单晶炉放气阀的制作方法
【专利摘要】本实用新型涉及单晶炉装置【技术领域】，特别涉及单晶炉放气阀。利用阀座出气截面之内周面向内凸设有一环形凸缘，环形凸缘具有一朝向出气端的密封面；所述密封顶针之周面上套设有一与环形凸缘相匹配的密封圈；阀座外周面上设有凸起的台阶，放气阀螺母侧壁设有限位部件伸入台阶下；增加了出气阀的密封效果。
【专利说明】单晶炉放气阀
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及单晶炉装置【技术领域】，特别涉及单晶炉放气阀。
【背景技术】
[0002]单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备。其中生产出的而单晶硅又是光伏发电和半导体行业中的基础原料。单晶硅目前世界上最重要的单晶材料之一，它不但是集成电路的主要材料，更是太阳能电池的的主要材料。因此单晶炉的质量好坏直接关系着晶硅的质量。现有的单晶硅的放气装置是直接将密封螺母密封后，放气时直接将螺母旋下进行放气，这种放气装置容易发生惰性气体的泄漏，印象惰性气体的质量。
实用新型内容
[0003]本实用新型的目的是提供一种提高放气装置密封率的单晶炉放气阀。
[0004]实现本实用新型的技术方案如下:
[0005]单晶炉放气阀，包括固定在放气管上的阀座以及设于阀座外部的放气阀螺母，以及设置在放气阀螺母内的密封顶针，密封顶针插入阀座的内孔内，所述阀座出气截面之内周面向内凸设有一环形凸缘，环形凸缘具有一朝向出气端的密封面；所述密封顶针之周面上套设有一与环形凸缘相匹配的密封圈；阀座外周面上设有凸起的台阶，放气阀螺母侧壁设有限位部件伸入台阶下。
[0006]所述密封面采用倾斜面。增加密封性能。
[0007]所述的限位部件为螺栓，放气阀螺母侧壁上设有螺纹孔，螺栓与螺纹孔配合，螺栓头端伸入台阶下进行限位。方便拆卸。
[0008]所述密封顶针顶端侧壁设有弹性凸起，阀座的内孔中设有与弹性凸起配合的凹槽。增加密封性能。
[0009]所述密封圈的外径介于环形凸缘的倾斜密封面的最大直径和最小直径之间。这个范围内密封效果最佳。
[0010]本实用新型的有益效果是:利用套设在密封顶针之周面上的密封圈位于阀座出气截面之内周面的环形凸缘内，提高了单晶炉的放气密封性，提高了单晶硅的产品质量，降低了生成成本。
【专利附图】
【附图说明】
[0011]通过下面结合附图的详细描述，本实用新型前述的和其他的目的、特征和优点将变得显而易见。
[0012]其中:图1为本实用新型第一种实施方式结构示意图；
[0013]图2为本实用新型第一种实施方式结结构示意图；
[0014]附图中，I为放气阀螺母，2为密封顶针，3为出气截面，4为环形凸缘，5为密封圈，6为台阶，7为限位部件,8为螺栓,9为弹性凸起，10为凹槽,11为阀座。
【具体实施方式】
[0015]本实用新型第一种实施方式，参见图1所示，单晶炉放气阀，包括固定在放气管上的阀座11以及设于阀座外部的放气阀螺母1，以及设置在放气阀螺母内的密封顶针2，密封顶针2插入阀座11的内孔内，所述阀座出气截面3之内周面向内凸设有一环形凸缘4，环形凸缘4具有一朝向出气端的密封面；所述密封顶针2之周面上套设有一与环形凸缘4相匹配的密封圈5 ;阀座外周面上设有凸起的台阶6，放气阀螺母侧壁设有限位部件7伸入台阶6下；所述的限位部件为螺栓8，放气阀螺母侧壁上设有螺纹孔，螺栓与螺纹孔配合，螺栓头端伸入台阶下进行限位。由于设置了一个与密封圈5相适配的环形凸缘4，当密封圈在环形凸缘内移动时，密封效果好；通过螺栓与螺纹孔配合实现将放气阀螺母固定在阀座上。
[0016]本实用新型第二种实施方式，参见图2所示，所述阀座的出气截面面积沿放气阀螺母滑动方向渐变。该渐变和气流气压配合能够实现流量调节；并且所述阀座的出气截面面积沿放气阀螺母滑动方向渐变大。由于，出气通道的出气截面面积沿放气阀螺母滑动方向渐变大，使得出气截面面积和放气阀螺母的横截面面积之差逐渐变大。能够保证排气量均匀，实现稳定的调节作用。
[0017]优选的，所述密封面采用倾斜面，以增加密封性能。
[0018]优选的，所述密封顶针顶端侧壁设有弹性凸起9，阀座的内孔中设有与弹性凸起9配合的凹槽10。增加密封性能。
[0019]优选的，所述密封圈的外径介于环形凸缘的倾斜密封面的最大直径和最小直径之间。在该范围内密封效果好。
[0020]优选的，所述密封圈采用柔性密封，密封效果好。
【权利要求】
1.单晶炉放气阀，包括固定在放气管上的阀座以及设于阀座外部的放气阀螺母，以及设置在放气阀螺母内的密封顶针，密封顶针插入阀座的内孔内，其特征在于，所述阀座出气截面之内周面向内凸设有一环形凸缘，环形凸缘具有一朝向出气端的密封面；所述密封顶针之周面上套设有一与环形凸缘相匹配的密封圈；阀座外周面上设有凸起的台阶，放气阀螺母侧壁设有限位部件伸入台阶下。
2.根据权利要求1所述的单晶炉放气阀，其特征在于，所述密封面采用倾斜面。
3.根据权利要求1所述的单晶炉放气阀，其特征在于，所述的限位部件为螺栓，放气阀螺母侧壁上设有螺纹孔，螺栓与螺纹孔配合，螺栓头端伸入台阶下进行限位。
4.根据权利要求1所述的单晶炉放气阀，其特征在于，所述密封顶针顶端侧壁设有弹性凸起，阀座的内孔中设有与弹性凸起配合的凹槽。
5.根据权利要求2所述的单晶炉放气阀，其特征在于，所述密封圈的外径介于环形凸缘的倾斜密封面的最大直径和最小直径之间。
【文档编号】C30B15/00GK203715783SQ201320822653
【公开日】2014年7月16日 申请日期:2013年12月12日 优先权日:2013年12月12日
【发明者】潘燕萍 申请人:常州市天龙光电设备有限公司