技术编号:8041690
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本实用新型涉及一种多晶硅坩埚烧结炉炉体保温层结构,尤其涉及一种增设纳米保温板的多晶硅坩埚烧结炉炉体保温层结构。背景技术在通常情况下,多晶硅坩埚烧结炉的工作温度为1250度。现有的多晶硅坩埚烧结炉的炉壁保温层结构大多采用耐火砖(114毫米)和陶瓷纤维毯(厚度260毫米)构成,或者硅藻土保温砖和硅酸铝耐火纤维毯构成。炉壁保温层结构厚度较大,在加热升温过程中吸热、储热量大,导致升温相对缓慢;而在强制风冷降温散热过程中,又由于储热量大,导致降温相对缓慢。发明内容本实用新型的目的在于提供一种多晶硅坩埚烧结炉炉体保温层...
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