技术编号:8006755
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及一个新的敏射线树脂组合物,以及改进该敏射线树脂组合物的防干性蚀刻性能的方法,特别涉及一个新的具有改进干性蚀刻性能的敏射线树脂组合物,以及一个用于改进敏射性树脂组合物的干性蚀刻性能的方法。本发明宜用于生产半导体,制备液晶显示板的液晶显示平面,以及生产电路衬底(基片),例如热压头。背景技术 在许多的包括生产半导体集成电路,例如LSI(大规模集成电路),制备液晶显示板的液晶显示平面,以及生产电路衬底(基片),例如热压头的技术领域中,人们已广泛使用了光刻(照相平版印刷)技术去制备细元件和进行精细加工,在光...
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