技术编号:8058739
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本实用新型涉及太阳能设备制造领域,特别涉及一种多晶硅提纯铸锭炉真空机组。背景技术多晶硅提纯铸锭炉是物理法制造多晶硅材料的主要设备,也是多晶硅提纯过程工艺除磷的关键设备,高温高真空是除磷的关键工艺,由于在除磷过程中加热温度需达到 1600°C左右,所以大量的硅蒸汽和其它挥发物瞬间挥发,这就要求有高抽速的真空机组来将这些杂质抽走并将真空度保持在极高的状态。现在的真空机组一般采用常规的真空三级泵抽真空系统,即选片泵、罗茨泵、扩散泵,由于高温的瞬间挥发速度快,往往扩散泵达不到起动的要求,使扩散泵不能工作,极限真空度...
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