技术编号:8087916
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。专利摘要本实用新型涉及单晶炉装置技术领域,特别涉及单晶炉放气阀。利用阀座出气截面之内周面向内凸设有一环形凸缘,环形凸缘具有一朝向出气端的密封面;所述密封顶针之周面上套设有一与环形凸缘相匹配的密封圈;阀座外周面上设有凸起的台阶,放气阀螺母侧壁设有限位部件伸入台阶下;增加了出气阀的密封效果。专利说明单晶炉放气阀技术领域[0001]本实用新型涉及单晶炉装置技术领域,特别涉及单晶炉放气阀。背景技术[0002]单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。其...
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