技术编号：8024385
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及一种制造多晶硅薄膜的方法和制造具有该薄膜的薄膜晶体管(TFT)的方法。更具体地，本发明涉及一种制造具有改进的电学特性的多晶硅薄膜的方法和制造具有该薄膜的TFT的方法。背景技术 液晶显示(LCD)设备包括开关元件。开关元件包括非晶硅薄膜晶体管(a-Si TFT)或多晶硅薄膜晶体管(Poly-Si TFT)。具有Poly-Si TFT的LCD设备拥有比具有a-Si TFT的LCD设备更快的运行速度，从而提供了比具有a-Si TFT的LCD设备更好的图像显示质量。Poly-Si TFT直接形成在基板上，...
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