专利名称：硅单晶炉生长晶体实时称重装置的制作方法
技术领域：
硅单晶炉生长晶体实时称重装置魷綱本实用新型属于一种硅单晶炉生长晶体实时称重装置。 冑辦*单晶硅炉主要用于生产硅半导体材料，单晶硅炉包括硅半导体材料生长合成的 主炉室、位于主炉室上端的硅籽晶提升结构和电控自动系统。单晶硅炉的硅籽晶提 升结构采用软轴，软轴为钢丝绳,穿过箱体的传动轴内的花键轴上设有绕丝轮，绕丝 轮和轴接在箱体内的压套轮相交,与两轮相交点对应箱体的压盖上设有带阻尼套的 进线口，钢丝绳一端接在绕丝轮上，另一端穿过带阻尼套的进线口连接位于主炉室 内的重锤，电机通过减速箱带动传动轴转动。重锤则用于提升炉中钳锅内高温熔化 的硅晶并使其向上逐渐结晶形成柱状硅晶体。硅晶质量很大程度上取决于炉膛的真 空度和清洁度,为保持炉膛的清洁度通常应使炉膛密封或尽量少的接触空气。对生 长的硅晶体要求实时监控其重量，是控制硅晶体合格率的有效保证。但传统的监控 硅晶体重量的方法是单晶硅炉外用目测方式通过测量其直径进行推算，十分不准 确，不能达到实时监控其重量的要求，从而使生产出的硅晶体质量很差,造成产品 正品率低。 糊鴨本实用新型的目的是设计一种硅单晶炉生长晶体实时称重装置，能对生长的 硅晶体的重量进行实时监控，使对硅晶测重时仍保持炉膛的高温和抽真空状态，可 大幅度提高硅晶体合格率和质量，达到理想的使用效果。为此，本实用新型采用在绕 丝轮上端，或侧边设有称重轮，称重轮通过称重传感器的传感头与位于绕线箱体上 端的称重罩连接，钢丝绳一端绕过称重轮上端后向下与重锤上端连接，钢丝绳另一 端固定在绕丝轮上；在绕丝轮上端，或侧边设有称重轮，称重轮与位于绕线箱体上 端的称重罩轴接，称重传感器的传感头位于绕线箱体与称重罩之间，.钢丝绳一端绕 过称重轮上端后向下与重锤上端连接，钢丝绳另一端固定在绕丝轮上。上述结构达. 到了本实用新型的目的。本实用新型的优点是能对生长的硅晶体的重量进行实时监控，使对硅晶测重时 仍保持炉膛的高温和抽真空状态，可大幅度提高硅晶体合格率和质量，达到理想的 使用效果。本实用新型使产品正品率达到的.9%,降低制作成本30%。且结构简单， 制作使用成本低，维修和使用简便效果好。國綱图是本实用新型的结构示意图具体实施力案如图所示， 一种硅单晶炉生长晶体实时称重装置，主要由绕线箱体2、提拉托 板l、绕丝轮3、钢丝绳8、重锤9和晶体10所组成。在绕丝轮上端，或侧边设有称重 轮6,称重轮通过称重传感器的传感头5与位于绕线箱体上端的称重罩4连接，即称 重轮轴接在称重传感器的传感头的下端，可通过一轴座轴接。钢丝绳一端gg过称重 轮上端后向下与重锤上端连接，重锤下端仍用于提升炉中钳锅内高温烙化的硅晶并 使其向上逐渐结晶形成柱状硅晶体IO。钢丝绳另一端固定在绕丝轮上。显然，也可釆用所述的称重轮位于绕丝轮的侧上边。所述的绕线箱体下端为 开口箱体。所述的称重轮侧边与称重罩之间设有压丝轮7，压丝轮的作用是使钢丝 绳运行平稳。所述的绕线箱体上端为开口箱体。使用时，电机通过减速箱带动传动轴转动绕丝轮，钢丝绳一端接在绕丝轮上， 另一端绕过称重轮上端后向下穿过称重轮与压丝轮之间和带阻尼套的进线口连接 位于主炉室内的重锤，重锤则用于提升炉中钳锅内高温熔化的硅晶并使其向上逐渐 结晶形成柱状硅晶体。称重传感器的传感头将称重轮上的载荷重量信号通过传导线 传导至称重传感器并进行显示，可对生长的硅晶体的重量进行实时监控，对硅晶测 重时仍保持炉膛的高温和抽真空状态，可大幅度提高硅晶体合格率和质量，达到理 想的使用效果。本实用新型的称重传感器为已有技术，故不再累述。显然，本实用新型也可采用称重传感器的传感头位置变化实现本实用新型的 目的，例如将称重传感器的传感头位置从称重轮与称重罩之间移至称重罩与绕线箱 体之间即在绕丝轮上端，或侧边设有称重轮，称重轮与位于绕线箱体上端的称重 罩轴接，称重传感器的传感头51位于绕线箱体与称重罩之间，钢丝绳一端绕过称重 轮上端后向下与重锤上端连接，钢丝绳另一端固定在绕丝轮上。称重时，称重轮上 的载荷重量先传至称重罩后传至称重传感器的传感头，进而通过传导线传导至称重 传感器并进行显示，也可对生长的硅晶体的重量进行实时监控。故不再累述。总之，本实用新型能对生长的硅晶体的重量进行实时监控，使对硅晶测重时仍 保持炉膛的高温和抽真空状态，可大幅度提高硅晶体合格率和质量,达到理想的使 用效果。
权利要求1、一种硅单晶炉生长晶体实时称重装置，主要由绕线箱体、提拉托板、绕丝轮、钢丝绳、重锤和晶体所组成，其特征在于在绕丝轮上端，或侧边设有称重轮，称重轮通过称重传感器的传感头与位于绕线箱体上端的称重罩连接，钢丝绳一端绕过称重轮上端后向下与重锤上端连接，钢丝绳另一端固定在绕丝轮上；在绕丝轮上端，或侧边设有称重轮，称重轮与位于绕线箱体上端的称重罩轴接，称重传感器的传感头位于绕线箱体与称重罩之间，钢丝绳一端绕过称重轮上端后向下与重锤上端连接，钢丝绳另一端固定在绕丝轮上。
2、 按权利要求l所述的硅单晶炉生长晶体实时称重装置，其特征在于所述的 称重轮位于绕丝轮的侧上边。
3、 按权利要求l所述的硅单晶炉生长晶体实时称重装置，其特征在于所述 的绕线箱体下端为开口箱体。
4、 按权利耍求l所述的硅单晶炉生长晶体实时称重装置，其特征在于所述 的称重轮侧边与称重罩之间设有压丝轮。
5、 按权利要求l所述的硅单晶炉生长晶体实时称重装置，其特征在于所述 的绕线箱体上端为开口箱体。
专利摘要本实用新型属于一种硅单晶炉生长晶体实时称重装置，采用在绕丝轮上端，或侧边设有称重轮，称重轮通过称重传感器的传感头与位于绕线箱体上端的称重罩连接，钢丝绳一端绕过称重轮上端后向下与重锤上端连接，钢丝绳另一端固定在绕丝轮上；或在绕丝轮上端，或侧边设有称重轮，称重轮与位于绕线箱体上端的称重罩轴接，称重传感器的传感头位于绕线箱体与称重罩之间，钢丝绳一端绕过称重轮上端后向下与重锤上端连接，钢丝绳另一端固定在绕丝轮上。本实用新型能对生长的硅晶体的重量进行实时监控，使对硅晶测重时仍保持炉膛的高温和抽真空状态，可大幅度提高硅晶体合格率和质量，达到理想的使用效果。
文档编号C30B15/20GK201217711SQ20082010936
公开日2009年4月8日 申请日期2008年7月22日 优先权日2008年7月22日
发明者冯玉生, 张志新, 静 袁 申请人:北京京运通硅材料设备有限公司