技术编号:8033156
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及感光性树脂组合物、使用该组合物的感光性元件、抗蚀剂图案的形成方法及印刷电路板的制造方法以及光固化物的去除方法。背景技术 以往在印刷电路板的制造领域中,作为用于刻蚀或镀覆等的抗蚀剂材料,广泛使用感光性树脂组合物或通过将感光性树脂组合物层积在支持膜上再用保护膜覆盖而得到的感光性元件。作为制造印刷电路板的方法,通常使用如下方法。即,首先在电路形成用衬底(铜衬底等)上层积(层压)感光性树脂组合物,对感光性树脂组合物的规定部分照射活性光线(图案曝光)而使曝光部光固化,接着,通过用显影液去除未固化部分(显影)...
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