9 y m以下的范围。
[0097]两个振动臂相对于Z方向在同一方向上振动的模式是Z同相模式。两个振动臂相对于Z方向在彼此远离的方向上振动的模式是Z反相模式。两个振动臂相对于X方向在同一方向上振动的模式是X同相模式。两个振动臂相对于X方向在彼此远离或接近的方向上振动的模式是X反相模式。两个振动臂分别以与Y轴平行的Y2轴和Y3轴为轴进行旋转变形的同相模式是扭转同相模式。其反相模式是扭转反相模式。这样，本发明中激励的模式是X反相模式，对形状进行设计，使得X反相模式的谐振频率与Z同相模式及其高次模式、Z反相模式及其高次模式、X同相模式及其高次模式、扭转同相模式及其高次模式、扭转反相模式及其高次模式的谐振频率不同。由此，X反相模式不会与其他模式发生较强的耦合，能够得到不存在耦合所引起的频率温度特性的劣化和振动泄漏的增大的、特性偏差较小的稳定的振动片。
[0098]以上，对振动片I的结构进行了简单说明。接着，根据仿真结果来证明通过设置上述宽度缩小部16而提高了振动特性的情况。另外，以下，代表性地使用了如下仿真:该仿真采用了振动臂20、22彼此接近或远离的弯曲振动的基本模式中的弯曲振动频率(机械的弯曲振动频率)f=32.768kHz附近的振动片。但是，在使用了振动臂20、22彼此接近或远离的弯曲振动的情况下，如根据后述的机理也容易想像的那样，由发明人确认到即使对弯曲振动频率f进行变更，也能够得到与下述示出的仿真结果相同的趋势。
[0099]图2是示出仿真中使用的现有技术的振动片(参照专利文献2)的构造的俯视图，图3是示出仿真中使用的第I实施方式的振动片的构造的俯视图。
[0100]本仿真中使用的振动片的振动臂20、22的尺寸分别是:长度Lb (包含施重部24、26在内的长度)为1038 iim、厚度为114 y m、宽度Wb为71 y m，基部12的宽度W为520iim。另外，发明人确认到:即使改变振动臂20、22或基部12的尺寸，也成为与下述示出的仿真结果相同的趋势。
[0101]此处，在本仿真中，对仅由振动泄漏引起的Q值的劣化程度进行了分析和评价。
[0102]图2是在基部12中，基部12的支撑并连结振动臂20、22的部分的长度(Y轴方向的长度)L为122 u m、且基部12整体的长度Lh为345 y m的现有技术的振动片(参照专利文献2)，Q值为38230。此外，图3是在基部12上形成有宽度缩小部16，而且从基部12的与振动臂20、22相连的连结部到基部12的与连结部相反侧的端部的长度L为122 ii m、且宽度缩小部16的长度LI为42iim的本发明第I实施方式的振动片，Q值为53899。
[0103]根据Q值的结果，尽管图3的本发明第I实施方式的振动片与图2的现有技术的振动片相比，全长缩短了 16% (= (345um - 122 u m)/ (1038 y m+345 y m) X 100%)，但 Q 值显著提高。在图2的振动片的构造中，设置有振动抵消部82，该振动抵消部82用于抵消从各振动臂20、22泄漏的彼此反相的振动(X轴方向的振动)。但是，由于框部84从没有通过振动抵消部82充分抵消振动的区域延伸到作为固定部的岛部86，因此无法充分减少振动泄漏，结果Q值劣化。与此相对，本发明的构造在不具有框部而具有宽度缩小部16的主体部14的中央部设置有固定部，由此实现了能够减少振动泄漏、可发挥优异的振动特性的振动片。
[0104]在本发明的构造中减少了振动泄漏的原因是由于产生了如下作用。
[0105]图4是说明抑制振动泄漏的原理的俯视图，图4 Ca)是现有技术的振动片的概略俯视图，图4 (b)是简化模型的俯视图，图5是说明抑制振动泄漏的原理的图，图5 (a)是连结部处于上部的分解图，图5 (b)是连结部处于中央的分解图，图5 (c)是连结部处于下部的分解图，图5 Cd)是连结部处于旋转体的下部的分解图。
[0106]此外，图6是说明抑制振动泄漏的原理的俯视图，图6 (a)是第I实施方式的振动片的概略俯视图，图6 (b)是简化模型的俯视图，图7是说明抑制振动泄漏的原理的图，图7 (a)是连结部处于上部的分解图，图7 (b)是连结部处于中央的分解图，图7 (c)是连结部处于下部的分解图，图7 Cd)是拱形的连结部处于旋转体的上部的分解图。
[0107]<现有技术的基部构造的情况>
[0108]首先，对于图4(a)所示的没有宽度缩小部的现有技术那样的构造而言，如图4(b)所示，可以将在作为模拟刚体的旋转体154上连接有弹性棒151的部分、以及在作为模拟刚体的旋转体156上连接有弹性棒152的部分看作是通过简化的基部153相连的部分(原因将后述)，其中，旋转体154以旋转轴155为旋转中心且具有预定半径R，旋转体156以旋转轴157为旋转中心且具有半径R。
[0109]此外，如图5所示，作为简化的基部153的代表性的连结部，考虑以下连结部:比旋转轴155、157靠弹性棒151、152侧的第I连结部158 ;设置于旋转轴155、157之间的第2连结部159 ;比旋转轴155、157靠与弹性棒所处的方向相反的一侧的第3连结部160 ;以及比第3连结部160更靠与弹性棒所处的方向相反的一侧的第4连结部161。
[0110]在两个振动臂20、22以彼此远离的方式进行弯曲变形的情况下，看作弹性棒151、152以彼此远离的方式进行弯曲变形，但在该情况下，在从振动臂20、22的根部周边到与振动臂的末端方向相反方向的预定场所，形成有位移矢量的漩涡。该漩涡的中心大多处于包含基部12在内的、振动臂20、22的根部附近，但有时也形成在不属于振动臂20、22和基部12的区域的假想空间上。
[0111]这里为了便于说明，设该漩涡的中心属于基部12的区域、且离弹性棒151、152的距离相等，并且将该漩涡的中心设为图4 (b)中的旋转轴155、157。另外，以该旋转轴155、157为旋转中心且具有半径R的作为模拟刚体的旋转体154、156的外周的切线方向上的位移在弹性棒151、152的末端方向侧最大，在与弹性棒151、152的末端方向相反侧的方向上最小。因此，表现为“模拟”刚体。
[0112]在图5 Ca)中，简化的基部153的代表性的第I连结部158在作为模拟刚体的旋转体154、156的旋转运动的作用下被强烈拉伸，同时朝向弹性棒151、152的末端方向略微地移动。
[0113]在图5 (b)中，简化的基部153的代表性的第2连结部159也同样在作为模拟刚体的旋转体154、156的旋转运动的作用下被拉伸，并且朝向弹性棒151、152的末端方向移动。
[0114]此外，在图5 (C)中，简化的基部153的代表性的第3连结部160在作为模拟刚体的旋转体154、156的旋转运动的作用下被压缩，同时朝向弹性棒151、152的末端方向移动，此时，第3连结部160的长度方向(弹性棒151、152的排列方向)的中央周边具有朝向弹性棒151、152的末端方向、或者朝向与弹性棒151、152的末端方向相反侧的方向中的任意一个方向变形的潜力。
[0115]此外，在图5 (d)中，对于简化的基部153的代表性的第4连结部161而言，如果重新考虑具有比半径R大的半径R’且以旋转轴155、157为旋转中心的作为模拟刚体的旋转体162、163，则与简化的基部的代表性的第3连结部160同样，在作为模拟刚体的旋转体162,163的旋转运动的作用下被略微地压缩，同时朝向弹性棒151、152的末端方向略微地移动。此时，第4连结部161的长度方向的中央周边具有朝向弹性棒151、152的末端方向、或者朝向与弹性棒151、152的末端方向相反侧的方向中的任意一个方向变形的潜力。
[0116]第I至第4连结部158、159、160、161全部朝向弹性棒151、152的末端方向移动，因此第3至第4连结部具有的潜力引起的变形是朝向弹性棒151、152的末端侧位移的变形。
[0117]因此，通过弹性棒151、152的远离运动，在简化的基部153的代表性的第I至第4连结部158、159、160、161中，在连接旋转轴155与157的方向上产生了压缩或拉伸的变形，同时起到了抵消振动位移的作用。并且，全部连结部朝向弹性棒151、152的末端侧的方向移位，如果在简化的基部153上形成有固定部件，即如果在基部12上形成有固定部件，则与该朝向弹性棒151、152的末端方向的移位相伴的能量经由固定部件泄漏到外部。该泄漏是振动泄漏，从而导致Q值劣化了与泄漏的能量相应的程度。
[0118]<本发明的在基部的上侧(配置有振动臂的一侧)具有宽度缩小部的情况>
[0119]与此相对，图6 (a)不出了本发明的在基部的延伸设置有振动臂20、22的一侧的端部形成了宽度缩小部的情况。该情况与上述同样，如图6 (b)所示，可以将在作为模拟刚体的旋转体154上连接有弹性棒151的部分、以及在作为模拟刚体的旋转体156上连接有弹性棒152的部分看作是通过简化的基部165相连的部分，其中，所述旋转体154以旋转轴155为旋转中心且具有预定半径R，所述旋转体156以旋转轴157为旋转中心且具有半径R。
[0120]并且如图7所示，作为简化的基部165的代表性的连结部，考虑以下连结部:比旋转轴155、157靠弹性棒151、152侧的第I连结部158 ;设置于旋转轴155、157之间的第2连结部159 ;比旋转轴155、157靠与弹性棒所处的方向相反的一侧的第3连结部160 ;以及比第I连结部158更靠弹性棒的末端方向的第4连结部166。
[0121]在两个振动臂20、22以彼此接近的方式进行弯曲变形的情况下，看作弹性棒151、152以彼此接近的方式进行弯曲变形，但在该情况下，在从振动臂20、22的根部周边到与振动臂的末端方向相反的方向的预定场所，形成有位移矢量的漩涡。该漩涡的中心大多处于包含基部164在内的、振动臂20、22的根部附近，但有时也形成在不属于振动臂20、22和基部164的区域的假想空间上。这里为了便于说明，设该漩涡的中心属于基部164的区域、且离弹性棒151、152的距离相等，并且将该漩涡的中心设为图6中的旋转轴155、157。
[0122]另外，以该旋转轴155、157为旋转中心且具有半径R的作为模拟刚体的旋转体154,156的外周的切线方向上的位移在弹性棒151、152的末端方向侧最大，在与弹性棒151、152的末端方向相反侧的方向上最小。此外，该情况的位移方向与两个振动臂20、22彼此远离的情况为相反方向。
[0123]在图7(a)中，简化的基部165的代表性的第I连结部158在作为模拟刚体的旋转体154、156的旋转运动的作用下被强烈地压缩，同时朝向与弹性棒151、152的末端方向相反侧的方向略微地移动，此时，第I连结部158的长度方向的中央周边具有朝向弹性棒151、152的末端方向、或者与弹性棒151、152的末端方向相反侧的方向中的任意一个方向变形的潜力。
[0124]在图7 (b)中，简化的基部165的代表性的第2连结部159也同样在作为模拟刚体的旋转体154、156的旋转运动的作用下被拉伸，同时朝向与弹性棒151、152的末端方向相反侧的方向移动。
[0125]此外，在图7 (C)中，简化的基部165的代表性的第3连结部160在作为模拟刚体的旋转体154、156的旋转运动的作用下被拉伸，同时朝向与弹性棒151、152的末端方向相反侧的方向移动。
[0126]图7 (d)中，对于简化的基部165的代表性的第4连结部166而言，在作为模拟刚体的旋转体154、156的旋转运动的作用下被压缩，但由于形成了拱形而难以变形，在进一步变形的情况下，第4连结部166的长度方向的中央周边以向弹性棒151、152的末端方向移位的方式发生变形。
[0127]因此，在弹性棒151、152的接近运动的作用下，在简化的基部165的代表性的第I至第4连结部158、159、160、166中，在连接旋转轴155与157的方向上产生压缩或拉伸的变形，同时起到了抵消振动位移的作用。并且，由于第4连结部166难以变形，因此阻碍第I至3连结部158、159、160向与弹性棒151、152的末端方向相反侧的方向移位，并且第4连结部166的长度方向的中央附近以朝向弹性棒151、152的末端侧的方向移位的方式发生变形，从而能够抵消位移。
[0128]结果，在简化的基部165上形成了固定部件的情况下、即在基部164上形成了固定部件的情况下，经由固定部件泄漏到外部的能量减少，因此能够降低振动泄漏，降低Q值的减小。
[0129]〈第2实施方式〉
[0130]接着，对本发明的第2实施方式进行说明。
[0131]图8是本发明第2实施方式的振动片的俯视图。
[0132]以下，关于第2实施方式，以与上述第I实施方式的不同之处为中心进行说明，省略相同事项的说明。
[0133]第2实施方式除了宽度缩小部的结构(形状)不同以外，与第I实施方式大致相同。另外，在图8中，对与上述第I实施方式相同的结构标注了相同标号。
[0134]在图8所示的振动片Ia中，宽度缩小部18配置于主体部14的一 Y轴方向侦彳，宽度缩小部18的轮廓由曲线状的曲线部19a构成，曲线部19a的两端与主体部14的一 Y轴方向侧的各角连接。这样的曲线部19a的曲率半径在其整个范围内恒定。
[0135]根据仿真结果来证明通过设置这种形状的宽度缩小部18，也能够与上述第I实施方式同样地提高振动特性的情况。另外，本仿真中使用的振动片除了宽度缩小部的形状不同以外，与上述第I实施方式中使用的振动片相同。
[0136]关于属于本实施方式的振动片Ia,振动臂20、22以及基部12a的尺寸与第I实施方式相同，宽度缩小部18的长度L2为40 ii m,且宽度缩小部18的轮廓由具有固定曲率半径的曲线部19a构成。该振动片Ia的Q值为43362，与属于现有技术的振动片(Q值为38230)相比，明显地提高。因此可知，即使像本实施方式这样，是在支撑并连结振动臂20、22的主体部14的一 Y轴方向侧的外缘构成了具有曲线状的轮廓的宽度缩小部18的振动片，与以往相比，也能够抑制振动泄漏而发挥优异的振动特性。
[0137]其原因是由于产生了如下作用。
[0138]图9是说明抑制振动泄漏的原理的俯视图，图9 Ca)是第2实施方式的振动片的概略俯视图，图9 (b)是简化模型的俯视图，图10是说明抑制振动泄漏的原理的图，图10(a)是连结部处于上部的分解图，图10 (b)是连结部处于中央的分解图，图10 (C)是连结部处于下部的分解图，图10 (d)是拱形的连结部处于旋转体的下部的分解图。
[0139]<本发明的在基部的下侧(没有配置振动臂的一侧)具有宽度缩小部的情况>
[0140]图9 (a)示出本发明的在与振动臂20、22的末端方向相反侧形成了宽度缩小部的情况。该情况与上述同样，如图9 (b)所示，可以将在作为模拟刚体的旋转体154上连接有弹性棒151的部分、以及在作为模拟刚体的旋转体156上连接有弹性棒152的部分看作是通过简化的基部168相连的部分，其中，所述旋转体154以旋转轴155为旋转中心且具有预定半径R，所述旋转体156以旋转轴157为旋转中心且具有半径R。
[0141]此外，作为简化的基部168的代表性的连结部，考虑以下连结部:比旋转轴155、157靠弹性棒151、152侧的第I连结部158 ;设置于旋转轴155、157之间的第2连结部159 ；比旋转轴155、157靠与弹性棒所处的方向相反的一侧的第3连结部160 ;以及比第3连结部160更靠与弹性棒的末端方向相反的一侧的第4连结部169。
[0142]在两个振动臂20、22以彼此远离的方式进行弯曲变形的情况下，看作弹性棒151、152以彼此远离的方式进行弯曲变形，但在该情况下，在从振动臂20、22的根部周边到与振动臂的末端方向相反侧的方向的预定场所，形成有位移矢量的漩涡。该漩涡的中心大多处于包含基部167在内的、振动臂20、22的根部附近，但有时也形成在不属于振动臂20、22和基部167的区域的假想空间上。
[0143]这里为了便于说明，设该漩涡的中心属于基部167的区域、且离弹性棒151、152的距离相等，并且将该漩涡的中心设为图9 (b)中的旋转轴155、157。另外，以该旋转轴155、157为旋转中心且具有半径R的作为模拟刚体的旋转体154、156的外周的切线方向上的位移在弹性棒151、152的末端方向侧最大，在与弹性棒151、152的末端方向相反侧的方向上最小。
[0144]在图10 (a)中，简化的基部168的代表性的第I连结部158在作为模拟刚体的旋转体154、156的旋转运动的作用下被强烈地拉伸，同时朝向弹性棒151、152的末端侧方向略微地移动。
[0145]在图10 (b)中，简化的基部168的代表性的第2连结部159也同样在作为模拟刚体的旋转体154、156的旋转运动的作用下被拉伸，同时朝向弹性棒151、152的末端侧方向移动。
[0146]在图10 (C)中，简化的基部168的代表性的第3连结部160在作为模拟刚体的旋转体154、156的旋转运动的作用下被压缩，同时朝向弹性棒151、152的末端侧方向移动，但此时，第3连结部160的长度方向的中央周边具有朝向弹性棒151、152的末端侧方向、或者朝向与弹性棒151、152的末端方向相反侧的方向中的任意一个方向变形的潜力。
[0147]图10 Cd)中，对于简化的基部168的代表性的第4连结部169而言，在作为模拟刚体的旋转体154、156的旋转运动的作用下被压缩，但由于形成了拱形所以难以变形，在进一步变形的情况下，第4连结部169的长度方向的中央周边以朝向与弹性棒151、152的末端方向相反侧的方向移位的方式发生变形。
[0148]因此，通过弹性棒151、152的远离运动，在简化的基部168的代表性的第I至第4连结部158、159、160、169中，在连接旋转轴155与157的方向上产生压缩或拉伸的变形，同时起到了抵消振动位移的作用。并且，由于第4连结部169难以变形，所以阻碍了第I至3连结部158、159、160向弹性棒151、152的末端侧方向移位，并且第4连结部169的长度方向的中央附近以朝向与弹性棒151、152的末端方向相反侧的方向移位的方式发生变形，从而能够抵消位移。
[0149]结果，在简化的基部168上形成了固定部件的情况下，即在基部167上形成了固定部件的情况下，经由固定部件泄漏到外部的能量减少，因此能够降低振动泄漏而降低Q值的减小。
[0150]关于专利文献2所记载的现有技术的振动片的基部的构造，在基于上述机理的作用进行考虑时，在图2中，在未抵消或未抑制振动的区域即与振动臂连接的根部分连接有框部84，因此在与框部84的连接部分处产生振动泄漏。因此，框部84也随着振动臂的弯曲振动一起进行振动。因此，在将框部的另一端的岛部86作为固定部的情况下，岛部86在Y轴方向上振动，结果产生了无法降低振动泄漏从而Q值劣化的问题。
[0151]〈第3实施方式〉
[0152]接着，对本发明的第3实施方式进行说明。
[0153]图11是本发明第3实施方式的振动片的俯视图。
[0154]以下，关于第3实施方式，以与上述第I实施方式的不同之处为中心进行说明，省略相同事项的说明。
[0155]第3实施方式除了宽度缩小部的结构(形状)不同以外，与第I实施方式大致相同。另外，在图11中，对与上述第I实施方式相同的结构标注了相同标号。
[0156]在图11所示的振动片Ib中，基部12b具有主体部14、位于主体部14的+ Y轴方向侧的宽度缩小部16、和位于主体部14的一 Y轴方向侧的宽度缩小部18。换言之，本实施方式的基部12b具有隔着主体部14相对配置的两个宽度缩小部16、18。
[0157]对于振动片Ib，通过设置两个宽度缩小部16、18，能够更有效地抑制振动泄漏。具体而言，对于振动臂20、22的振动，在振动臂20、22彼此接近的情况下，主体部14的朝向一Y轴方向侧的位移主要由宽度缩小部16抑制，在振动臂20、22彼此远离的情况下，主体部14的朝向+ Y轴方向侧的位移主要由宽度缩小部18抑制，因此能够更有效地抑制振动泄漏。
[0158]对于设置有两个宽度缩小部16、18的形状的振动片lb，也根据仿真结果来证明能够与上述第I实施方式同样地提高振动特性的情况。另外，本仿真中使用的振动片除了追加了宽度缩小部18的形状以外，与上述第I实施方式中使用的振动片相同。
[0159]关于属于本实施方式的振动片lb，宽度缩小部16的长度LI为42 μ m、宽度缩小部18的长度L2为40 μ m，并且宽度缩小部16和18的轮廓由具有固定的曲率半径的曲线部17a和19a构成。该振动片Ib的Q值为156211，是现有技术的振动片(Q值38230)的大约4倍，非常高。因此可知，通过像本实施方式这样具备隔着主体部14相对配置的具有曲线状轮廓的两个宽度缩小部16、18，与以往相比，能够非常良好地抑制振动泄漏而发挥优异的振动特性。
[0160]作为其原因，考虑如下:通过在基部12b的Y轴方向的两侧设置宽度缩小部16、18，基部12b的中央部的高度(Y轴方向的长度)变大，能够增强Y轴的两个方向上的刚性，从而难以弯曲。因此，能够大幅抑制两个振动臂20、22的末端部接近、远离时产生的基部12b在Y轴的两个方向上的变形，因此能够更有效地抑制振动泄漏，有利于Q值的大幅提高。
[0161]〈第4实施方式〉
[0162]接着，对本发明的第4实施方式进行说明。
[0163]图12是本发明第4实施方式的振动片的俯视图。
[0164]以下，关于第4实施方式，以与上述第I实施方式的不同之处为中心进行说明，省略相同事项的说明。[0165]第4实施方式除了宽度缩小部的结构(形状)不同以外，与第I实施方式大致相同。另外，在图12中，对与上述第I实施方式相同的结构标注了相同标号。
[0166]在图12所示的振动片Ic中，宽度缩小部16a配置于基部12c的主体部14的+ Y轴方向侧，宽度缩小部16a的轮廓由俯视时相对于X轴和Y轴这两个轴倾斜的直线状的倾斜部17b、17c构成，这些倾斜部17b、17c的一端(+ Y轴方向侧的端部)彼此在与Y轴平行且与第I端部交叉的假想中心线Yl上相连。因此，宽度缩小部16a在其末端部具有角，是尖的。通过使宽度缩小部16a成为这样的形状，与第I实施方式的宽度缩小部16为曲线状的情况同样，能够有效地抑制振动泄漏，并且能够实现宽度缩小部的结构简化。
[0167]另外，对于长度为L3的宽度缩小部16a的倾斜部17b、17c与X轴所成的角度Θ 1，没有特别限定，例如优选为5°以上、70°以下的程度。
[0168]此外，在对石英基板进行湿蚀刻来对振动基板10进行构图的情况下，在振动基板10的轮廓中出现石英的晶面，因此，如果使用光掩模形成与该晶面平行的倾斜部17b、17c来进行构图，则形状的偏差变小，能够得到稳定的性能。特别优选与相对于石英的X轴成30°或60°的晶面平行。
[0169]在这样的第4实施方式中，也能够起到与上述第I实施方式同样的效果。
[0170]〈第5实施方式〉
[0171]接着，对本发明的第5实施方式进行说明。
[0172]图13是本发明第5实施方式的振动片的俯视图。
[0173]以下，关于第5实施方式，以与上述第I实施方式的不同之处为中心进行说明，省略相同事项的说明。
[0174]第5实施方式除了宽度缩小部的结构(形状)不同以外，与第I实施方式大致相同。另外，在图13中，对与上述第I实施方式相同的结构标注了相同标号。
[0175]在图13所示的振动片Id中，宽度缩小部18a配置于基部12d的主体部14的一 Y轴方向侧，宽度缩小部18a的轮廓由俯视时相对于X轴和Y轴这两个轴倾斜的直线状的倾斜部19b、19c构成，这些倾斜部19b、19c的一端(一 Y轴方向侧的端部)彼此在假想中心线Yl上相连。因此，通过使宽度缩小部18a在其末端部具有角而成为尖的形状，由此与第2实施方式的宽度缩小部18为曲线状的情况同样，能够有效地抑制振动泄漏，并且能够实现宽度缩小部的结构简化。
[0176]另外，对于长度为L4的宽度缩小部18a的倾斜部19b、19c与X轴所成的角度Θ 2，没有特别限定，例如从抑制宽度缩小部18a的过度大型化的方面考虑，优选为5°以上70°以下，更优选的是10°以上50°以下。
[0177]此外，在对石英基板进行湿蚀刻来对振动基板10进行构图的情况下，在振动基板10的轮廓中出现石英的晶面，因此如果使用光掩模形成与该晶面平行的倾斜部19b、19c来进行构图，则形状的偏差变小，能够得到稳定的性能。
[0178]在这样的第5实施方式中，也能够起到与上述第I实施方式同样的效果。
[0179]〈第6实施方式〉
[0180]接着，对本发明的第6实施方式进行说明。
[0181]图14是本发明第6实施方式的振动片的俯视图。
[0182]以下，关于第6实施方式，以与上述第I实施方式的不同之处为中心进行说明，省略相同事项的说明。
[0183]第6实施方式除了宽度缩小部的结构(形状)不同以外，与第I实施方式大致相同。另外，在图14中，对与上述第I实施方式相同的结构标注了相同标号。
[0184]在图14所示的振动片Ie中，基部12e具有主体部14、位于主体部14的+ Y轴方向侧的宽度缩小部16a、和位于主体部14的一 Y轴方向侧的宽度缩小部18a。换言之，本实施方式的基部12e具有隔着主体部14相对配置的两个宽度缩小部16a、18a。
[0185]宽度缩小部16a的轮廓由俯视时相对于X轴和Y轴这两个轴倾斜的直线状的倾斜部17b、17c构成，这些倾斜部17b、17c的一端(+ Y轴方向侧的端部)彼此在假想中心线Yl上相连。此外，宽度缩小部18a的轮廓由俯视时相对于X轴和Y轴这两个轴倾斜的直线状的倾斜部19b、19c构成，这些倾斜部19b、19c的一端(一 Y轴方向侧的端部)彼此在假想中心线Yl上相连。
[0186]因此，通过使宽度缩小部16a、18a在其末端部具有角而成为尖的形状，与第3实施方式的宽度缩小部16、18为曲线状的情况同样，通过设置各自的长度为L3、L4的两个宽度缩小部16a、18a，能够更有效地抑制振动泄漏。
[0187]在这样的第6实施方式中，也能够起到与上述第I实施方式同样的效果。
[0188]〈第7实施方式〉
[0189]接着，对本发明的第7实施方式进行说明。
[0190]图15是本发明第7实施方式的振动片的俯视图。
[0191]以下，关于第7实施方式，以与上述第I实施方式的不同之处为中心进行说明，省略相同事项的说明。
[0192]第7实施方式除了宽度缩小部的结构(形状)不同以外，与第I实施方式大致相同。另外，在图15中，对与上述第I实施方式相同的结构标注了相同标号。
[0193]如图15所示，本发明的振动片If的宽度缩小部16b的轮廓不限于俯视时为曲线状或直线状的倾斜部，也可以由具有多个阶梯的阶梯状台阶构成。
[0194]通过仿真分析证实了通过设置这样的宽度缩小部16b，也能够与上述第I实施方式同样地提高振动特性，并确认到与现有技术的振动片相比，改善并降低了因振动泄漏引起的Q值的劣化。
[0195]因此可知，通过具有本实施方式这样的、轮廓(外缘)由阶梯状台阶构成的宽度缩小部16，也能够减少振动泄漏而发挥优异的振动特性。显然，宽度缩小部16b可以设置于基部的一个端部和另一端部中的任意一个端部、或这两个端部。
[0196]〈第8实施方式〉
[0197]接着，对本发明的第8实施方式进行说明。
[0198]图16是作为本发明的变形例的第8实施方式的振动片的俯视图，图16 Ca)是第I变形例，图16 (b)是第2变形例，图16 (c)是第3变形例。
[0199]以下，关于第8实施方式，以与上述第I实施方式的不同之处为中心进行说明，省略相同事项的说明。
[0200]第8实施方式除了宽度缩小部的结构(形状)不同以外，与第I实施方式大致相同。另外，在图16中，对与上述第I实施方式相同的结构标注了相同标号。
[0201]在图16所示的振动片lg、lk中，宽度缩小部16c的轮廓具有:俯视时相对于X轴和Y轴这两个轴倾斜的直线状或曲线状的倾斜部17d、17e ;以及将倾斜部17d、17e的+Y轴(一 Y轴)方向侧的端部彼此连结的与X轴平行的连接部17f。此外，在图16所示的振动片lh、Ik中，宽度缩小部18c的轮廓具有:俯视时相对于X轴和Y轴这两个轴倾斜的直线状或曲线状的倾斜部19d、19e ;以及将倾斜部19d、19e的+ Y轴(一 Y轴)方向侧的端部彼此连结的与X轴平行的连接部19f。
[0202]通过仿真分析证实了通过设置这样的宽度缩小部16c、18c，也能够与上述第I实施方式同样地提高振动特性，并确认到与现有技术的振动片相比，改善并降低了因振动泄漏引起的Q值的劣化。
[0203]因此可知，通过具有本实施方式这样的宽度缩小部16c、18c，也能够减少振动泄漏而发挥优异的振动特性。
[0204]接着，对将本发明的振动片安装于封装时的接合部件35的位置与Q值(仅考虑了振动泄漏时的Q值)之间的关系进行说明。
[0205]此外，本仿真中使用的振动片是本发明第3实施方式的振动片，接合部件35是直径为70 μ m的硅系导电性粘结剂。另外，在以下说明中，为了方便说明，将接合部件35称作粘结剂来进行说明。
[0206]图17是示出在纵向(Y方向)上位置彼此不同的两个部位处对本发明第3实施方式的振动片的基部进行了粘结时的粘结剂的中心位置与Q值之间的关系的图，图17 (a)是示出纵向两点粘结时的粘结剂的位置的俯视图，图17 (b)是示出粘结剂中心位置Xa与Q值之间的关系的图。
[0207]粘结剂中心位置Xa用下式(I)表示。
[0208]Xa=Xl/ (ff/2) X 100%...(I)
[0209]其中，Xl是从振动片的通过基部的X轴方向的中心的中心线Yl到粘结剂的中心位置的长度，W是振动片的基部的宽度尺寸(X轴方向的长度)。即，粘结剂中心位置相对于基部中心线的偏差用相对于振动片的基部宽度的一半长度的比例(％)来表示。
[0210]从图17能够确认到:在振动片的基部的Y轴方向上的两个部位并排地粘结了粘结剂情况下，本发明第3实施方式的振动片在粘结剂中心位置Xa从0%到大约45%的范围内，与图2所示的现有技术的振动片(参照专利文献2)的Q值(=38230)相比，更加优异。
[0211]图18是示出在横向(X方向)上位置彼此不同的两个部位对本发明第3实施方式的振动片的基部进行了粘结时的粘结剂中心位置与Q值之间的关系的图，图18 (a)是示出在横向上粘结了两个部位时的粘结剂位置的俯视图，图18 (b)是示出粘结剂中心位置Xa与Q值之间的关系的图。
[0212]在图18中，在振动片的基部的X轴方向上的两个部位并排地粘结了粘结剂的构造中，设为两处粘结剂的中心位置分别与基部中心线相距相同长度，计算出Q值。结果能够确认到:属于本发明的振动片在粘结剂中心位置Xa从18%到大约45%的范围内，与图2所示的现有技术的振动片(参照专利文献2)的Q值(=38230)相比，更加优异。
[0213]图19是示出在I个部位对本发明第3实施方式的振动片的基部进行了粘结时的粘结剂中心位置与Q值之间的关系的图，图19 (a)是示出I点粘结时的粘结剂位置的俯视图，图19 (b)是示出粘结剂中心位置Xa与Q值之间的关系的图。
[0214]根据图19能够确认到:在粘结剂的I点粘结方式的情况下，本发明第3实施方式的振动片在大致整个区域中，与图2所示的现有技术的振动片(参照专利文献2)的Q值(=38230)相比，都更加优异。
[0215]根据以上结果，使用图3对用于理想地发挥本发明的效果的振动片的振动臂与基部的尺寸关系进行说明。另外，Lb是振动臂的全长(包含施重部)，Ws是两个振动臂的中心间距离，L是从基部12的与振动臂20、22相连的连结部到基部12的与连结部相反侧的端部的长度。
[0216](a)优选 Lb>Ws。
[0217]为了减少在基部12的宽度在X轴方向上过宽的情况下，基部12大幅地弯曲变形而致使振动泄漏增大的情况，优选Lb > Ws0
[0218]由此，能够减少振动泄漏。
[0219]( b )优选处于面内弯曲基本模式。
[0220]在面内弯曲高次模式中，波长较短，所以基部大幅地弯曲变形，可能导致振动泄漏增大，因此为了减少振动泄漏，振动臂的振动优选为面内弯曲基本模式。
[0221]由此，能够减少振动泄漏。
[0222](C)优选 L<Ws。
[0223]根据本发明，证实了与现有技术的振动片相比，振动泄漏非常小。
[0224]因此，在满足L < Ws的构造中也能够减小振动泄漏，能够缩短振动片的Y轴方向的长度。
[0225](电极结构)
[0226]接着，对本发明的振动片的电极结构进行说明。
[0227]图20是示出在本发明第I实施方式的振动片上对电极进行了布线的例子的概略图，图20 (a)是正面(从+Z轴方向观察时的平面)的电极布线图，图20 (b)是图20 (a)的B — B截面图，图20 (c)是背面(从一 Z轴方向观察时的平面)的电极布线图，图20 (d)是图20 (c)的C 一 C截面图。
[0228]电极形成于作为振动片的主面的正面和背面、以及侧面，所述电极由以下电极构成:形成于振动臂的激励电极41a、41b ;形成于基部和施重部的引出电极42a、42b ;以及形成于基部的焊盘电极43a、43b。通过在振动臂的槽内和侧面形成作为驱动用电极的激励电极41a、41b，当向激励电极施加驱动电压来进行驱动时，能够提高各振动臂内部的电场效率。
[0229]此外，在振动片2的基部的中央附近，形成有焊盘电极43a、43b，作为用于与形成于封装的连接电极(未图示)进行连接的电极部。此外，与各焊盘电极43a、43b连接的各引出电极42a、42b在基部的外缘引绕而设置于振动片2的基部的正面和背面，并与各激励电极41a、41b连接。由此,通过从焊盘电极43a、43b经过引出电极42a、42b向激励电极41a、41b施加驱动电压，在振动片的振动臂内适当地形成电场，两个振动臂的各末端部以反复地彼此接近、远离的方式在面内方向(XY平面方向)上按照预定频率进行振动。
[0230]另外，激励电极41a、41b、引出电极42a、42b以及焊盘电极43a、43b的结构没有特别限定，可使用金(Au)、金合金、钼金(Pt)、银(Ag)、银合金、铬(Cr)、铬合金等金属材料。
[0231](振子)
[0232]接着，对应用了本发明的振动片的振子进行说明。[0233]图21是示出本发明的振子的构造的概略图，图21 (a)是振子的俯视图，图21 (b)是图21 (a)的A — A截面图。另外,在图21 (a)中，为了方便说明振子的内部结构，图不了卸下盖部件后的状态。
[0234]振子3由以下部分构成:形成有电极的振动片2 ;用于收纳振动片2且形成为矩形箱状的封装主体50;以及由玻璃、陶瓷或金属等构成的盖部件59。另外，收纳振动片2的腔室70内为大致真空的减压空间。
[0235]如图21 (b)所示，封装主体50是层叠第I基板51、第2基板52和安装端子45而形成的。在第I基板51的外部底面形成有多个安装端子45。此外，在第I基板51的上表面的预定位置，设置有经由未图示的贯通电极或层间布线与安装端子45电导通的多个连接电极47。第2基板52是去除中央部后的环状体，形成有收纳振动片2的腔室70。
[0236]以上说明的封装主体50的第I基板51和第2基板52由具有绝缘性的材料构成。作为这样的材料，没有特别限定，例如可以使用氧化物系陶瓷、氮化物系陶瓷、碳化物系陶瓷等各种陶瓷。此外，设置于封装主体50的各电极、端子或者对它们进行电连接的布线图案和层内布线图案等一般通过在绝缘材料上丝网印刷钨(W)、钥(Mo)等金属布线材料并进行烧制，进而在其上实施镍(Ni)、金(Au)等的镀覆而形成。
[0237]盖部件59优选由使光透过的材料、例如硼硅酸玻璃等形成，通过用密封件68进行接合而对封装主体50进行了气密密封。由此，在封装主体50的盖密封后，从外部经由盖部件59向振动片2的末端附近照射激光，使此处设置的电极的一部分蒸发，从而能够利用质量削减方式进行频率调整。另外，在不进行这样的频率调整的情况下，盖部件59可由可伐合金等金属材料形成。
[0238]对于收纳在封装主体50的腔室70内的振动片2，将形成于基部12的焊盘电极43a、43b的位置与形成于封装主体50的第I基板51的上表面的两个连接电极47的位置对准，并经由接合部件35进行了接合。接合部件35例如可以使用由金属或焊料等构成的凸块或者导电性粘结剂等导电性接合部件，由此既能实现电连接又能进行机械接合。
[0239]<变形例1>
[0240]接着说明将本发明的振动片安装于封装时的变形例I。
[0241]图22是示出将本发明实施方式的振动片安装于封装的变形例I的概略图，图22(a)是变形例I的俯视图，图22 (b)是图22 (a)的A — A截面图。
[0242]以下，关于变形例1，以与上述图21的实施方式的不同之处为中心进行说明，省略相同事项的说明。
[0243]变形例I的振子3a的特征在于，将振动片2a的形成于基部背面(从一 Z轴方向观察时的平面)的焊盘电极中的一个形成于基部正面(从+ Z轴方向观察时的平面)，并经由导电性粘结剂等软的接合部件35a与封装主体50a的连接电极电连接。
[0244]利用这样的结构，能够防止振动片2a的形成于基部背面(从一 Z轴方向观察时的平面)的各焊盘电极间的短路，在避免振子的不振荡方面非常有效。
[0245]<变形例2>
[0246]接着说明将本发明的振动片安装于封装时的变形例2。
[0247]图23是示出将本发明实施方式的振动片安装于封装的变形例2的概略图，图23(a)是变形例2的俯视图，图23 (b)是图23 (a)的A — A截面图。[0248]以下，关于变形例2，以与上述图21的实施方式的不同之处为中心进行说明，省略相同事项的说明。
[0249]变形例2的振子3b的特征在于，将振动片2b的形成于基部背面(从一 Z轴方向观察时的平面)的焊盘电极中的一个形成于基部正面(从+Z轴方向观察时的平面)，并经由接合线37与封装主体50b的连接电极电连接。
[0250]利用这样的结构，能够防止振动片2b的形成于基部背面(从一 Z轴方向观察时的平面)的各焊盘电极间的短路，在避免振子的不振荡方面非常有效。而且，能够增大形成于基部背面(从一 Z轴方向观察时的平面)的焊盘电极的面积，在进一步提高安装强度方面非
常有利。
[0251]〈变形例3>
[0252]接着说明将本发明的振动片安装于封装时的变形例3。
[0253]图24是示出将本发明实施方式的振动片安装于封装的变形例3的概略图，图24(a)是变形例3的俯视图，图24 (b)是图24 (a)的A — A截面图。
[0254]以下，关于变形例3，以与上述图21的实施方式的不同之处为中心进行说明，省略相同事项的说明。
[0255]变形例3的振子3c的特征在于，将振动片2c的形成于基部背面(从一 Z轴方向观察时的平面)的焊盘电极中的一个形成于基部正面(从+Z轴方向观察时的平面)，并经由接合线37与封装主体50c的形成于振动片2c的振动臂之间的连接电极电连接。
[0256]利用这样的结构，能够防止振动片2c的形成于基部背面(从一 Z轴方向观察时的平面)的各焊盘电极间的短路，在避免振子的不振荡方面非常有效。此外，能够增大形成于基部背面(从一 Z轴方向观察时的平面)的焊盘电极的面积，在进一步提高安装强度方面非常有利。而且，接合线用的连接电极形成于振动片2c的振动臂侧，因此能够缩短封装的Y轴方向的长度，在实现振子的小型化方面非常有效。
[0257]<变形例4>
[0258]接着说明将本发明的振动片安装于封装时的变形例4。
[0259]图25是示出将本发明实施方式的振动片安装于封装的变形例4的概略图，图25(a)是变形例4的俯视图，图25 (b)是图25 (a)的A — A截面图。
[0260]以下，关于变形例4，以与上述图21的实施方式的不同之处为中心进行说明，省略相同事项的说明。
[0261]变形例4的振子3d的特征在于，在振动片2d的基部正面(从+ Z轴方向观察时的平面)形成有两个焊盘电极，用非导电性的接合部件35b支撑并固定基部的背面(从一 Z轴方向观察时的平面)，振动片2d的焊盘电极与封装主体50d的连接电极经由接合线37电连接。
[0262]利用这样的结构，能够用非导电性的接合部件35b进行支持和固定，所以能够防止各焊盘电极间的短路，并且能够增大接合面积，因此在避免振子的不振荡和提高安装强度方面非常有效。
[0263](振荡器)
[0264]接着，对应用了本发明的振动片的振荡器进行说明。
[0265]图26是示出本发明的振荡器的构造的截面图，振荡器4由以下部分构成:形成有电极的振动片2 ;收纳振动片2的封装王体60 ;用于驱动振动片2的IC芯片(芯片部件)62 ；以及由玻璃、陶瓷或金属等构成的盖部件59。另外，收纳振动片2的腔室70内为大致真空的减压空间。
[0266]如图26所示，封装主体60是层叠第I基板51、第2基板52、第3基板53、第4基板54和安装端子46而形成的。此外，封装主体60具有朝向上表面开放的腔室70、和朝向下表面开放的腔室72。
[0267]在第4基板54的外部底面形成有多个安装端子46。此外，安装端子46经由未图示的贯通电极或层间布线与设置于第I基板51的上表面的连接电极47以及设置于第3基板53的下表面的连接电极48电导通。
[0268]与上述振子3同样，将形成于振动片2的焊盘电极43a、43b的位置与形成于封装主体60的第I基板51的上表面的两个连接电极47的位置对准，并利用由金属或焊料等构成的凸块或者导电性粘结剂等导电性的接合部件35进行接合，然后用硼硅酸玻璃等密封件68进行接合，由此对封装主体60的腔室70进行了气密密封。
[0269]另一方面，在封装主体60的腔室72内收纳有IC芯片62，该IC芯片62经由焊料或粘结剂等接合部件35c被接合到第I基板51的下表面。此外，在腔室72内形成有至少两个连接电极48。连接电极48通过接合线37与IC芯片62电连接。此外，在腔室72内填充有树脂材料64，通过该树脂材料64将IC芯片62密封。
[0270]IC芯片62具有用于控制振动片2的驱动的驱动电路(振荡电路)，当通过该IC芯片62驱动振动片2时，能够取出预定频率的信号。
[0271](电子设备)
[0272]接着，根据图27?图29对应用了本发明的振动片的电子设备进行详细说明。
[0273]图27是示出作为具有本发明的振动片的电子设备的移动型(或笔记本型)的个人计算机的结构的立体图。在该图中，个人计算机1100由具有键盘1102的主体部1104以及具有显示部100的显示单元1106构成,显示单元1106通过铰链构造部以能够转动的方式支承在主体部1104上。在这种个人计算机1100中内置有振荡器4 (振动片I)。
[0274]图28是示出作为具有本发明的振动片的电子设备的便携电话机(也包括PHS)的结构的立体图。在该图中，便携电话机1200具有多个操作按钮1202、接听口 1204以及通话口 1206，在操作按钮1202与接听口 1204之间配置有显示部100。在这种便携电话机1200中内直有振汤器4 (振动片I)。
[0275]图29是示出作为具有本发明的振动片的电子设备的数字照相机的结构的立体图。另外，在该图中，还简单地示出与外部设备之间的连接。这里，通常的照相机是通过被摄体的光像对银盐胶片进行感光，与此相对，数字照相机1300通过(XD (Charge CoupledDevice:电荷耦合器件)等摄像元件对被摄体的光像进行光电转换而生成摄像信号(图像信号)。
[0276]在数字照相机1300的外壳(机身)1302的背面设置有显示部100，构成为根据CXD的摄像信号进行显示，显示部100作为取景器发挥功能，将被摄体显示为电子图像。并且，在外壳1302的正面侧(图中背面侧)设置有包含光学镜头(摄像光学系统)和CCD等的受光单元1304。
[0277]当摄影者确认了显示部100中显示的被摄体像，并按下快门按钮1306时，将该时刻的CXD的摄像信号传输到存储器1308内进行存储。并且，在该数字照相机1300上，在外壳1302的侧面设置有视频信号输出端子1312和数据通信用的输入输出端子1314。而且，如图所示，根据需要，在视频信号输出端子1312上连接电视监视器1430，在数据通信用的输入输出端子1314上连接个人计算机(PC) 1440。而且，构成为通过规定操作，将存储在存储器1308中的摄像信号输出到电视监视器1430或个人计算机1440。在这种数字照相机1300中内直有振汤器4 (振动片I)。
[0278]另外，除了图27的个人计算机(移动型个人计算机)、图28的便携电话机、图29的数字照相机以外，具有本发明的振动片的电子设备例如还可以应用于喷墨式排出装置(例如喷墨打印机)、个人计算机、电视、摄像机、录像机、车载导航装置、寻呼机、电子记事本(也包含通信功能)、电子辞典、计算器、电子游戏设备、文字处理器、工作站、视频电话、防范用电视监视器、电子望远镜、POS终端、医疗设备(例如电子体温计、血压计、血糖计、心电图计测装置、超声波诊断装置、电子内窥镜)、鱼群探测器、各种测定设备、计量仪器类(例如车辆、飞机、船舶的计量仪器类)、飞行模拟器等。
[0279](移动体)
[0280]图30是概略地示出应用了具有本发明的振动片的振子或振荡器的移动体的汽车2106的立体图。该图中，在控制轮胎2109的电子控制单元2108中内置有振荡器4 (振动片I)，并搭载到车体2107上。
[0281]在汽车2106上搭载了具有本发明的振动片的振子或振荡器，例如，可以广泛应用于无钥匙门禁、防盗器、汽车导航系统、汽车空调、防抱死制动系统(ABS =Antilock BrakeSystem)、安全气囊、轮胎压力监测系统(TPMS:Tire Pressure Monitoring System)、发动机控制器、混合动力汽车及电动汽车的电池监视器、以及车体姿势控制系统等的电子控制单兀(ECU !electroni c control unit) 2108。
[0282]以上，根据图示的实施方式对本发明的振动片、振子、振荡器、电子设备以及移动体进行了说明，但是，本发明不限于此，各个部分的结构可置换为具有相同功能的任意结构。此外，可以在本发明中附加其他任意的结构物。此外，还可以适当组合各实施方式。
[0283]此外，也可以在上述实施方式的宽度缩小部的轮廓中形成有突出部或凹陷(缺口)。
[0284]此外，虽然如上地对本实施方式进行了详细说明，但本领域技术人员能够容易地理解到，可以进行实质上未脱离本发明的新颖事项以及效果的多种变形。因而，这种变形例全部包含在本发明的范围内。例如，在上述实施方式和变形例中，对于作为振动片的形成材料，说明了使用石英的例子，但也可以使用石英以外的压电体材料。例如，可以使用氮化铝(A1N)、铌酸锂(LiNb03)、钽酸锂(LiTa03)、锆钛酸铅(PZT)、四硼酸锂(Li2B407)、硅酸镓镧(La3Ga5SiO14)等的氧化物基板、在玻璃基板上层叠氮化铝或五氧化二钽(Ta2O5)等压电体材料而构成的层叠压电基板、或者压电陶瓷等。
[0285]此外，可以使用压电体材料以外的材料形成振动片。例如,还可以使用硅半导体材料等形成振动片。此外，振动片的振动(驱动)方式不限于压电驱动。除了使用压电基板的压电驱动型的振动片以外，在使用了静电力的静电驱动型和利用了磁力的洛伦兹驱动型等的振动片中，也能够发挥本发明的结构及其效果。此外，在说明书或附图中，对于至少一次地与更广义或同义的不同用语一起记载的用语，在说明书或附图的任何位置处，都可以将其置换为该不同的用语。
[0286]此外，振动片1、振子3、振荡器4、个人计算机1100、便携电话机(也包括PHS)1200、照相机1300、汽车2106等的结构和动作也不限于本实施方式中说明的结构和动作，可以进行各种变形。而且，本发明的振动片I不仅能够应用于陀螺仪传感器，显然也能够应用于压力传感器、加速度传感器、倾斜传感器等各种传感器。
【权利要求】
1.一种振动片，其特征在于，该振动片包含: 基部，其包含一个端部以及俯视时处于与所述一个端部相反侧的另一端部；以及 从所述基部的所述一个端部起沿着第I方向延伸的一对振动臂， 所述基部在所述一个端部和所述另一端部中的至少任意一个端部中包含宽度缩小部，随着朝向沿着所述第I方向与所述基部远离的方向侧，所述宽度缩小部的沿着与所述第I方向交叉的第2方向的宽度逐渐变小， 在所述基部的所述一个端部与所述另一端部之间设置有固定部。
2.根据权利要求1所述的振动片，其特征在于， 所述宽度缩小部的外缘在俯视时是关于通过所述一对振动臂之间的中心且沿着所述第I方向的假想中心线对称的形状。
3.根据权利要求1或2所述的振动片， 其特征在于， 所述宽度缩小部的外缘是曲线状。
4.根据权利要求1或2所述的振动片，其特征在于， 所述宽度缩小部的外缘包含一对倾斜部，所述一对倾斜部相对于所述第2方向朝向彼此相反的方向倾斜。
5.根据权利要求4所述的振动片，其特征在于， 所述宽度缩小部在所述一对倾斜部的连接部处包含角部。
6.根据权利要求1或2所述的振动片，其特征在于， 所述宽度缩小部设置于所述一个端部侧。
7.根据权利要求1或2所述的振动片，其特征在于， 所述宽度缩小部设置于所述另一端部侧。
8.根据权利要求1或2所述的振动片，其特征在于， 所述宽度缩小部设置于所述一个端部侧和所述另一端部侧这两侧。
9.根据权利要求1或2所述的振动片，其特征在于， 所述固定部在俯视时位于通过所述一对振动臂之间的中心且沿着所述第I方向的假想中心线上的彼此不同的两个部位， 在设所述基部的所述第2方向的长度为W，从所述假想中心线到所述固定部的中心的长度为Xl时， Xl/ (ff/2) X 100% 为 0% 以上 45% 以下。
10.根据权利要求1或2所述的振动片，其特征在于， 所述固定部沿着所述第2方向位于彼此不同的两个部位， 在设所述基部的所述第2方向的长度为W，从通过所述一对振动臂之间的中心且沿着所述第I方向的假想中心线到所述固定部的中心的长度为Xl时， Xl/ (ff/2) X 100% 为 18% 以上 45% 以下。
11.一种振子,其特征在于,该振子具有: 权利要求1或2所述的振动片；以及 固定着所述振动片的所述固定部的容器。
12.根据权利要求11所述的振子，其特征在于， 所述固定部的一个部位被固定。
13.根据权利要求11所述的振子，其特征在于， 设置于所述基部的与所述固定部侧的一个主面相反侧的另一个主面上的电极焊盘和设置于所述容器的电极端子通过线连接。
14.一种振荡器，其特征在于，该振荡器具有: 权利要求1或2所述的振动片；以及 电路。
15.一种电子设备，其特征在于，该电子设备具有权利要求1或2所述的振动片。
16.一种移动 体，其特征在于，该移动体具有权利要求1或2所述的振动片。
【文档编号】H03H9/15GK103780220SQ201310503843
【公开日】2014年5月7日 申请日期:2013年10月23日 优先权日:2012年10月25日
【发明者】山田明法, 岩本修 申请人:精工爱普生株式会社