技术编号:8016309
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及一种半导体薄膜电热元件及其制法。常用的电热膜元件是在耐热绝缘衬底材料表面简单覆着一层半导体薄膜,薄膜分子与衬底材料分子之间结合力较弱,薄膜中不可避免地出现杂质或缺陷,影响了电热膜元件的热稳定性、耐电压能力等使用性能,而成膜的方法有物理方法和化学方法两种,物理方法形成的薄膜与底衬结合不牢固,在急冷急热冲击下薄膜易脱落,用化学喷涂方法形成的一般半导体薄膜,成膜速度慢,且存在附着力差、抗酸碱腐蚀能力差等不足之处。本发明旨在提出一种稀土复合物半导体薄膜电热元件法,增强电热膜元件的使用性能,缩短制作过程。本...
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