专利名称：一种扩散炉的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种太阳能电池制造设备，具体是指一种太阳能硅晶片自动扩散炉。
背景技术：
目前太阳能电池的制造包含有多个工序，如硅片清洗、制绒等等，在上述的工序中都需要将硅片进行扩散。目前业内在生产中都是通过人工辅助实现石英舟入炉和硅片扩散，无法实现全自动生产。
实用新型内容本实用新型的目的是提供一种可自动将石英舟入炉、把硅片进行扩散的扩散炉。 本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是一种扩散炉，包括机架，所述的机架由炉门开关装置和设于炉门开关装置左右两侧的左架体和右架体组成，所述的左架体上依次设置有上下排列的传送装置和工控系统装置，所述的右架体上依次设置有左右排列的硅片扩散装置和空气净化装置。其中，所述的炉门开关装置由炉门、驱动炉门上下移动的第一气缸和驱动炉门左右移动的第二气缸组成。进一步，所述的硅片扩散装置包括扩散炉体、设于扩散炉体内的石英管以及设于石英管上的充排气管，扩散炉体外设有热偶感应线。更进一步，所述的空气净化装置包括与石英管连接的恒温槽以及与恒温槽连接的石英瓶。本实用新型的有益效果是通过炉门开关装置、硅片扩散装置和空气净化装置依次实现石英舟的入炉以及硅片的扩散，作为自主研发的系统，本扩散炉通过独特的工艺实现硅片的高效扩散。
图I是本实用新型的结构示意图；图2是本实用新型炉门开关装置的结构示意图；图3是本实用新型硅片扩散装置的结构示意图；图4是本实用新型空气净化装置的结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型作进一步详细说明。参照图I至图4所示，本实用新型公开了一种扩散炉，包括机架，所述的机架由炉门开关装置3和设于炉门开关装置3左右两侧的左架体11和右架体12组成，所述的左架体11上依次设置有上下排列的传送装置2和工控系统装置6，所述的右架体12上依次设置有左右排列的硅片扩散装置4和空气净化装置5 ;其中，传送装置2由机械手及碳化硅桨和高温保护外罩组成，机械手固定碳化硅桨并将石英舟送入炉体内扩散，高温保护外罩可以很好的保护机械手及其它零器件的正常运，所述的炉门开关装置3由炉门31、驱动炉门31上下移动的第一气缸32和驱动炉门31左右移动的第二气缸33组成，炉门开关装置3通过两个气缸传动实现炉门开关，第一气缸32拉动炉门31上下移动,第二气缸33拉动炉门31整体左右移动，所述的硅片扩散装置4包括扩散炉体41、设于扩散炉体41内的石英管42以及设于石英管42上的充排气管43，用于将氮气充入以及废气排出，扩散炉体41外设有热偶感应线44，所述的空气净化装置5包括与石英管42连接的恒温槽51以及与恒温槽51连接的石英瓶52，由恒温槽51将炉体内排出到石英瓶52中的废气进行冷却无公害处理。以上所述的仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明创造构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。·
权利要求1.一种扩散炉，包括机架，其特征在于所述的机架由炉门开关装置(3)和设于炉门开关装置(3)左右两侧的左架体(11)和右架体(12)组成，所述的左架体(11)上依次设置有上下排列的传送装置(2)和工控系统装置￠)，所述的右架体(12)上依次设置有左右排列的硅片扩散装置(4)和空气净化装置(5)。
2.根据权利要求I所述的扩散炉，其特征在于，所述的炉门开关装置(3)由炉门(31)、驱动炉门(31)上下移动的第一气缸(32)和驱动炉门(31)左右移动的第二气缸(33)组成。
3.根据权利要求I或2所述的扩散炉，其特征在于，所述的硅片扩散装置(4)包括扩散炉体(41)、设于扩散炉体(41)内的石英管(42)以及设于石英管(42)上的充排气管(43)，扩散炉体(41)外设有热偶感应线(44)。
4.根据权利要求3所述的扩散炉，其特征在于，所述的空气净化装置(5)包括与石英管(42)连接的恒温槽(51)以及与恒温槽(51)连接的石英瓶(52)。
专利摘要本实用新型公开了一种扩散炉，包括机架，所述的机架由炉门开关装置和设于炉门开关装置左右两侧的左架体和右架体组成，所述的左架体上依次设置有上下排列的传送装置和工控系统装置，所述的右架体上依次设置有左右排列的硅片扩散装置和空气净化装置；本实用新型通过炉门开关装置、硅片扩散装置和空气净化装置依次实现石英舟的入炉以及硅片的扩散，作为自主研发的系统，本扩散炉通过独特的工艺实现硅片的高效扩散。
文档编号C30B31/06GK202705570SQ201220235938
公开日2013年1月30日 申请日期2012年5月19日 优先权日2012年5月19日
发明者梁明刚 申请人:东莞市启天自动化设备有限公司