专利名称：扩散炉用进气管的制作方法
技术领域：
扩散炉用进气管技术领域：
本实用新型涉及扩散炉石英件中的进气管领域，尤其是涉及一种加固了进气管中 粗细管径结合部位的扩散炉用进气管。背景技术：
目前，在多晶硅薄膜太阳能电池制造过程中，必须要对薄膜电池进行化学气体沉 积处理，而进行此项处理的扩散炉又必须要通过石英材质的进气管来完成各种工艺气体的 输送；为避免进气管受到扩散炉的高温影响而发生泄露现象，同时还便于在进气管和扩散 炉的炉管之间安装密封件，现在采用的基本上是将进气管的管壁与炉管之间安装密封件的 部位加厚，即将进气管的该段管壁由原有的12mm增厚至19mm，参照附图1能够清楚了解目 前的结构；但是，在长期实际应用中发现，由于进气管的管壁厚度突然由12mm增加至19mm， 从而导致了管内输送的气体压力也受到影响，即在进气管的粗管壁与细管壁结合处极易因 管壁压力的突然变化而发生受力不均，进而引起结合处的细管壁出现裂纹甚至管体断裂的 现象。
发明内容为了克服背景技术中的不足，本实用新型提供了一种扩散炉用进气管，所述的进 气管结实耐用，有效的延长了使用寿命。为实现上述发明目的，本实用新型采用如下技术方案一种扩散炉用进气管，所述的进气管在粗管壁和细管壁结合的部位粘接或焊接一 个过渡管；所述过渡管的管内径与细管壁的外径吻合对应；过渡管的一端直径与粗管壁的 外径吻合对应，过渡管的另一端直径与细管壁的外径吻合对应。所述的扩散炉用进气管，所述的过渡管与进气管设为一体结构。由于采用如上所述的技术方案，本实用新型具有如下有益效果本实用新型所述的扩散炉用进气管，由于增加了一个使管壁均勻的由粗管壁过渡 到细管壁的过渡管，从而使管体更加结实耐用，有效延长了进气管的使用寿命。
图1是目前进气管上的粗管与细管的连接示意图；图2是本实用新型所述的过渡管的示意图；图3是本实用新型所述进气管的示意图。图中1、粗管壁；2、细管壁；3、过渡管；4、管内径。
具体实施方式
通过下面的实施例可以更详细的解释本实用新型，公开本实用新型的目的旨在保 护本实用新型范围内的一切变化和改进，本实用新型并不局限于下面的实施例；3[0014]实施本实用新型所述的扩散炉用进气管时，结合附图2 3所述的进气管，在现有 的进气管中粗管壁1和细管壁2结合的部位粘接或焊接一个过渡管3 ；为便于将过渡管3安 置于需要粘接或焊接的位置，所述过渡管3的管内径4与细管壁2的外径吻合对应，达到了 将过渡管3吻合卡套于细管壁2外壁的目的；过渡管3的一端直径与粗管壁1的外径吻合 对应，过渡管3的另一端直径与细管壁2的外径吻合对应，即达到了过渡管3被安置于粗管 壁1与细管壁2之间的连接位置，并使进气管粗管壁1的厚度能够均勻的通过过渡管3的 管壁厚度过渡至细管壁2的管壁厚度的目的；根据需要，在生产新的进气管时，能够直接将 过渡管3与进气管设置为一体生产。本实用新型所述的扩散炉用进气管，由于增加了一个能够使管壁均勻的由粗管壁 1过渡到细管壁2的过渡管3，从而使进气管该位置内的气体压力也得到过渡，由此避免了 因压力突然改变而使管壁发生裂纹或断裂的现象，使得粗管壁1与细管壁2结合处的管体 更加结实耐用；经多次实验对比证明，现有的进气管平均使用寿命为4个月，而本实用新型 所述的进气管将平均使用寿命提高到了 6个月。以上内容中未细述部份为现有技术，故未做细述。
权利要求1.一种扩散炉用进气管，其特征是所述的进气管在粗管壁(1)和细管壁( 结合的 部位粘接或焊接一个过渡管⑶；所述过渡管⑶的管内径⑷与细管壁⑵的外径吻合 对应；过渡管C3)的一端直径与粗管壁(1)的外径吻合对应，过渡管C3)的另一端直径与细 管壁O)的外径吻合对应。
2.根据权利要求1所述的扩散炉用进气管，其特征是所述的过渡管C3)与进气管设 为一体结构。
专利摘要一种涉及扩散炉石英件中进气管领域的扩散炉用进气管，所述的进气管在粗管壁和细管壁结合的部位粘接或焊接一个过渡管；所述过渡管的管内径与细管壁的外径吻合对应；过渡管的一端直径与粗管壁的外径吻合对应，过渡管的另一端直径与细管壁的外径吻合对应；所述的扩散炉用进气管，由于增加了一个使管壁均匀的由粗管壁过渡到细管壁的过渡管，从而使管体更加结实耐用，有效延长了进气管的使用寿命。
文档编号C30B31/06GK201826036SQ201020549489
公开日2011年5月11日 申请日期2010年9月30日 优先权日2010年9月30日
发明者周积勋, 张明坤, 张磊, 朱晓磊, 王奇, 邓占鹏, 霍得生 申请人:上海超日(洛阳)太阳能有限公司