一种扩散炉腔体的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及半导体制造工艺，具体是涉及一种扩散炉腔体。
【背景技术】
[0002]随着全球能源日趋紧张，太阳能成为新型能源得到了大力开发，太阳能电池作为绿色环保的清洁能源，安装量与日俱增。扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺，扩散炉在太阳能电池链式扩散工艺中扮演着非常重要的角色。在太阳能电池链式扩散工艺中，选择磷酸作为扩散源，在整个扩散工艺的前道工序中，磷酸通过喷涂机均匀喷涂在硅片表面，然后硅片通过传动机构进入扩散炉，这样硅片表面的磷酸会在扩散炉升温阶段挥发，从而附着在扩散炉腔体上方保温材料的表面，并且在高温下保温材料会被磷酸腐蚀而掉落，会影响电池片的表面外观以及电性能，目前的方法是在扩散炉腔内保温材料下安装一块二氧化硅板，这样可以在短期内防止保温材料被磷酸腐蚀，但是长期情况下二氧化硅板同样会被腐蚀，从而依然有异物掉落，没有从根本上解决问题。
【实用新型内容】
[0003]发明目的:为了克服现有技术中存在的不足，本实用新型提供一种能够保证电池片的外观和电性能稳定性扩散炉腔体。
[0004]技术方案:为解决上述技术问题，本实用新型的扩散炉腔体，包括腔本体、设于所述腔本体内的若干层炉体、设于所述炉体下方的保温层、设于所述保温层下方的碳化硅防护板、设于所述碳化硅防护板下方的网带以及设于所述网带下方的加热板。
[0005]进一步地，所述碳化娃防护板厚度为6?8mm。
[0006]进一步地,所述炉体包括3层。
[0007]进一步地，所述保温层是由硅酸铝陶瓷制造。
[0008]进一步地，还包括散热器，所述散热器设于所述腔本体顶部。
[0009]有益效果:本实用新型的设计与现有设计比较，具有的优点是:
[0010]1、通过设计碳化硅防护板代替现有技术中的二氧化硅防护板，碳化硅防护板不与聚磷酸等反应，可长期使用，从而可以长期解决保温材料因被腐蚀形成杂物掉落问题，从而减少杂物污染电池片，减少电池片外观产生不良，保证电池片电性能的高效、稳定；
[0011]2、可以减少设备停机及维护时间。
【附图说明】
[0012]图1是扩散炉腔体结构示意图。
[0013]图中:1、腔本体；2、炉体；3、保温层；4、碳化硅防护板；5、网带；6、加热板；7、散热器。
【具体实施方式】
[0014]下面结合附图和实施例对本实用新型作更进一步的说明。
[0015]实施例:
[0016]参照图1，本实用新型提供的一种扩散炉腔体，包括腔本体1、设于所述腔本体
I内的若干层炉体2，所述炉体2包括3层，分别为一区(Z0NE1)、二区(Z0NE2)以及三区(Z0NE3)，还包括设于所述炉体2下方的保温层3、所述保温层3是由硅酸铝陶瓷制造，还包括设于所述保温层3下方的碳化硅(SIC)防护板4、所述SIC防护板厚度为6?8_，设于所述碳化硅(SIC)防护板4下方的网带5以及设于所述网带5下方的加热板6，所述腔体还包括散热器7，所述散热器7设于所述腔本体顶部，目的是将扩散炉产生的一部分热量通过散热带走，从而避免厂房环境温升过高；在太阳能电池制造链式扩散工艺中，首先通过喷涂机上的喷嘴将磷酸(H3PO4)均匀喷涂在电池片表面，喷涂后，硅片表面形成H3POJf，硅片8通过传动机构进入扩散炉，H3PO4进入扩散炉后，在升温阶段会产生挥发现象，由于在保温层3下方设有SIC防护板4，而新型的SIC防护板4不与H3PO4等反应，可以长期使用，所以解决了现有技术中通过在保温材料下方安装二氧化硅(S12)板而S12板会与磷酸反应的问题，这样即使H3PO4不断挥发，也不会影响到碳化硅(SIC)防护板4上方的保温层3，保证了电池片的外观和电性能稳定性。
[0017]以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出:对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。
【主权项】
1.一种扩散炉腔体，其特征在于:包括腔本体(I)、设于所述腔本体(I)内的若干层炉体(2)、设于所述炉体(2)下方的保温层(3)、设于所述保温层(3)下方的碳化硅防护板(4)、设于所述碳化硅防护板(4)下方的网带(5)以及设于所述网带(5)下方的加热板(6)。
2.根据权利要求1所述的扩散炉腔体，其特征在于:所述碳化硅防护板(4)厚度为6?8mm ο
3.根据权利要求1所述的扩散炉腔体，其特征在于:所述炉体(2)包括3层。
4.根据权利要求1所述的扩散炉腔体，其特征在于:所述保温层(3)是由硅酸铝陶瓷制造。
5.根据权利要求1所述的扩散炉腔体，其特征在于:还包括散热器(7)，所述散热器(7)设于所述腔本体顶部。
【专利摘要】本实用新型公开了一种扩散炉腔体，包括腔本体、设于所述腔本体内的若干层炉体，设于所述炉体下方的保温层、设于所述保温层下方的碳化硅防护板、设于所述碳化硅防护板下方的网带以及设于所述网带下方的加热板，本实用新型的设计与现有设计比较，具有的优点是：通过设计碳化硅防护板代替现有技术中的二氧化硅防护板，碳化硅防护板不与聚磷酸等反应，可长期使用，从而可以长期解决保温材料因被腐蚀形成杂物掉落问题，从而减少杂物污染电池片，减少电池片外观产生不良，保证电池片电性能的高效、稳定；可以减少设备停机及维护时间。
【IPC分类】C30B31-00
【公开号】CN204342921
【申请号】CN201420797971
【发明人】向益双, 包文訚, 刘林华
【申请人】无锡德鑫太阳能电力有限公司
【公开日】2015年5月20日
【申请日】2014年12月17日