技术编号：8081588
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。专利摘要MOCVD内置吸尘器，由缓冲箱、过滤网、手套箱、控制开关、吸尘器管、缓冲底座、集尘箱、抽真空管组成，其特征是手套箱的一端设置控制开关，手套箱的另一端下侧设置抽真空管，手套箱的内部下侧设置缓冲底座，缓冲底座上设置集尘箱，集尘箱的上端设置缓冲箱，缓冲箱的下侧设置过滤网，集尘箱的两侧分别设置吸尘器管，本实用新型的有益效果是MOCVD内置吸尘器滤网不易堵塞，清洗效率较高，维护使用成本较低，使用寿命较长。专利说明MOCVD内置吸尘器技术领域[0001]本实用新型属于晶体生长设备技术领域，更具体的说是一种MOCVD内置...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。