Mocvd内置吸尘器的制造方法
【专利摘要】MOCVD内置吸尘器，由缓冲箱、过滤网、手套箱、控制开关、吸尘器管、缓冲底座、集尘箱、抽真空管组成，其特征是手套箱的一端设置控制开关，手套箱的另一端下侧设置抽真空管，手套箱的内部下侧设置缓冲底座，缓冲底座上设置集尘箱，集尘箱的上端设置缓冲箱，缓冲箱的下侧设置过滤网，集尘箱的两侧分别设置吸尘器管，本实用新型的有益效果是MOCVD内置吸尘器滤网不易堵塞，清洗效率较高，维护使用成本较低，使用寿命较长。
【专利说明】MOCVD内置吸尘器
【技术领域】
[0001]本实用新型属于晶体生长设备【技术领域】，更具体的说是一种MOCVD内置吸尘器。【背景技术】
[0002]目前，设备厂商制造的MOCVD设备中一般均设置有手套箱，手套箱内的清洁机采用的是鼓风机，以带动手套箱内气体流动，进入循环回路，手套箱出气口位置设置滤网，可滤掉循环气体中的微颗粒，起到清洁作用，但由于现有技术的鼓风机功率较小，清洁效率较低，而且，滤网极易堵塞，导致造成鼓风机的吸力大幅衰减，滤网需要频繁更换，使得作业时间延长，影响机器生产性能。
【发明内容】
[0003]为了解决上述问题，本实用新型提供了一种滤网不易堵塞、清洗效率较高、维护使用成本较低、使用寿命较长的MOCVD内置吸尘器，其具体方案为:所述的MOCVD内置吸尘器由缓冲箱、过滤网、手套箱、控制开关、吸尘器管、缓冲底座、集尘箱、抽真空管组成，其特征是手套箱的一端设置控制开关，手套箱的另一端下侧设置抽真空管，手套箱的内部下侧设置缓冲底座，缓冲底座上设置集尘箱，集尘箱的上端设置缓冲箱，缓冲箱的下侧设置过滤网，集尘箱的两侧分别设置吸尘器管。
[0004]本实用新型所述的缓冲底座，其特征在于缓冲底座的材质采用橡胶、发泡塑料的一种。
[0005]本实用新型的有益效果是MOCVD内置吸尘器滤网不易堵塞，清洗效率较高，维护使用成本较低，使用寿命较长。
【专利附图】
【附图说明】
[0006]附图1是本实用新型的结构示意图；附图1中:
[0007]1.缓冲箱，2.过滤网，3.手套箱，4.控制开关，5.吸尘器管，6.缓冲底座，7.集尘
箱，8.抽真空管。
【具体实施方式】
[0008]结合附图1对本实用新型进一步详细描述，以便公众更好地掌握本实用新型的实施方法，本实用新型具体的实施方案为:所述的MOCVD内置吸尘器由缓冲箱1、过滤网2、手套箱3、控制开关4、吸尘器管5、缓冲底座6、集尘箱7、抽真空管8组成，其特征是手套箱3的一端设置控制开关4，手套箱3的另一端下侧设置抽真空管8，手套箱3的内部下侧设置缓冲底座6，缓冲底座6上设置集尘箱7，集尘箱7的上端设置缓冲箱1，缓冲箱I的下侧设置过滤网2，集尘箱7的两侧分别设置吸尘器管5。
[0009]本实用新型所述的缓冲底座6，其特征在于缓冲底座6的材质采用橡胶、发泡塑料的一种。[0010]本实用新型的有益效果是MOCVD内置吸尘器滤网不易堵塞，清洗效率较高，维护使用成本较低，使用寿命较长。
【权利要求】
1.MOCVD内置吸尘器，由缓冲箱(I)、过滤网(2)、手套箱(3)、控制开关(4)、吸尘器管(5)、缓冲底座(6)、集尘箱(7)、抽真空管(8)组成，其特征是手套箱(3)的一端设置控制开关(4)，手套箱(3)的另一端下侧设置抽真空管(8)，手套箱(3)的内部下侧设置缓冲底座(6)，缓冲底座(6)上设置集尘箱(7)，集尘箱(7)的上端设置缓冲箱(1)，缓冲箱(I)的下侧设置过滤网(2)，集尘箱(7)的两侧分别设置吸尘器管(5)。
2.根据权利要求1所述的MOCVD内置吸尘器，其特征在于缓冲底座(6)的材质采用橡胶、发泡塑料的一种。
【文档编号】C30B25/14GK203474962SQ201320559697
【公开日】2014年3月12日 申请日期:2013年9月10日 优先权日:2013年9月10日
【发明者】赵海标, 王新阳, 陈建荣 申请人:冠铨（山东）光电科技有限公司