技术编号:8046344
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及熔融单晶硅炉装置的领域。 背景技术单晶炉加热系统是将多晶硅熔化生长成单晶硅的设备,现有的单晶炉加热系统在结晶过程中,由于结构的不合理存在温度难以均衡,保温效果差等缺陷。发明内容本发明的目的是为了克服现有技术的不足,提供一种结构合理、温度均衡、保温效果好的单晶炉加热系统。本发明的目的是这样实现的单晶炉加热系统,包括炉底、炉室和炉盖,炉室包括下炉室和主炉室,下炉室连接在炉底的上方,主炉室连接在下炉室的上方,炉盖连接在主炉室的上方,炉盖的上端设置炉口,所述炉室内设置环形保温桶、下保温层和上保温层,保温桶...
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