技术编号：8043800
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及一种单晶炉热场零件导流筒，具体地说是一种导流筒抗氧化涂层及 制备方法，特别是涉及一种由碳/碳复合材料为基体的表面抗氧化涂层及制备方法。背景技术导流筒是单晶硅拉制炉必须用的关键热场部件，主要用于控制热场的温度梯度 和引导氩气流，这就要求导流筒本身保温性能要好，且具有一定的抗气流冲刷能力。目 前单晶炉导流筒普遍由石墨件和碳毡组合制成，即用石墨加工出内筒和外筒，将碳毡夹 在内筒和外筒中间，再通过紧固件将三者组合在一起。这种导流筒的缺点是(1) 由于石墨强度低，导致导流筒使用寿命较短；(2)由于石墨的导热...
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