技术编号：8068530
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。专利摘要本发明提供加工性优异的高品质III族氮化物结晶。通过将III族氮化物单晶在1000℃以上进行热处理，形成含有含III族元素的氧化物、氢氧化物和/或羟基氧化物的覆膜；将该覆膜除去；从而制造出III族氮化物结晶。专利说明111族氮化物结晶的制造方法和111族氮化物结晶技术领域[0001]本发明涉及加工性与结晶品质优异的III族氮化物结晶以及具备这样的特性的III族氮化物结晶的制造方法。背景技术[0002]III族氮化物结晶作为发光二极管(LED)或半导体激光器(LD)之类的发光元件的基板等进行了各种利用。其中，...
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