技术编号:8022364
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及薄膜生长领域,特别涉及氧化锌铁电薄膜及其制备方法。技术背景铁电材料是一种应用非常广泛的功能材料。铁电材料往往具有很大的介电常数,是制 作电容器的主要原料。极化后的铁电材料是优良的压电材料,被广泛应用于各种水声和超 声换能器的制作。铁电材料在新技术发展中占有重要的地位。近10年来,铁电薄膜材料的发展极为迅速,其应用日益广泛。热释电红外探测器、微机械电子系统器件和非易失铁 电随机存取存储器等领域成为目前研究的热点。由于铁电材料的应用非常广泛,不同的应 用对铁电材料提出了不同的要求,现有的铁电材料很难完...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。