热处理装置制造方法

热处理装置制造方法
【专利摘要】回流炉(1)具有减压室(5)，在该减压室(5)除去基板(7)上熔融的焊料中所含的气泡。支承在第一搬运轨道(8)上的基板(7)被第一搬运杆(18)送入减压室(5)。减压室(5)内的基板(7)被第二搬运杆(32)取出，且支承在第二搬运轨道(9)上而搬运至回流炉(1)的出口。在处理宽度尺寸不同的基板(7)之前，先调节第一搬运轨道(8)的宽度及第二搬运轨道(9)的宽度。在进行该调节之际，使第二搬运杆(32)以进入减压室(5)中的状态沿基板(7)的宽度方向变位，伴随这种变位而使减压室(5)内的左右的轨道部12a、12a间的间隔得到调节。
【专利说明】热处理装置

【技术领域】
[0001] 本发明涉及具备处理部的热处理装置，该处理部在搬运被处理物的搬运路径上对 被处理物实施热处理。

【背景技术】
[0002] 回流焊接（U 7 口一半田付汁）装置例如将已用膏状焊料等装上了电子零件的印 刷基板一边用传送带在炉内进行搬运，一边将电子零件焊接到基板上，在该炉内依次实施 预热工序、回流工序以及冷却工序（参照专利文献1)。
[0003] 为了防止焊接时在焊接部生成的气泡残留，提出了一种回流焊接装置，在基板的 搬运路径上设置能够减少环境压力的减压室，在减压室对基板上已被加热熔融的焊接部进 行脱泡（参照专利文献2)。在这种回流焊接装置的减压室内部具备左右一对的基板支承轨 道，且该减压室内的一对基板支承轨道间的间距（轨道的宽度）能够根据基板的宽度尺寸 变化。
[0004] 更具体是，隔着减压室而配置在上游侧及下游侧的基板搬运轨道的左右轨道中的 至少一方能够在宽度方向移动。通过使一方的轨道移动，就能对应宽度尺寸各异的基板来 调节搬运轨道间的间距（轨道宽度）。
[0005] 减压室内的一对基板支承轨道也是至少一方能够在宽度方向上移动。通过使一方 的轨道移动，就能对应宽度尺寸各异的基板来调节减压室内的基板支承轨道间的间距（轨 道宽度）。
[0006] 减压室内的基板支承轨道与相比减压室而处于上游侧及下游侧的基板搬运轨道 之间通过轨道连接机构来相互连接。这种轨道连接机构与对减压室进行开闭的闸门的开闭 动作连动，将基板搬运轨道与基板支承轨道连接或断开。即，通过闸门的关闭动作，轨道连 接部件将基板搬运轨道与基板支承轨道断开。另一方面，通过闸门的打开动作，轨道连接部 件将基板搬运轨道与基板支承轨道连接。当使基板搬运轨道和基板支承轨道形成一体的闸 门打开时，左右的基板搬运轨道间的间隔和减压室内的左右的基板支承轨道间的间隔就能 一起变更
[0007] 然而，专利文献2所示的结构是与开闭减压室的闸门的开闭动作连动来使轨道连 接部件工作，因此需要实施减压室开闭的闸门结构，
[0008] 专利文献1 :日本专利特开2000 - 188467号公报。
[0009] 专利文献2 :日本专利特开2011 - 171714号公报。


【发明内容】

[0010] 本发明的目的是提供一种热处理装置，能够以简单的结构来调节左右的支承部件 之间的间隔，该左右的支承部件配置在对被处理物实施热处理的处理部，且对该被处理物 进行支承。
[0011] 为了实现上述目的，本发明提供一种热处理装置，在搬运被处理物的搬运路径上 具有处理部，其特征在于，具有：搬运杆，该搬运杆配置在所述搬运路径上，且能够为了搬运 所述被处理物而往复运动；支承部件，该支承部件隔开配置在处理室的左右，且用于支承 所述被处理物，左右的所述支承部件中的至少一个支承部件能够沿所述搬运路径的横向移 动，该可移动的支承部件具有能够供所述搬运杆插入的第一槽，在将所述搬运杆插入该第 一槽的状态下，使该搬运杆沿着所述搬运路径的宽度方向变位，来调节所述处理部的左右 的所述支承部件间的间隔。
[0012] 本发明的较佳实施方式是，所述搬运杆具有与所述被处理物卡合的推压部件，所 述热处理装置还具有切换机构，该切换机构使所述搬运杆以其轴线为中心做正向或反向的 绕轴旋转，通过使该切换机构工作，能够使所述推压部件位于与所述被处理物卡合的卡合 位置和从所述被处理物离开的退让位置。更好的实施方式是，所述切换机构由与所述搬运 杆的往复运动连动而使该搬运杆做正向或反向绕轴旋转的凸轮机构构成。
[0013] 本发明所述的"处理部"在实施例中相当于回流炉的减压室，该减压室能够开闭。 本发明的处理部也可以在俯视时从该搬运路径朝着沿横向离开的方向移动。
[0014] 本发明使用往复运动的搬运杆来调节处理部内由左右的支承部件来限定的搬运 路径的宽度。从而，能够使处理部的结构简单，且容易维护。
[0015] 本发明的其它目的及作用效果可从对本发明的实施例的详细说明中获知。

【专利附图】

【附图说明】
[0016] 图1是表示本发明一实施方式的回流焊接装置的示意结构图。
[0017] 图2是表示减压室的纵向剖视图，表示减压室的打开状态。
[0018] 图3是搬运装置的作用说明图。
[0019] 图4是用于说明搬运装置的纵向剖视图。
[0020] 图5是表示导向部件的俯视图，其中图5(a)表示从炉的出口侧看入口侧时的右侧 的导向部件，图5(b)表示左侧的导向部件。
[0021] 图6是用于说明导向部件的纵向剖视图。
[0022] 图7是表示第一搬运杆及第二搬运杆的移动机构的俯视图。
[0023] 图8是用于说明上游侧引导部件的剖视图，该上游侧引导部件构成了相比减压室 而位于上游侧的第一搬运轨道。
[0024] 图9是用于说明下游侧引导部件的剖视图，该下游侧引导部件构成了相比减压室 而位于下游侧的第二搬运轨道。
[0025] 图10是用于说明对减压室的左右的基板支承部件（轨道部）之间的间隔进行调 节的顺序的图，其中图10(1)表示使第二搬运杆进入减压室的第一工序，图10(11)表示作 为下一道工序的、使第一搬运杆、第二搬运杆在基板的宽度方向上变位的第二工序。
[0026] (符号说明）
[0027] 1回流炉
[0028] 2A、2B 预热室
[0029] 3A、3B 回流室
[0030] 4冷却室
[0031] 5减压室
[0032] 5A减压室的上侧框体
[0033] 5B减压室的下侧基座
[0034] 7装设有电子零件的印刷基板
[0035] 8上游侧基板搬运轨道
[0036] 9下游侧基板搬运轨道
[0037] 12减压室的基板支承部件
[0038] 12a基板支承部件的轨道部
[0039] 13基板支承部件的凹槽
[0040] 18第一搬运杆
[0041] 19推压片
[0042] 32第二搬运杆

【具体实施方式】
[0043] 以下基于【专利附图】

【附图说明】本发明的较佳实施例。
[0044] 回流炉的整体结构：
[0045] 回流焊接装置（回流炉1)如图1所示，在炉1内具有沿基板搬运方向划分且并 排排列的多个工位（室）。具体是，回流炉1在基板搬运方向依次具有位于图右侧的两个 预热室2A、2B、位于图中央的两个回流室3A、3B以及位于图左侧的一个冷却室4。回流炉1 还在回流室3B的内部具有能够开闭的房间（处理室），即减压室5。基板7在工位即各室 2A、2B、3A、3B暂时停下而被处理。减压室5是实施除泡处理的处理室，通过使之成为负压状 态来除去基板7上已熔融的焊料中所包含的气泡。图中符号6表示将各室分隔的分隔壁。 在回流炉1内，作为保护气体，为了防止焊料氧化而供给惰性气体，本实施方式则是供给氮 气。本实施例是用减压室5来构成处理室，但为了防止焊料部分氧化，也可以代之以用氢气 加热的房间。
[0046] 装设有电子零件的印刷配线基板（以下简称为基板）7具有隔着回流炉1的减压 室5而配置在其上游侧的第一基板搬运轨道8、配置在减压室5的下游侧的第二基板搬运轨 道9。第一基板搬运轨道8、第二基板搬运轨道9配置成直线状。第一搬运轨道8、第二搬 运轨道9分别用相互平行且配置成水平状的两根引导部件（后面详述）来构成。第一搬运 轨道8呈水平配置，从炉1的入口 10的跟前位置在炉1内延伸到减压室5的正跟前位置。 第二搬运轨道9则紧接在减压室5之后水平地延伸到比炉1的出口 11更靠下游侧的位置。 基板7的下表面的左右端部被构成第一搬运轨道8的左右的引导部件以及构成第二搬运轨 道9的左右的引导部件支承着而被搬运。
[0047] 在减压室5的内部，在基板7的搬运路径上左右配置着基板支承部件12(参照图 2)。左右的基板支承部件12的主要部分具有断面为大致矩形的形状。左右的基板支承部 件12在彼此相向一侧的上表面的端部具有台阶部，用该台阶部构成了水平的轨道部12a。 通过该左右的轨道部12a、12a来支承基板7的下表面的左右端部。另外，在基板支承部件 12的上表面，与轨道部12a平行地形成了接纳搬运杆32的凹槽13。凹槽13从基板支承部 件12的上表面的一端延伸到另一端。
[0048] 被投入回流炉1的基板7在其上表面的焊接部位被涂了膏状焊料，在该膏状焊料 之上载放着电子零件。所述基板7在炉1内被第一搬运装置14A及第二搬运装置14B间歇 地依次搬运到后续工序。
[0049] S卩，所述基板7被第一搬运装置14A从炉1的入口 10附近运送到第一预热室2A， 在该最初的预热工序中，通过已用加热器15加热的保护气体来实施一定时间的加热。接 着，基板7被第一搬运装置14A送到邻接的第二预热室2B，在该第二预热工序中，通过已用 加热器15加热的保护气体来实施一定时间的加热。接着，基板7被第一搬运装置14A送到 回流室3A。在回流室3A实施回流工序。回流工序通过已用加热器16加热的保护气体对焊 料部实施一定时间的加热来使之熔融。
[0050] 参照图2,在后面的第二回流室3B中仍继续回流工序。在第二回流室3B中设有减 压室5。减压室5由上侧框体5A和下侧基座5B大致构成，下侧基座5B固定配置在回流室 3B内。而上侧框体5A则通过致动器、具体是汽缸装置（图中未示）的作用而可上下移动。 上侧框体5能够下降而成为与下侧基座5B紧密接触的密闭状态（参照图1)。另外，上侧框 体5能够上升而成为相对于下侧基座5B朝上方隔开间隔的打开状态（参照图2)。
[0051] 在减压室5的上侧框体5A位于下侧基座5B的上方而与之隔开间隔的开放状态 下，基板7被第一搬运装置14A从第一回流室3A搬运到第二回流室3B内的减压室5。然 后，减压室5成为密闭状态。密闭状态的减压室5被抽真空。通过该减压工序将基板7上 的膏状焊料除泡。该减压工序实施一定时间。即，通过已用加热器16加热的第二回流室3B 内的保护气体，使基板7的焊料部维持其熔融状态。并且，第二回流室3B内的减压室5在 以打开状态接受了基板7后变为密闭状态。减压室5在密闭状态下用真空泵（图中未示） 来减压，直到形成能将基板7的焊料部除泡的规定的减压环境。通过将减压室5减压来对 基板7的熔融焊料部除泡。
[0052] 减压工序结束后，使减压室5变为打开状态。结束了除泡处理后的基板7被第二 搬运装置14B从第二回流室3B (减压室5)送往冷却室4。冷却室4是用于将基板7冷却的 房间。在该冷却工序中，通过冷却装置17对基板7实施一定时间的冷却，使基板7的焊料 部固化。然后，基板7被第二搬运装置14B从冷却室4通过炉1的出口 11而送到外部。
[0053] 搬运装置14 :
[0054] 以下说明第一搬运装置14及第二搬运装置14B。
[0055] 第一搬运装置14 :
[0056] 首先说明第一搬运装置14A。参照图1、图4、图7,第一搬运杆18配置在减压室5 的上游侧。第一搬运杆18以水平状态配置，能够沿其长度方向往复运动。第一搬运杆18具 有在其长度方向上隔开规定间隔配置的四个推压片19。该推压片19是有别于第一搬运杆 18的另外的部件，但也可以是一体成型件。各推压片19与第一搬运杆18是一体化结构，推 压片19在第一搬运杆18的半径方向上伸出。
[0057] 第一搬运杆18的靠近炉入口 10侧的端部被插入杆支承部件20的支承孔20a中。 第一搬运杆18受杆支承部件20支承而可做绕轴旋转。第一搬运杆18不能相对于杆支承 部件20而在长度方向上变位。杆支承部件20在其外侧面上具有导向部20b。在杆支承部 件20的外侧坚立着支承壁21。杆支承部件20的导向部20b与水平的导向槽21a嵌合。该 导向槽21a形成于支承壁21的内侧面。杆支承部件20能够受导向槽21a引导而沿水平方 向移动。第一搬运杆18不能相对于杆支承部件20在长度方向上变位，因此一旦杆支承部 件20移动，第一搬运杆18便与之一同在炉1内水平地移动，从而能够搬运基板7。
[0058] 在第一搬运杆18沿基板7的搬运方向前行（以下称为"前进"）时，第一搬运杆 18做绕轴旋转，将推压片19 (参照图4)定位在第一搬运轨道8上与基板7的后表面（处于 搬运方向后侧的端面）卡合的位置（以下称为"推压位置"或"卡合位置"）。另一方面，在 第一搬运杆18朝与基板7的搬运方向相反的方向前进（以下称为"后退"）时，第一搬运杆 18做绕轴旋转，将推压片19定位在从基板7向上方退让的位置（以下称为"退让位置"）。 该推压片19在推压位置（卡合位置）与退让位置之间的切换是通过使第一搬运杆18绕轴 旋转规定角度来实现的。
[0059] 使推压片19在卡合位置与退让位置间切换的切换机构：
[0060] 切换机构由与第一搬运杆18的往复运动连动的凸轮机构构成。具体是，切换机构 具有定位在第一搬运杆18的靠近炉入口 10侧的端部上的导向杆22(参照图1及图4)。导 向杆22从第一搬运杆18向下方延伸。切换机构具有与导向杆22关联地配置的导向部件 23 (参照图1、图4?图6)，导向部件23配置在导向杆22的下方。导向部件23具有箱形部 件的主体23a，在箱形的主体23a的上表面形成了导向孔24。从第一搬运杆18伸出的导向 杆22的下端部插入导向孔24中。
[0061] 图5是导向部件23的俯视图，其中图5(a)表示从炉的出口侧看入口侧时的右侧 的导向部件，图5 (b)表不左侧的导向部件。如图5所不，导向孔24由第一导向孔25、第二 导向孔26和连结导向孔27构成，第一导向孔25使第一搬运杆18的推压片19配置在卡合 位置上，第二导向孔26使推压片19配置在退让位置上，连结导向孔27将第一导向孔25、第 二导向孔26这两个导向孔连结。第一导向孔25和第二导向孔26沿着基板7的搬运方向 直线地延伸。并且第一导向孔25、第二导向孔26相互隔开间隔地平行延伸。另外，第一导 向孔25、第二导向孔26在前后、亦即基板搬运方向的前端部及后端部通过上述连结导向孔 27而相互合流。
[0062] 继续参照图5,第一导向孔25的后端（图5中位于上方的一端）通过倾斜地直线 延伸的倾斜连结导向孔27而与第二导向孔26的后端部（图5中位于上方的端部）连结。 另一方面，第一导向孔25的前端部（图5中位于下方的端部）通过倾斜地直线延伸的倾斜 连结导向孔27而与第二导向孔26的前端（图5中位于下方的一端）连结。这样，通过两 个连结导向孔27、27将第一导向孔25、第二导向孔26的前端部及后端部的端部彼此连结， 就形成了闭环的导向孔结构24,该导向孔结构24与被第一导向孔25及第二导向孔26引导 的导向杆22配合动作，构成使推压片19在卡合位置与退让位置之间摆动的凸轮机构。
[0063] 如上所述，推压片19可以位于卡合位置和退让位置。第一导向孔25作为使推压 片19位于卡合位置的凸轮槽发挥作用。位于轨道上的基板7的后端与推压片19卡合，并 且第一搬运杆18做前进动作，由此，基板7受推压片19推压而从一个处理位置搬运到下一 个处理位置。一旦这种搬运结束，第一搬运杆18便后退并返回到原来位置。在该第一搬运 杆18做后退动作时，推压片19被定位在退让位置上。
[0064] 在导向杆22位于第一导向孔25时，推压片19位于卡合位置。另一方面，在导向 杆22位于第二导向孔26时，推压片19位于退让位置。从而，一旦第一搬运杆18的导向杆 22受第一导向孔25引导而前进（图5中箭头A方向），推压片19就被定位在卡合位置上 (参照图3)，从而推着基板7的后表面而使基板7前进。另一方面，当第一搬运杆18的导 向杆22受第二导向孔26引导而后退（图5中箭头B方向）时，推压片19就被定位在基板 7上方的位置、即退让位置（参照图3)，从而避免与基板7干涉。
[0065] 第一搬运杆18为了在前进时使导向杆22受第一导向孔25引导而前进，后退时使 导向杆22受第二导向孔26引导而后退，设有以下结构。
[0066] 如图5及图6所示，在导向部件23的主体23a(图6)的上表面部的背面，在闭环 状的导向孔24的两端部配置了隔断片28。一个隔断片28配置成与第一导向孔25交叉的 状态，另一个隔断片28配置成与第二导向孔25交叉的状态。隔断片28的一个端部固定在 支轴29上。支轴29配置在第一导向孔25与第二导向孔26之间，垂直地贯穿导向部件23 的主体23a而可转动。在导向部件23的主体23a的下表面部的下表面上配置了连杆片30。 连杆片30的一个端部固定在支轴29的下端部，另一个端部则固定在由拉伸弹簧构成的回 动弹簧31的一端上。回动弹簧31的另一端则固定在导向部件23的主体23a的下表面部。
[0067] 如上所述，经过支轴29而与连杆片30连结的隔断片28配置在与导向杆22干涉 的高度位置上，而连杆片30则配置在不与导向杆22干涉的高度位置上。
[0068] 从而，一旦第一搬运杆18前进时，导向杆22受第一导向孔25引导而前进到第一 导向孔25的前端部，导向杆22就与图5的下方所示的第一隔断片28接触。一旦导向杆22 进一步前进，就克服回动弹簧31的弹力而使第一隔断片28转动。并且导向杆22到达第一 导向孔25的前端（图5中位于下方的一端）。而一旦导向杆22通过第一隔断片28,隔断 片28就因回动弹簧31的作用而返回原位置。在该第一搬运杆18的前进工序、即受第一导 向孔25引导而前进到图5中下方的端部为止的工序中，如前所述，推压片19位于卡合位置 (参照图2)。从而推压片19就与基板7卡合而将基板7向一个工序、即邻接的下一道工序 (例如从回流工序向减压工序）推压。
[0069] 然后，一旦第一搬运杆18后退时，导向杆22受第一导向孔25引导而从第一导向 孔25的前端后退（从图5所不的第一导向孔25的下端向上方移动），导向杆22就会与横 穿第一导向孔25的隔断片28碰撞。从图5可知，隔断片28倾斜地横穿第一导向孔25。最 好是，隔断片28的倾斜角度与连结导向孔27的倾斜角度相同。在图5中，一旦从第一导向 孔25的下端向上方移动的导向杆22与隔断片28碰撞，导向杆22就会受该隔断片28的倾 斜的侧边缘引导而进入倾斜连结导向孔27,并且导向杆22经由该连结孔27而向第二导向 孔26移动。
[0070] -旦第一搬运杆18的导向杆22受第二导向孔26引导而后退，导向杆22就与图 5中上方所示的第二隔断片28接触。如果导向杆22进一步后退，就克服图5中上方所示 的回动弹簧31的弹力而使第二隔断片28转动。并且导向杆22到达第二导向孔26的端部 (图5中第二导向孔26的上端）。而一旦导向杆22通过第二隔断片28,隔断片28就因回 动弹簧31的作用而返回原位置。在该第一搬运杆18的后退工序、即受第二导向孔26引导 而后退的第一搬运杆18的后退工序中，如前所述，推压片19位于退让位置（参照图4中虚 线）。从而，推压片19被定位在基板7上方的退让位置上，以避免推压片19与基板7干涉。
[0071] 然后，一旦第一搬运杆18的导向杆22受第二导向孔26引导而前进（在图5中从 第二导向孔26的上端下降），导向杆22就会与横穿第二导向孔26的隔断片28碰撞。从图 5可知，图5中在上方所示的隔断片28倾斜地横穿第二导向孔26。最好是，隔断片28的倾 斜角度与连结导向孔27的倾斜角度相同。在图5中，一旦从第二导向孔26的上端向下方 移动的导向杆22与隔断片28碰撞，导向杆22就会受该隔断片28的倾斜的侧边缘引导而 进入倾斜连结导向孔27,并且导向杆22经由该连结孔27而向第一导向孔25移动。即，导 向杆22受到隔断片28引导而进入连结导向孔27,而该隔断片28具有在导向杆22前进的 方向上倾斜的侧边缘。该连结导向孔27在导向杆22前进的方向上倾斜，受该倾斜的连结 导向孔27引导，导向杆22进入第一导向孔25。以下，反复进行上述的动作。
[0072] 如上所述，利用第一搬运杆18的一次往复动作（前进及后退），就能够将基板7向 一个工序、即下一道工序搬运。不过，倾斜连结导向孔27既可以如上述那样是直线的，也可 以是稍有弯曲的。
[0073] 在第一搬运杆18上固定着与多个工序的各个工序对应的多个推压片19 (图3)。 由此，能够利用第一搬运杆18的一次前进动作将基板7依次送往前方。即，通过第一搬运杆 18将位于与回流炉1的入口 10邻接的位置上的基板7送往最初的预热室2A(预热工序）， 将位于最初的预热室2A的基板7送往下一个预热室2B (预热工序），将位于预热室2B的基 板7送往回流室3A (回流工序），且将位于回流室3A的基板7送往减压室5 (减压工序）。
[0074] 在第一搬运杆18前进时，第一搬运杆18的前端部稍稍进入减压室5中。
[0075] 第二搬运装置14B :
[0076] 以下说明第二搬运装置14B。第二搬运装置14B具有与第一搬运装置14A同样的 结构。即，构成第二搬运装置14B的第二搬运杆32 (参照图1及图7)在回流炉1的内部水 平地配置。第二搬运杆32位于包含减压室5在内的下游侧。第二搬运杆32在其长度方向 上隔开间隔固定着两个推压片19。各推压片19在第二搬运杆32的半径方向上伸出。第二 搬运杆32也与第一搬运杆18同样，受杆支承部件20支承，不能在长度方向上变位但可做 绕轴旋转。杆支承部件20可受支承壁的导向槽引导而做水平移动。从而，第二搬运杆32 能够随着杆支承部件20的变位而在炉1内沿基板7的搬运方向做水平移动。
[0077] 另外，第二搬运杆32也是通过与设于第一搬运杆18的上述切换机构相同的机构， 在第二搬运杆32前进时，第二搬运杆32做绕轴旋转，从而将推压片19定位在对搬运轨道 9上的基板7的后表面进行推压的位置上。第二搬运杆32后退时，第二搬运杆32做绕轴 旋转，从而将推压片19定位在向基板7上方退让的位置（退让位置）。通过第二搬运杆32 的一次往复动作（前进及后退），将基板7向下一道工序搬运。即，第二搬运杆32通过其后 退而进入减压室5中。并且，第二搬运杆32通过其前进动作将位于减压室5中的基板7向 冷却室4 (冷却工序）搬运，并且将位于冷却室4的基板7从炉1的出口 11送到外部。
[0078] 另外，如图4所示，为了能够推压基板7的左右端部，在搬运路径的左右两边设置 一对具有推压片19的第一搬运杆18及切换机构，并且用连结杆34来将坚立在左右的杆支 承部件20的上表面的直立部件33连结，左右的第一搬运杆18能够一同动作。第二搬运杆 32也采用同样的结构。
[0079] 第一搬运杆18、第二搬运杆32的连动机构（图1):
[0080] 以下说明使第一搬运杆18和第二搬运杆32做往复运动（前进、后退）的装置。如 图1所示，在炉1的出口 11侧的外部配设了链式传送带35。链式传送带35沿着基板7的 搬运方向水平地配置。在该链式传送带35的链条部分固定着第二搬运杆32的杆支承部件 20。第一搬运杆18的杆支承部件20和第二搬运杆32的杆支承部件20用连结杆36连结 着。连结杆36配置在减压室5的外侧而贯穿炉1内。
[0081] -旦链式传送带35向着图1中箭头A方向正转规定角度，第一搬运杆18和第二 搬运杆32就前进规定距离（一个工序的量），并且一旦向着图1中箭头B方向反转规定角 度，第一搬运杆18和第二搬运杆32就后退规定距离（一个工序的量）。就这样，通过以规 定角度正反转的链式传送带35,来使第一搬运杆18和第二搬运杆32做规定距离（一个工 序的量）的往复运动。
[0082] 以下参照图3来说明第一搬运装置14A及第二搬运装置14B的动作。图3(A)表 示在各工序中配置基板7、且在各工序中对基板7实施一定时间处理的状态。图3(B)?图 3(D)表示在图3(A)的状态下对基板7实施一定时间的处理后将基板7转移到下道工序的 状态。
[0083] 在图3(C)中，第一搬运杆18和第二搬运杆32处于以下状态。即，第一搬运杆18 的推压片19处于推压位置（卡合位置），且各推压片19在位于回流室3A (回流工序）、预 热室2B (预热工序）、预热室2A (预热工序）以及炉1入口的跟前、即上游侧的各基板7的 上游侧。第二搬运杆32的推压片19处于推压位置（卡合位置），各推压片19配置在减压 室5 (减压工序）及冷却室4 (冷却工序）的各个基板7的跟前。
[0084] 在图3(C)的状态下，一旦链式传送带35正转（图1中箭头A方向），第一搬运杆 18和第二搬运杆32因导向杆22受第一导向孔25引导而前进，即如图3(C)-图3(D)所 示，推压片19将处于各工序的基板7送往下一道工序。
[0085] 即，用第一搬运杆18将配置在炉1的入口 10跟前的基板7送往最初的预热室 2A (预热工序），将配置在最初的预热室2A的基板7送往下一个预热室2B (预热工序），将 配置在预热室2B的基板7送往回流室3A (回流工序），将配置在回流室3A的基板7送往减 压室5 (减压工序）。另外，用第二搬运杆32将配置在减压室5的基板7从减压室5送往冷 却室4(冷却工序），将配置在冷却室4的基板7从炉1的出口 11送出到外部。
[0086] 然后，通过链式传送带35的反转（图1中箭头B方向），使第一搬运杆18和第二 搬运杆32从图3(D)的状态变化为图3(A)的状态。即，一旦第一搬运杆18和第二搬运杆 32后退，导向杆22就受连结导向孔27引导而进入第二导向孔26,且将推压片19置于退让 位置。
[0087] 在图3(A)中，第一搬运杆18和第二搬运杆32处于以下状态。即，第一搬运杆18 和第二搬运杆32被置于减压室5的外侧，各推压片19处于退让位置，各个搬运杆18、32前 头的推压片19被置于减压室5的两侧位置。在此状态下，在各工序对基板7实施一定时间 的处理。
[0088] 在图3(A)的状态下，一旦在各工序对基板7实施了一定时间的处理，就利用链式 传送带35的反转使第一搬运杆18和第二搬运杆32后退，从图3 (A)变化为图3 (B)的状态。 艮P，第一搬运杆18和第二搬运杆32处于因导向杆22受第二导向孔26引导而同时将推压 片19置于退让位置的状态，后退大致一个工序的量。
[0089] 在图3(B)中，第一搬运杆18和第二搬运杆32处于以下状态。即，第一搬运杆18 的推压片19处于退让位置，且各推压片19在位于回流室3A (回流工序）、预热室2B (预热 工序）、预热室2A(预热工序）以及炉1入口跟前位置的各基板7的跟前。第二搬运杆32 的推压片19处于退让位置（卡合位置），各推压片19定位在减压室5 (减压工序）及冷却 室4 (冷却工序）的各个基板7的后端侧。
[0090] 然后，通过链式传送带35的正转,使第一搬运杆18和第二搬运杆32从图3 (B)的 状态向图3(C)的状态变化。即，一旦第一搬运杆18和第二搬运杆32前进，导向杆22就受 连结导向孔27引导而进入第一导向孔25,并将推压片19置于推压位置（卡合位置），且向 图3(C)的状态变化。并且在图3(C)的状态下重复上述动作，从而利用第一搬运杆18和第 二搬运杆32的一次往复动作（前进及后退）将基板7送往下一道工序，一次送往一道工序， 且在各工序中对基板7实施一定时间的处理。
[0091] 在减压室5中，通过第一搬运装置14A将基板7搬入减压室5,通过第二搬运装置 14B将基板7搬出减压室5。
[0092] 从而，通过第一搬运装置14A及第二搬运装置14B将装设有电子零件的印刷配线 基板7从炉1的入口 10的上游侧位置依次沿着包含炉1内的减压工序在内的各道工序搬 运，且在各工序中实施一定时间的处理，再将完成了电子零件焊接的基板7从炉1的出口 11 向炉外搬出。
[0093] 第一搬运杆18和第二搬运杆32的动作是通过按预先设定的顺序来控制链式传送 带35的驱动马达来实施的。
[0094] 减压室5的左右的轨道部12a、12a间的间隔调节：
[0095] 参照图2,在配置于减压室5内部的左右的基板支承部件12中，一个基板支承部 件12A固定在下侧基座5B上。另一个基板支承部件12则固定在滑块50上。滑块50通过 在下侧基座5B上形成的两根导杆52而能够移动。其移动方向与基板7的搬运方向正交。 艮P，另一个基板支承部件12B能够在横穿基板7的搬运方向上变位，即能够接近或远离一个 基板支承部件12A。从而，通过使另一个基板支承部件12B移动，能够调节左右的基板支承 部件12A、12B间的间隔。
[0096] 关于减压室5的左右的基板支承部件12A、12B间的间隔调节，即减压室5的左右 的轨道部12a、12a的间隔调节，是在对位于减压室5的上游侧的第一搬运轨道8及位于减 压室5的下游侧的第二搬运轨道9的间隔进行调节之际进行的。轨道的间隔调节（一对轨 道间的间距调节）在为了处理宽度尺寸不同的基板7而设置的准备阶段进行。
[0097] 第一基板搬运轨道8的宽度调节：
[0098] 图8表示构成第一搬运轨道8的上游侧引导部件60。上游侧引导部件60具有与 上述减压室5的基板支承部件12实质相同的结构。即，在上游侧引导部件60中，一个上游 侧引导部件60A固定在下侧基座62上。另一个上游侧引导部件60B则固定在滑块64上。 滑块64则通过在下侧基座62上形成的两根导杆66而能够移动。其移动方向是与基板7的 搬运方向正交的方向、即基板7的宽度方向。即，另一个上游侧引导部件60B能够在横穿基 板7的搬运方向的方向、即基板7的宽度方向上变位。换言之，另一个上游侧引导部件60B 能够接近或远离一个上游侧引导部件60A。从而，通过使另一个上游侧引导部件60B移动， 就能够调节左右的上游侧引导部件60A、60B的间隔。当然，也可以使左右的上游侧引导部 件60A、60B变位从而相互接近或远离。
[0099] 左右的上游侧引导部件60A、60B在互为相向的上表面端部形成了台阶，通过该台 阶来形成沿着搬运路径延伸的水平的轨道部60a，用这些轨道部60a、60a来支承基板7下表 面的左右端部。S卩，左右的轨道部60a、60a实质构成了第一基板搬运轨道8。另外，在上游 侧引导部件60A、60B的上表面，沿着基板7的搬运路径且在上游侧引导部件60A、60B的全 长上形成了用于接纳第一搬运杆18的凹槽68。插入凹槽68中的第一搬运杆18能够在其 长度方向上变位，但不能在横向上变位。
[0100] 第二基板搬运轨道9的宽度调节：
[0101] 图9表示构成第二搬运轨道9的下游侧引导部件70。下游侧引导部件70具有与 上述减压室5的基板支承部件12及上游侧引导部件60实质相同的结构。即，在下游侧引 导部件70中，一个下游侧引导部件70A固定在下侧基座72上。另一个下游侧引导部件70B 则固定在滑块74上。滑块74则通过在下侧基座72上形成的两根导杆76而能够移动。其 移动方向是与基板7的搬运方向正交的方向、即基板7的宽度方向。即，另一个下游侧引导 部件70B能够在横穿基板7的搬运方向的方向、即基板7的宽度方向上变位。换言之，另一 个下游侧引导部件70B能够接近或远离一个下游侧引导部件70A。从而，通过使另一个下游 侧引导部件70B移动，就能够调节左右的下游侧引导部件70A、70B的间隔。当然，也可以使 左右的下游侧引导部件70A、70B变位从而相互接近或远离。
[0102] 左右的下游侧引导部件70A、70B在互为相向的上表面端部形成了台阶，通过该台 阶来形成沿着搬运路径延伸的水平的轨道部70a，用左右的轨道部70a、70a来支承基板7下 表面的左右端部。S卩，左右的轨道部70a、70a构成了第二基板搬运轨道9。另外，在下游侧 引导部件70A、70B的上表面，沿着基板7的搬运路径且在下游侧引导部件70A、70B的全长 上形成了用于接纳第二搬运杆32的凹槽78。插入凹槽78中的第二搬运杆32能够在其长 度方向上变位，但不能在横向上变位。
[0103] 在要对宽度尺寸不同的基板7实施回流处理时，作为处理开始前的准备，要对分 别构成第一基板搬运轨道8、第二基板搬运轨道9的左右的引导部件60、70的宽度进行调 节。即，配置在减压室5的前后的第一基板搬运轨道8、第二基板搬运轨道9能够根据基板7 的宽度尺寸来改变左右的引导部件之间的间距、即第一基板搬运轨道8、第二搬运轨道9的 宽度尺寸。并且，减压室5内的左右一对的基板支承部件12A、12B(左右的轨道部12a)的 间距随之得到调节。关于这一点将在后面说明。
[0104] 在左右成对的两根第一搬运杆18中，一个第一搬运杆18能够沿基板7的宽度方 向移动。另一个第一搬运杆18则位置固定。同样，在左右成对的两根第二搬运杆32中，位 于与上述可动的一个第一搬运杆18相同侧的一个第二搬运杆32能够沿基板7的宽度方向 移动。位于与上述固定的另一个第一搬运杆18相同侧的另一个第二搬运杆32则位置固定。
[0105] 第一搬运杆18、第二搬运杆32向基板7的宽度方向移动的移动机构：
[0106] 以下说明使第一搬运杆18和第二搬运杆32沿基板7的宽度方向移动的机构、亦 即使第一搬运杆18和第二搬运杆32沿横穿基板搬运路径的方向移动的机构。
[0107] 参照图7,在支承第一搬运杆18的左右的支承壁21上贯穿安装了进给螺杆37。 在进给螺杆37外周的一部分形成了阳螺纹37a.该阳螺纹37a与在一个支承壁（可动支承 壁）21A上形成的阴螺纹孔21b螺纹结合。进给螺杆37上没有螺纹的部分则支承在另一个 支承壁（位置固定支承壁）21B上所形成的通孔中而可旋转。进给螺杆37在左右的支承壁 21之间沿着基板7的搬运路径而隔开间隔地前后设置一对。一个驱动用的进给螺杆37受 电动机（图中未示）驱动而旋转。在一对进给螺杆37的一端部分别安装了链轮38,且在它 们之间悬挂链条39。
[0108] 在支承第二搬运杆32的左右的支承壁21A、21B之间，也与第一搬运杆18的情况 一样，设置了前后一对的进给螺杆37,且在链轮38之间悬挂了链条39。
[0109] 在第一搬运杆18侧的从动用的进给螺杆37和第二搬运杆32的一个进给螺杆37 的另一端部，分别安装了链轮40,且在它们之间悬挂链条41。
[0110] 从而，一旦第一搬运杆18侧的驱动用的进给螺杆37受电动机驱动而旋转，通过链 条传动就会使另一个进给螺杆37旋转，同时第二搬运杆32侧的一对进给螺杆37也受驱动 而旋转。由此使可动支承壁21A沿基板7的宽度方向变位，从而改变其与位置固定支承壁 21B之间的间隔。此处的传动装置是用链条传动，当然也不限于这种结构。
[0111] 如上所述，一旦第一搬运杆18侧的进给螺杆37及第二搬运杆32侧的进给螺杆37 旋转，与第一搬运杆18关联的可动支承臂21A和与第二搬运杆32关联的可动支承臂21A 就沿着基板7的宽度方向变位。由此就能够调节左右的第一搬运杆18的间隔以及左右的 第二搬运杆32的间隔。
[0112] 参照图4,在设置于左右的杆支承部件20上的左右的坚立部件33A、33B之间，设有 连结杆34,连结杆34的一端部固定在一个坚立部件33B上，连结杆34的另一端部则有间隙 地嵌合在另一个坚立部件33A上，该另一个坚立部件33A与连结杆34能够相对移动。
[0113] 分别构成第一基板搬运轨道8、第二基板搬运轨道9的左右的轨道部60a、60a、 70a、70a之间的间隔调节：
[0114] 如上所述，实质构成第一搬运轨道8的左右的上游侧引导部件60A、60B能够进行 间隔调节。并且在该左右的上游侧引导部件60A、60B上分别形成了轨道部60a，同时形成了 接纳第一搬运杆18的凹槽68。
[0115] 同样，实质构成第二搬运轨道9的左右的下游侧引导部件70A、70B能够进行间隔 调节。并且在该左右的下游侧引导部件70A、70B上分别形成了轨道部70a，同时形成了接纳 第二搬运杆32的凹槽78。
[0116] 从而，一旦对第一搬运杆18的宽度、即成对的两个第一搬运杆18、18的间隔进行 调节，成对的两个第一搬运轨道8、8的间隔随之得到调节。另外，一旦对两个第二搬运杆 32、32的间隔进行调节，成对的两个第二搬运轨道9、9的间隔随之得到调节。
[0117] 并且，由于第一搬运杆18和第二搬运杆32是相互连动的，因此，第一基板搬运轨 道8、8的间隔调节（第一基板搬运轨道8的宽度调节）与两个第二基板搬运轨道9、9的间 隔调节（第二基板搬运轨道9的宽度调节）相互连动地进行。
[0118] 作为一种变形例，也可以设置用于调节第一基板搬运轨道8、8间的间隔的驱动机 构，并且设置用于调节第二基板搬运轨道9、9间的间隔的驱动机构，随着这些驱动机构的 动作来进行第一搬运杆18、18间的间隔调节以及第二搬运杆32、32间的间隔调节。
[0119] 减压室5的左右的轨道部12a、12a间的间隔调节顺序：
[0120] 作为对宽度不同的基板7进行处理之前的准备工作，要按照即将处理的基板7的 宽度，以下面的顺序来进行第一基板搬运轨道8、第二基板搬运轨道9的宽度调节以及减压 室5的轨道部12a的宽度调节。
[0121] (1)将第一搬运杆18定位在后退位置上（图10(1))。
[0122] (2)将第二搬运杆32定位在后退位置上。在使第二搬运杆32后退的状态下，成为 第二搬运杆32的后端部进入减压室5中的状态（图10 (I))。
[0123] (3)进行第一搬运杆18、第二搬运杆32的宽度调节。通过该第一搬运杆18、第二 搬运杆32的宽度调节来完成第一基板搬运轨道8、第二基板搬运轨道9的宽度调节（图 10(11))。
[0124] (4)通过上述（3)中包含的第二搬运杆32的宽度调节，使减压室5的左右的轨道 部12a、12a间的间隔随着该宽度调节而得到调节。
[0125] (5)将第一搬运杆18、第二搬运杆32定位在待机位置上。
[0126] 在回流炉1正常运行时减压室5的左右的轨道部12a、12a间的间隔调节：
[0127] 在搬运基板7的过程中，如上所述，一旦第一搬运杆18前进，就稍稍进入减压室5。 另外，一旦第二搬运杆32后退,就进入减压室5。从而，在回流炉1运行过程中，减压室5的 左右的轨道部12a、12a(基板支承部件12A、12B)的间隔始终通过第一搬运杆18、第二搬运 杆32调节成正规的间隔。
[0128] 以上说明了实施例的回流炉1。实施例1的回流炉1在减压室5内只在基板支承 部件12上形成了凹槽13,因此减压室5内的结构简单，还容易维护。而且能够缩小减压室 5的尺寸，因此能够缩短形成减压环境的时间。
[0129] 在上述实施方式中，对于隔着减压室5而位于上游侧的第一搬运杆18和位于下游 侧的第二搬运杆32，是用一个链式传送带35使它们一起运动，但也可以对第一搬运杆18和 第二搬运杆32分别实施驱动。
[0130] 在对第一搬运杆18和第二搬运杆32分别实施驱动时，也可以通过第一搬运杆18 来调节减压室5内的轨道部12a、12a(基板支承部件12A、12B)的间隔。
[0131] 即，第一搬运杆18和第二搬运杆32的杆支承部件20彼此不用连结杆连结，而是 分离，且将驱动第一搬运杆18的链式传送带设在炉1的入口侧，将驱动第二搬运杆32的链 式传送带设在炉1的出口侧即可。
[0132] 在上述实施方式中，是用导向孔24对切换机构的导向杆22进行引导，但不限于 此。例如也可以用导向槽来进行。另外，能够在推压位置和退让位置间切换的推压部件的 切换机构不限于上述实施方式所示的结构。
[0133] 在上述实施方式中，采用第一搬运装置14A具有左右的第一搬运杆18、第二搬运 装置14B具有左右的第二搬运杆32的结构，但也可以是第一搬运杆18及第二搬运杆32各 自用一根杆来构成。
[0134] 在上述实施方式中，使第一搬运杆18及第二搬运杆32往复运动的驱动装置采用 了链式传送带，但不限于这种结构。
[0135] 在上述实施方式中，通过调节第一搬运杆18及第二搬运杆32的宽度来调节第一 基板搬运轨道8和第二基板搬运轨道9的宽度，但也可以设置对第一基板搬运轨道8和第 二基板搬运轨道9的宽度直接进行调节的机构。
[0136] 在上述实施方式中，使左右的第一搬运杆18、左右的第二搬运杆32以及左右的基 板支承部件12中的一方能够相对于另一方在基板7的宽度方向上移动，但也可以是一对部 件都能在基板7的宽度方向移动。
[0137] 在上述实施方式中，将减压室设置在回流室的内部，但也可以将减压室配置于基 板搬运路径的中途（不同于回流室的另外部位）。
[0138] 另外，在上述实施方式中，使用氮气来作为炉内的气体，但气体不限于氮气。例如 有时使用空气。
[0139] 本发明不限于对基板上的电子零件进行焊接的回流炉。本发明是一种热处理装 置，在搬运被处理物（工件）的搬运路径上具有处理部。处理部在工件的搬运停止的状态 下对工件实施处理。也可以用能开闭的房间来构成这种处理部。处理室的开闭可以用门来 开闭，也可以如上述实施例那样使上侧框体（第一框体）与下侧框体（第二框体）相对地 远离或接近，由此形成打开状态和关闭状态。
[0140] 关于处理部，可以是譬如处理部具有转盘，用该转盘在水平面内改变工件的方向。 另外，俯视时，设在上述搬运路径上的处理部可以从该搬运路径向着沿横向离开的方向移 动。
【权利要求】
1. 一种热处理装置，在搬运被处理物的搬运路径上具有处理部，其特征在于，具有： 搬运杆，该搬运杆配置在所述搬运路径上，且能够为了搬运所述被处理物而往复运动； 以及 支承部件，该支承部件隔开配置在所述处理部的左右，且用于支承所述被处理物， 左右的所述支承部件中的至少一个支承部件能够沿所述搬运路径的横向移动， 该能够移动的支承部件具有能供所述搬运杆插入的第一槽， 在将所述搬运杆插入该第一槽的状态下，使该搬运杆沿着所述搬运路径的宽度方向变 位，来调节所述处理部的左右的所述支承部件间的间隔。
2. 如权利要求1所述的热处理装置，其特征在于， 所述搬运杆具有与所述被处理物卡合的推压部件， 所述热处理装置还具有切换机构，该切换机构使所述搬运杆以其轴线为中心做正向或 反向的绕轴旋转， 通过使该切换机构动作，能使所述推压部件位于与所述被处理物卡合的卡合位置和从 所述被处理物离开的退让位置。
3. 如权利要求2所述的热处理装置，其特征在于， 所述切换机构由与所述搬运杆的往复运动连动而使该搬运杆做正向或反向的绕轴旋 转的凸轮机构构成。
4. 如权利要求1所述的热处理装置，其特征在于， 在使所述热处理装置动作且用所述搬运杆来搬运所述被处理物时，所述搬运杆被插入 所述第一槽。
5. 如权利要求1所述的热处理装置，其特征在于， 所述处理部由能开闭的房间构成， 在所述房间打开的状态下使所述被处理物进出， 在所述房间关闭的状态下对所述被处理物实施加热处理。
6. 如权利要求5所述的热处理装置，其特征在于， 所述能开闭的房间由相对远离和接近的第一框体、第二框体这两个框体构成， 通过该第一框体、第二框体的相对接近，使所述房间成为关闭状态， 通过所述第一框体、第二框体的相对远离，使所述房间成为打开状态。
7. 如权利要求1所述的热处理装置，其特征在于， 所述搬运路径由左右隔开配置且用于支承所述被处理物的搬运轨道部件构成， 该左右的搬运轨道部件中的至少一方能够在所述搬运路径的宽度方向上移动， 在能移动的搬运轨道部件上形成有第二槽， 所述搬运杆配置在该第二槽中且能往复运动。
8. 如权利要求1所述的热处理装置，其特征在于， 所述搬运路径具有隔着所述处理部而位于上游侧的上游侧搬运路径和位于所述处理 部的下游侧的下游侧搬运路径， 所述搬运杆具有配置在所述上游侧搬运路径上的第一搬运杆和配置在所述下游侧搬 运路径上的第二搬运杆， 在将所述第一搬运杆、第二搬运杆中的任一方插入所述第一槽的状态下使之沿所述搬 运路径的宽度方向变位，由此来调节所述处理部内的左右的所述支承部件间的间隔。
9. 如权利要求8所述的热处理装置，其特征在于， 所述热处理装置是回流炉， 所述处理部由减压室构成。
10. -种热处理装置，在搬运被处理物的搬运路径上具有使所述被处理物暂时停止的 工位，其特征在于，具有 ： 搬运杆，该搬运杆配置在所述搬运路径上，且能够为了搬运所述被处理物而往复运动； 以及 支承部件，该支承部件隔开配置在该工位的左右，且用于支承所述被处理物， 左右的所述支承部件中的至少一个支承部件能够沿所述搬运路径的横向移动， 该能够移动的支承部件具有能供所述搬运杆插入的第一槽， 在将所述搬运杆插入该第一槽的状态下，使该搬运杆沿着所述搬运路径的宽度方向变 位，来调节所述工位的左右的所述支承部件间的间隔。
【文档编号】H05K3/34GK104115573SQ201280064390
【公开日】2014年10月22日 申请日期:2012年12月25日 优先权日:2011年12月26日
【发明者】横田八治 申请人:有限会社横田技术