技术编号：8019686
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本实用新型涉及等离子体及臭氧发生装置，特别是一种复合膜低温等离子体集成发生器。背景技术等离子体是电离的气体，由离子、电子、激发态的原子、分子及自由基等(包括臭氧)活性粒子组成。目前，电离中使用的放电体介电质一直沿用玻璃、陶瓷(搪瓷)以及其它等硬质材料，因此，在等离子体尤其是臭氧发生器技术的研发、生产和应用方面受其局限，高分子聚合膜结构的介电质发生器尚在研发。发明内容为解决上述技术中存在的问题，本实用新型的目的是提供一种复合膜低温等离子体集成发生器，运用高分子聚合复合膜介电质新材料，实现膜介电发生器的技术进步...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。