专利名称：复合膜低温等离子体集成发生器的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及等离子体及臭氧发生装置，特别是一种复合膜低温等离子体集成发生器。
背景技术：
等离子体是电离的气体，由离子、电子、激发态的原子、分子及自由基等(包括臭氧)活性粒子组成。目前，电离中使用的放电体介电质一直沿用玻璃、陶瓷(搪瓷)以及其它等硬质材料，因此，在等离子体尤其是臭氧发生器技术的研发、生产和应用方面受其局限，高分子聚合膜结构的介电质发生器尚在研发。
发明内容
为解决上述技术中存在的问题，本实用新型的目的是提供一种复合膜低温等离子体集成发生器，运用高分子聚合复合膜介电质新材料，实现膜介电发生器的技术进步。
为实现上述目的，本实用新型的技术方案是提供一种复合膜低温等离子体集成发生器，包括有电源、至少一组相互设有间隔的两极放电导体、在两极放电导体上设有气体进出接口、接口处配合设置的密封件、在两极放电导体其中一极密封为带有冷却介质循环进出接口和冷却器的内冷却仓，另一极外侧设带有风机的外导流冷却仓、在外侧的放电导体周围设有散热器，其中在所述两极放电导体的中间或其一侧设有高分子聚合复合膜。
所述高分子聚合复合膜是聚氟乙烯、芳香族四酸二酐、有机硅、芳族二氨聚合成膜与云母复合而成的。
所述复合膜的厚度为0.015~6mm。
所述外导流冷却仓的内周壁侧设有冷却器，在外导流冷却仓的两端设有冷却介质循环进出接口。
本实用新型的有益效果是该复合膜等离子体发生器具有以下特点软质高分子聚合膜介电结构，具有结构体积和介电系数可调性及所有发生器多种结构的技术应用及广泛的电源匹配性，并使发生器集成化；改进了发生器介电质的介电、耐温和机械性能，可在-100℃以下~250℃连续工作，避免破裂炸裂击穿现象，提高安全可靠性；提高发生器的浓度纯度及产率，提高介电质效率，促进单位转化率的倍增；缩减介电材料的体积和功耗，减少电耗50％以上，提高发生器装置及其设备的性价比。本实用新型适用于任何等离子体及臭氧发生器的核心装置及其设备生产制造、医疗卫生、饮食品工业、水处理、空气净化、内燃机及汽车工业、能源及环境保护等行业领域。
图1为本实用新型实施例1的剖面示意图；图2为本实用新型实施例2的剖面示意图。
图中1、复合膜2，3、放电导体4、气体进出接口5、密封件6、电源 7、散热器8，13、冷却介质循环进出接口9，14、冷却器具体实施方式
结合附图及实施例对本实用新型的复合膜低温等离子体集成发生器加以说明。
如图1、2所示，本实用新型的复合膜低温等离子体集成发生器的结构是将现有等离子体及臭氧发生器的介电材料改换为高分子聚合膜介电质的发生器。高分子聚合膜是将聚氟乙烯、芳香族四酸二酐、有机硅、芳族二氨聚合成膜与云母复合而成的，该材料复合成0.015~6mm厚的复合膜1，将其复合于任意几何形状和尺寸结构的任何发生器放电导体2与放电导体3的有间隙的任何一侧或中间，两极放电导体设带有气体进出接口4的密封器5配合密封，在电源6的驱动下形成间隙放电或沿面放电等形式的气体电离，放电导体设散热器7，其中一极密封成带有冷却介质循环进出接口8和冷却器9的内冷却仓10，另一极外侧设带有风机11的外导流冷却仓12，构成复合膜低温等离子体集成发生器。
复合膜低温等离子体集成发生器也可以在外导流冷却仓12的内周壁侧设置冷却器14，在外导流冷却仓12的两端设有冷却介质循环进出接口13，构成共冷组合复合膜低温等离子体集成发生器。
实施例1本实用新型复合膜等离子体发生器如图1所示。该等离子体发生器以高分子聚合物复合成0.015~6mm厚的复合膜1，将其复合于任意几何形状和尺寸结构的任何发生器放电导体2与放电导体3的有间隙的任何一侧或中间，两极放电导体设带有气体进出接口4的密封器5配合密封，在电源6的驱动下形成间隙放电或沿面放电等形式的气体电离，放电导体设散热器7，其中一极封闭成带有冷却介质循环进出接口8和导流器9的内冷却仓10，另一极外侧设带有风机11的外导流冷却仓12，构成复合膜低温等离子体集成发生器。
实施例2本实用新型共冷组合复合膜低温等离子体集成发生器如图2所示。该集成发生器以实施例1为基础，将内冷却仓10开放并去掉冷却介质循环进出接口8，将外导流冷却仓12以容纳若干组放电体的任意体积和结构封闭并设冷却介质循环进出接口13和冷却器14，构成共冷组合复合膜低温等离子体集成发生器。
本实用新型复合膜低温等离子体集成发生器用高分子聚合材料和放电式气体电离发生器或臭氧发生器均可实现。
权利要求1.一种复合膜低温等离子体集成发生器，包括有电源、至少一组相互设有间隔的两极放电导体、在两极放电导体上设有气体进出接口、接口处配合设置的密封件、在两极放电导体其中一极密封为带有冷却介质循环进出接口和冷却器的内冷却仓，另一极外侧设带有风机的外导流冷却仓、在外侧的放电导体周围设有散热器，其特征是在所述两极放电导体的中间或其一侧设有高分子聚合复合膜(1)。
2.根据权利要求1所述的复合膜低温等离子体集成发生器，其特征是所述高分子聚合复合膜(1)是聚氟乙烯、芳香族四酸二酐、有机硅、芳族二氨聚合成膜与云母复合而成的。
3.根据权利要求1、2所述的复合膜低温等离子体集成发生器，其特征是所述复合膜(1)的厚度为0.015~6mm。
4.根据权利要求1、2所述的复合膜低温等离子体集成发生器，其特征是所述外导流冷却仓(12)的内周壁侧设有冷却器(14)，在外导流冷却仓(12)的两端设有冷却介质循环进出接口(13)。
专利摘要本实用新型提供一种复合膜低温等离子体集成发生器，其介电质为高分子复合膜，新增冷却器和冷却仓并实现发生器集成化。有益效果是该复合膜等离子体发生器具有软质高分子聚合膜介电结构，结构体积和介电系数可调，在－100℃以下～250℃连续工作，有良好的机械性能、耐辐射性、阻燃性、化学稳定性和广泛的发生器及电源的匹配性，提高发生器的浓度纯度及产率，提高介电质效率，缩减介电材料的体积和功耗，减少电耗50％以上，避免炸裂击穿现象，提高安全可靠性。适用于医疗卫生、饮食品工业、水处理、空气净化、内燃机及汽车工业、能源及环境保护等行业领域。
文档编号H05H1/46GK2739921SQ20042008531
公开日2005年11月9日 申请日期2004年11月10日 优先权日2004年11月10日
发明者韩强 申请人:韩强