技术编号:8069071
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。专利摘要一种辐射源(60),适于提供辐射束至光刻设备的照射器。辐射源包括喷嘴,配置成沿轨迹(64)朝向等离子体形成位置(66)引导燃料液滴(62)的束流。辐射源配置成接收第一辐射量辐射(68)使得第一辐射量辐射入射到位于等离子体形成位置的燃料液滴(62a),并使得第一辐射量辐射传递能量进入燃料液滴以生成修改的燃料分布(70),修改的燃料分布具有表面。辐射源还配置成接收第二辐射量辐射(72)使得第二辐射量辐射入射到修改的燃料分布的表面(72a)的部分上,第二辐射量辐射具有相对于所述表面的部分的p偏振分量;并使得第二辐...
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