专利名称：多晶硅提纯铸锭炉真空机组的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及太阳能设备制造领域，特别涉及一种多晶硅提纯铸锭炉真空机组。
背景技术：
多晶硅提纯铸锭炉是物理法制造多晶硅材料的主要设备，也是多晶硅提纯过程工艺除磷的关键设备，高温高真空是除磷的关键工艺，由于在除磷过程中加热温度需达到 1600°C左右，所以大量的硅蒸汽和其它挥发物瞬间挥发，这就要求有高抽速的真空机组来将这些杂质抽走并将真空度保持在极高的状态。现在的真空机组一般采用常规的真空三级泵抽真空系统，即选片泵、罗茨泵、扩散泵，由于高温的瞬间挥发速度快，往往扩散泵达不到起动的要求，使扩散泵不能工作，极限真空度不够，无法达到真空除磷的目的。所以现在的真空机组不能满足当前工业生产的需要。
实用新型内容为解决普通现有真空机组工作的极限真空度不够，无法达到真空除磷目的的问题，本实用新型提供以下技术方案一种多晶硅提纯铸锭炉真空机组，包括4台H-150滑阀泵、2台ZJB-600罗茨泵、2 台ZJB-2500罗茨泵、1台K-1200扩散泵，所述的2台ZJB-600罗茨泵和2台ZJB-2500罗茨泵分为两组，其中1台ZJB-600罗茨泵和1台ZJB-2500罗茨泵串联在一起，前级为ZJB-2500 罗茨泵，后级为ZJB-600罗茨泵，共串联成两组；其中两台H-150滑阀泵并联，再串联1台 ZJB-600罗茨泵和1台ZJB-1200罗茨泵组成两级抽真空机组两套，再将两套两级抽真空机组并联在K-1200扩散泵上。本实用新型优点是1、本实用新型可以使得冷态极限真空达到6. 7X IO-4Pa ；2、本实用新型有效克服了高温状态硅蒸汽的挥发使得无法启动扩散泵的问题。
图1为本实用新型结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型的较佳实施例进行详细阐述，以使本实用新型的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解，从而对本实用新型的保护范围做出更为清楚明确的界定。如附图1所示，一种多晶硅提纯铸锭炉真空机组，包括4台H-150滑阀泵、2台 ZJB-600罗茨泵、2台ZJB-2500罗茨泵、1台K-1200扩散泵，所述的2台ZJB-600罗茨泵和 2台ZJB-2500罗茨泵分为两组，其中1台ZJB-600罗茨泵和1台ZJB-2500罗茨泵串联在一起，前级为ZJB-2500罗茨泵，后级为ZJB-600罗茨泵，共串联成两组；其中两台H-150滑阀泵并联，再串联1台ZJB-600罗茨泵和1台ZJB-1200罗茨泵组成两级抽真空机组两套，再将两套两级抽真空机组并联在K-1200扩散泵上。所述的硅除磷真空机组不需同时启动，两级泵机组是在扩散泵无法启动的前提下启动的，起到增压的作用。扩散泵启动后再关闭其中一套两级泵真空机组。以上所述，仅为本实用新型的具体实施方式
，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本领域的技术人员在本实用新型所揭露的技术范围内，可不经过创造性劳动想到的变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应该以权利要求书所限定的保护范围为准。
权利要求1. 一种多晶硅提纯铸锭炉真空机组，其特征在于所述真空机组包括4台H-150滑阀泵、2台ZJB-600罗茨泵、2台ZJB-2500罗茨泵、1台K-1200扩散泵，所述的2台ZJB-600 罗茨泵和2台ZJB-2500罗茨泵分为两组，其中1台ZJB-600罗茨泵和1台ZJB-2500罗茨泵串联在一起，前级为ZJB-2500罗茨泵，后级为ZJB-600罗茨泵，共串联成两组；其中两台 H-150滑阀泵并联，再串联1台ZJB-600罗茨泵和1台ZJB-1200罗茨泵组成两级抽真空机组两套，再将两套两级抽真空机组并联在K-1200扩散泵上。
专利摘要本实用新型提供了一种多晶硅提纯铸锭炉真空机组，包括4台H-150滑阀泵、2台ZJB-600罗茨泵、2台ZJB-2500罗茨泵、1台K-1200扩散泵，所述的2台ZJB-600罗茨泵和2台ZJB-2500罗茨泵分为两组，其中1台ZJB-600罗茨泵和1台ZJB-2500罗茨泵串联在一起，前级为ZJB-2500罗茨泵，后级为ZJB-600罗茨泵，共串联成两组；其中两台H-150滑阀泵并联，再串联之前串联的两级抽真空机组两套，再将两套两级抽真空机组并联在K-1200扩散泵上。本实用新型可以使得冷态极限真空达到6.7×10-4Pa；有效克服了高温状态硅蒸汽的挥发使得无法启动扩散泵的问题。
文档编号C30B29/06GK202090101SQ20112015955
公开日2011年12月28日 申请日期2011年5月19日 优先权日2011年5月19日
发明者李荣华 申请人:吴江亿泰光伏设备有限公司