热处理装置制造方法技术资料下载

技术编号:8069464

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专利摘要回流炉(1)具有减压室(5),在该减压室(5)除去基板(7)上熔融的焊料中所含的气泡。支承在第一搬运轨道(8)上的基板(7)被第一搬运杆(18)送入减压室(5)。减压室(5)内的基板(7)被第二搬运杆(32)取出,且支承在第二搬运轨道(9)上而搬运至回流炉(1)的出口。在处理宽度尺寸不同的基板(7)之前,先调节第一搬运轨道(8)的宽度及第二搬运轨道(9)的宽度。在进行该调节之际,使第二搬运杆(32)以进入减压室(5)中的状态沿基板(7)的宽度方向变位,伴随这种变位而使减压室(5)内的左右的轨道部12a、12...
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