技术编号：8089988
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。专利摘要本发明以简单的工艺且高生产量提供一种微细图案转印用模具，该模具适合制造衍射光栅等具有凹凸结构的基板。一种微细图案转印用模具的制造方法，其包括以下工序涂布工序，在基材的表面上涂布包含嵌段共聚物与聚环氧烷的溶液；溶剂相分离工序，使嵌段共聚物在有机溶剂蒸气的存在下相分离，从而得到在表面上具有凹凸结构且内部为水平圆筒结构的嵌段共聚物膜；层叠工序，通过电铸层叠金属层；以及剥离工序，将具有所述凹凸结构的基材从所述金属层剥离。专利说明微细图案转印用模具的制造方法以及使用该模具的具有凹 凸结构的基板的制造方法、以及具备具有...
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