技术编号：8037344
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域扩散炉用进气管技术领域本实用新型涉及扩散炉石英件中的进气管领域，尤其是涉及一种加固了进气管中 粗细管径结合部位的扩散炉用进气管。背景技术目前，在多晶硅薄膜太阳能电池制造过程中，必须要对薄膜电池进行化学气体沉 积处理，而进行此项处理的扩散炉又必须要通过石英材质的进气管来完成各种工艺气体的 输送；为避免进气管受到扩散炉的高温影响而发生泄露现象，同时还便于在进气管和扩散 炉的炉管之间安装密封件，现在采用的基本上是将进气管的管壁与炉管之间安装密封件的 部位加厚，即将进气管的该段管壁由原有的12mm增厚至19mm，参...
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