技术编号：778022
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型公开了一种等离子体装置和等离子体系统。等离子体装置包括至少一个电极，所述至少一个电极包括设置在其至少一部分上的纳米多孔介电层，纳米多孔介电层包括多个微孔，其中，所述多个微孔中的至少一部分包括被嵌入其中的催化剂。专利说明等离子体系统和等离子体装置 [0001] 本实用新型涉及等离子体系统和等离子体装置，其用于生物材料或其他材料的表 面处理、去除或沉积。更具体地，本实用新型涉及一种在等离子体装置中产生和引导由等离 子体生成的化学反应物质和针对所...
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