技术编号:7772216
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开提出一种MEMS传声器,其包括外壳、PCB板以及位于外壳内部且设置于PCB板上的ASIC芯片与MEMS振动膜片;所述外壳设置有多个声孔且底面开口,PCB板将该底面开口密封;所述MEMS振动膜片包括基膜、附着于基膜一侧表面的上电极层以及附着于基膜另一侧表面的下电极层所述基膜由氮化硅制成,厚度为5-15μm;所述上电极层为铝金属层,厚度为0.03-0.05μm;所述下电极层厚度为0.3-0.7μm;所述下电极层的组分及重量百分比为Al10%-15%;...
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