技术编号：8095553
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域硅单晶炉生长晶体实时称重装置魷綱本实用新型属于一种硅单晶炉生长晶体实时称重装置。 冑辦*单晶硅炉主要用于生产硅半导体材料，单晶硅炉包括硅半导体材料生长合成的 主炉室、位于主炉室上端的硅籽晶提升结构和电控自动系统。单晶硅炉的硅籽晶提 升结构采用软轴，软轴为钢丝绳,穿过箱体的传动轴内的花键轴上设有绕丝轮，绕丝 轮和轴接在箱体内的压套轮相交,与两轮相交点对应箱体的压盖上设有带阻尼套的 进线口，钢丝绳一端接在绕丝轮上，另一端穿过带阻尼套的进线口连接位于主炉室 内的重锤，电机通过减速箱带动传动轴转动。重锤则用于提升炉...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。