技术编号：7856899
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明通常涉及ー种微机电系统器件，并且更具体地涉及。背景技术可以使用利用微电子制造エ艺的微机电系统(MEMS)技术制造小型机电部件。MEMS器件包括薄膜和光束，其作为机械和/或电部件。硅麦克风是ー种MEMS器件，其中MEMS结构或膜由声学信号激励。然而，膜的灵敏度以及(由其导致的)MEMS器件的灵敏度根据膜中的应カ变化。例如，张应カ严重地降低 麦克风的机械顺从性。在制造过程中形成或者在操作中建立的应カ可能残留。因此，需要最小化膜应カ的MEMS器件和方法。发明内容通过示出的本发明的实施例通常解决或者避免这些和...
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